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基于可控納米裂紋實現的互補電阻開關器件及其控制方法與流程技術資料下載

技術編號:17973946

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本發明屬于微電子技術領域,更具體地,涉及一種基于可控納米裂紋實現的互補電阻開關器件及其控制方法。背景技術隨著晶體管的特征尺寸不斷減小,晶體管的集成數目越來越多,芯片的功耗問題愈加突出,同時,晶體管的漏電問題也愈發嚴重。無源交叉矩陣是一種能夠有效降低功耗,同時提高存儲密度的方法,但是它存在潛通路漏電流的問題需要解決。此外,傳統CMOS工藝實現邏輯運算時,需要通過離子注入等摻雜工藝形成NMOS和PMOS,而當晶體管尺寸減小到一定程度后,離子注入工藝的精確度會受到很大影響。而且,CMOS邏輯是易失性的...
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