技術編號：7206327
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明大致是關于半導體處理夾持系統，且尤指一種靜電夾器(clamp)及用于夾 持工件的方法。背景技術靜電夾器或夾具(ESC，electrostatic clamps or chucks)是經常利用于半導 體工業以供夾持工件或基板于諸如離子植入、蝕刻、化學汽相沉積(CVD，chemical vapor deposition)等等的基于電漿或基于真空的半導體制程期間。ESC的夾持能力以及工件溫 度控制已經證實于處理半導體基板或晶圓為相當有用，諸如硅晶圓。舉例而...
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