技術編號：10693906
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。可以將微機電系統或MEMS(Micro-Electro_Mechanical System)定義為其中至少一些元件具有機械功能的微型化機械和機電系統。MEMS器件可以適用于快速且準確地檢測物理特性的非常小的變化。通常，在MEMS器件中使用運動限制器以控制器件內的可移動結構可以位移的最大距離。運動限制器的另一目的是以可控方式消耗能量以防由于突然的大加速度事件導致可移動結構與器件內的錨固結構碰撞。這樣的事件例如在器件意外跌落至生產線的地板上時可能發生。在元件測...
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