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一種基底處理方法技術資料下載

技術編號:5290121

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所屬本發明涉及一種用電化學技術對基底進行處理的方法,特別涉及一種用電化學技術對基底進行修整(modify)的方法。背景技術許多裝置需要在其表面形成某種材料的特定圖案,半導體芯片就是一個顯然的例子。最近出現的DNA芯片也具有一個低核苷酸陣列,該陣列附在一固體表面[G.拉姆齊(G.Ramsay),《自然生物技術》,1998,卷.16,40~44]。此類裝置的性能取決于表面材料的圖案和性質。此外,改進現有的裝置一方面是出于小型化的需求,另一方面是對集合化學、物理...
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