技術編號:17973946
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于微電子技術領域,更具體地,涉及一種基于可控納米裂紋實現的互補電阻開關器件及其控制方法。背景技術隨著晶體管的特征尺寸不斷減小,晶體管的集成數目越來越多,芯片的功耗問題愈加突出,同時,晶體管的漏電問題也愈發嚴重。無源交叉矩陣是一種能夠有效降低功耗,同時提高存儲密度的方法,但是它存在潛通路漏電流的問題需要解決。此外,傳統CMOS工藝實現邏輯運算時,需要通過離子注入等摻雜工藝形成NMOS和PMOS,而當晶體管尺寸減小到一定程度后,離子注入工藝的精確度會受到很大影響。而且,CMOS邏輯是易失性的...
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