技術編號：39427379
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請屬于mems傳感芯片，尤其涉及一種mems超聲傳感器件、制備方法及傳感設備。背景技術、mems超聲傳感芯片工作原理分為彎曲振動模式和厚度振動模式，其中彎曲振動模式是基于橫向壓電系數d使得薄膜發生平面外向上/下彎曲，帶動周圍介質發生振動，振動透過周圍介質粒子傳播，形成聲波。在彎曲振動模式下，器件工作頻率較低，處于音頻和超聲頻域，振動幅度較大。通常在音頻域被用作為智能手機和可穿戴設備中的微型麥克風和揚聲器等。工作在超聲域的彎曲振動模式器件被稱為微型壓電超聲換能器(piezoelectri...
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