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多晶硅生產方法技術資料下載

技術編號:4799551

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本發明涉及一種,更具體地,涉及一種可回收循環利 用尾氣中的氯化氫的改進的。背景技術多晶硅是制備單晶硅的原料,最終用于生產集成電路和電子器件,是 信息產業用量最大、純度要求最高的基礎原料之一,也是國家重點鼓勵發 展的產品和產業。世界先進的多晶硅生產技術一直由美、日、德三國的公司壟斷著,各 個公司都有各自的技術秘密和技術特點,經過不斷的研究、開發,形成了 各自的生產工藝,并從各自國家戰略角度出發,嚴格控制技術轉讓并壟斷 全球多晶硅市場。我國多晶硅工業起步于五十...
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