技術編號：5885601
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種集成微機電陀螺儀，特別是具有改進的驅動結構的三軸型集成微機電陀螺儀。背景技術眾所周知，如今的精密加工技術能夠從半導體材料層開始生產微機電系統 (MEMS)，這些半導體材料層已經被沉積(例如，多晶硅層)或者生長(例如，外延層)在犧牲層上，這些犧牲層經由化學蝕刻而被移除。用這種技術獲得的慣性傳感器、加速度計和陀螺儀例如在汽車領域、慣性導航或者便攜式裝置領域中取得了越來越多的成功。特別地，已經知悉用MEMS技術獲得的半導體材料制成的集成陀螺儀。這些...
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