技術編號：7208313
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明關于一種沉積儀器(exposition apparatus)及利用該沉積儀器的一沉積方法，更具體而言，關于一種能夠實時地監測沉積于一基板的一層的一實際厚度的沉積儀器及方法。背景技術有機發光裝置(organic light emitting device ；OLED)為繼諸如液晶顯示器 (liquid crystal display ；LCD) ,S.^^iiIl/^fflIS. (plasma display panel ；PDP)器之后出現的下一代...
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