技術編號:6086953
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種用于提高力敏傳感器測試靈敏度的微壓力(壓差)放大器,屬于擴散硅力敏傳感器的配套應用裝置。近年來,利用擴散硅力敏器件制作各種測量力的傳感器的敏感元件的產品越來越多了,這是因為擴散硅力敏元件的性能穩定牢靠、靈敏度高,用它制成的傳感器信噪比高、線性度好的緣故,在機電一體化技術日益普及深入的今天,用擴散硅力敏元件制成的傳感器頗有取代傳統壓力測量儀表的趨勢。但是,由于目前在擴散硅力敏元件的加工工藝和結構制造等方面的原因,現在已能批量定型生產的力敏器...
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