技術編號：6095742
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種檢漏器，它有一個設計為阻尼真空泵的高真空泵和另外兩個針對大氣壓力工作的真空泵。此外，本發明還涉及一種此類檢漏器的工作方法。由EU-A-283543已知此類檢漏器。它依照逆流原理(用氦作測試氣體)進行工作，并能確定檢測對象的密封性或它的泄漏性，而且可從大泄漏量至極小泄漏(漏泄率至10-10mbar l/s)。在用已知檢漏器進行氦氣檢漏時，存在著碳氫化合物污染試樣和/或檢測腔的危險。這些污染源自于油密的針對大氣壓力工作的真空泵吸氣腔的分子造成，這...
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