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垂直機電存儲器件及其制造方法技術資料下載

技術編號:7233955

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本發明涉及一種機電存儲器件及其制造方法。背景技術半導體存儲器件包括用于存儲電子信息的存儲單元(memory cell )。由于 即使當電源不工作或去除電源時非易失性存儲器件的相關存儲單元仍可以保 持信息,因此非易失性存儲器件被廣泛地使用。這個特征使得非易失性存儲 器件在便攜型電子產品的使用中備受關注。隨著追求更高的集成度的連續趨 勢,高密度布局、低功率操作和高操作速度成為這類器件的共同考慮的因素。被稱作閃存的一種類型的非易失性器件由于其制造成本相對低且操作...
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