技術編號：10628158
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。如靜電夾的基板固定器已廣泛使用于包括半導體制造、太陽能電池制造、以及其他元件加工的許多制造過程中。許多基板固定器提供基板加熱以及基板冷卻，以便于所需的溫度加工基板。為了維持適當的加熱或冷卻，包括靜電夾的一些基板固定器的設計提供可流動于鄰近或緊臨于待加工的基板如晶片的背側的氣體。在如靜電夾的特定基板固定器的設計中，藉由背側氣體分布系統而可提供氣體，以使氣體的存在可作為在靜電夾面以及藉由靜電夾而固定的晶片的背面之間的熱導體。為了促進基板的冷卻或加熱，氣體壓力可...
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