技術編號：6086723
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及傳感器領域，特別是濕度傳感器。目前，國內外生產的濕度傳感器按用途可分為相對濕度傳感器即測試高濕(P/Po)和絕對濕度傳感器即測試微量水份或低濕(100PPmv以下)。絕大多數的濕度傳感器都存在長期穩定性不好的缺點。特別是氧化鋁濕度傳感器，隨著使用時間增長，讀數產生漂移，需定期校正，這在使用上是相當不方便的。由于陽極氧化鋁薄膜具有介電系數對濕度敏感的特性，及可以制成厚度可控的薄膜，因而，目前國內外均采用陽極氧化鋁薄膜制成檢測微量水份的絕對濕度傳感器...
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