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制造半導體裝置的方法技術資料下載

技術編號:10687221

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因為集成度是用來確定產品價格的重要因素,所以為了增大半導體裝置的容量以及為了減小制造成本,人們做出很多努力來提高半導體裝置的集成度。因為根據單元單體占據的面積來確定集成度,所以高效地設計半導體裝置的布圖是重要的。通常,利用布圖設計工具設計半導體裝置的布圖需要一定的時間并且需要試錯。因此,減少布圖設計時間是重要的。發明內容根據示例性實施例的一方面,提供了一種在半導體裝置的布圖設計中減少布圖設計時間的方法,其中,布圖設計時間根據虛設單元的插入而增加。根據示例性...
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