技術編號:39426976
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于半導體激光器領域,具體涉及一種單模激射微腔激光器及其制備方法。背景技術、信息時代大數據、物聯網和云計算快速發展,對數據的處理和傳輸速度提出了更高的要求。光通信具有高帶寬、低能耗以及高信噪比等優勢,是后摩爾時代解決電子通信能耗和互連瓶頸的理想選擇。半導體微腔激光器作為光通信芯片上的光源器件,是光通信芯片的核心器件。特別地,硅基iii-v微腔激光器兼具易與cmos大規模集成的突出優勢,得到了學術界和產業界極高的關注。然而,受限于衍射極限、異質集成光損耗等,硅基iii-v微腔激光器在激射波...
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