技術編號：10860941
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。MEMS器件是在微電子技術基礎上發展起來的采用微加工工藝制作的電子機械器件，已經廣泛地用作傳感器和執行器。例如，MEMS器件可以是硅電容麥克風。硅電容麥克風通常包括襯底、背極板和振膜，其中振膜是硅電容麥克風的核心部件，該振膜靈敏地響應聲壓信號并將之轉化為電信號。在硅電容麥克風中，襯底和背極板是固定部件，振膜是可動部件。振膜的一端固定在襯底上，另一端則可以自由振動。與硅電容麥克風類似，基于電容特性的MEMS傳感器以及大部分的MEMS執行器均包括固定部件和可動...
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