技術編號：8288012
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。諸如等離子加工工具的加工系統依賴保持機構以在加工過程的進行期間在加工室內側支撐諸如半導體、陶瓷或金屬基片或晶片的工件。某些保持機構包括提升銷，所述提升銷構造成一致升高或下降以使工件相對于支撐的頂表面上升和下降。在下降位置中，提升銷的末端要么與支撐件的頂表面齊平，要么稍微凹陷到支撐的頂表面下方，使得工件至少部分地接觸頂表面。在升高位置中，提升銷的末端接觸工件的底表面(背側)并使工件上升到支撐的頂表面上方。通常，多個提升銷與工件的背側形成多個接觸點。由此產生的...
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