技術編號：6812850
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請是于1995年9月29日提出申請的，系列號為No.536,923、Paul Kevin shufflebothum和Michael S.Barnes的名稱為“在真空處理裝置中靜電夾持絕緣工件的方法和裝置”的共同待審申請的連續部分。本發明總地涉及在真空處理裝置中夾持絕緣工件的方法和裝置，特別涉及在處理裝置中通過對與離子電絕緣的電極施加電壓而靜電夾持絕緣工件的方法和裝置。真空等離子體處理裝置包括含有工件夾具，即夾盤的真空室，其中工件夾具用于夾持具有被腐蝕...
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