技術編號:2964802
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及帶電粒子發射組件和發射器。本發明例如有關大功率電子束(EB)的產生和在操作壓力為約10-1毫巴到約數百毫巴(mbar)的真空室內的傳送。但本發明也可用于其他型式的帶電粒子束包括那些負離子和正離子形成的粒子束。為了便利起見,本文只論述電子束。通過從發射器釋放自由電子并在電場內加速。便可容易地產生電子束。對于那些只是用來例如真空熔化金屬的電子束,以能量密度分布、束亮度和束分布圖表述的束質量并不重要。通常,亮度被定義為電流密度/立體弧度。但對其他一些用...
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