本(ben)公開涉及(ji)使(shi)用聲波諧振(zhen)器的射頻(pin)濾波器，具(ju)體涉及(ji)用于通信設(she)備的濾波器。

背景技術：

1、射頻(pin)(rf)濾(lv)(lv)(lv)波(bo)(bo)(bo)器(qi)(qi)(qi)是雙端(duan)口(kou)器(qi)(qi)(qi)件，該雙端(duan)口(kou)器(qi)(qi)(qi)件被(bei)(bei)配置(zhi)為使某些頻(pin)率(lv)通(tong)(tong)過并(bing)阻(zu)(zu)止其(qi)他頻(pin)率(lv)，其(qi)中，“通(tong)(tong)過”意味(wei)著以相對(dui)較低的(de)(de)(de)信號損失進行(xing)傳輸(shu)，而“阻(zu)(zu)止”意味(wei)著阻(zu)(zu)擋或顯著地(di)衰減。濾(lv)(lv)(lv)波(bo)(bo)(bo)器(qi)(qi)(qi)所(suo)通(tong)(tong)過的(de)(de)(de)頻(pin)率(lv)范(fan)圍(wei)被(bei)(bei)稱(cheng)為濾(lv)(lv)(lv)波(bo)(bo)(bo)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)“通(tong)(tong)帶(dai)(dai)”。這種濾(lv)(lv)(lv)波(bo)(bo)(bo)器(qi)(qi)(qi)所(suo)阻(zu)(zu)止的(de)(de)(de)頻(pin)率(lv)范(fan)圍(wei)被(bei)(bei)稱(cheng)為濾(lv)(lv)(lv)波(bo)(bo)(bo)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)“阻(zu)(zu)帶(dai)(dai)”。典型的(de)(de)(de)rf濾(lv)(lv)(lv)波(bo)(bo)(bo)器(qi)(qi)(qi)具有(you)至(zhi)少(shao)一個通(tong)(tong)帶(dai)(dai)和(he)至(zhi)少(shao)一個阻(zu)(zu)帶(dai)(dai)。對(dui)通(tong)(tong)帶(dai)(dai)或阻(zu)(zu)帶(dai)(dai)的(de)(de)(de)具體(ti)要求可以取決于(yu)具體(ti)應用(yong)。例如(ru)，在一些情況下(xia)，“通(tong)(tong)帶(dai)(dai)”可以被(bei)(bei)定義(yi)(yi)為濾(lv)(lv)(lv)波(bo)(bo)(bo)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)插入損失優于(yu)諸(zhu)如(ru)1db、2db或3db之類的(de)(de)(de)定義(yi)(yi)值(zhi)的(de)(de)(de)頻(pin)率(lv)范(fan)圍(wei)，而“阻(zu)(zu)帶(dai)(dai)”可以被(bei)(bei)定義(yi)(yi)為濾(lv)(lv)(lv)波(bo)(bo)(bo)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)抑制大于(yu)諸(zhu)如(ru)20db、30db、40db或更大值(zhi)之類的(de)(de)(de)定義(yi)(yi)值(zhi)的(de)(de)(de)頻(pin)率(lv)范(fan)圍(wei)，這取決于(yu)應用(yong)。

2、rf濾波(bo)器用于通(tong)過無線鏈路來傳輸信(xin)息的通(tong)信(xin)系統。例如，rf濾波(bo)器可(ke)以(yi)出現在蜂(feng)窩基(ji)站(zhan)、移動電話(hua)和(he)(he)計(ji)算設(she)備、衛星(xing)收發(fa)器和(he)(he)地面站(zhan)、iot(物聯網)設(she)備、膝上(shang)型計(ji)算機(ji)和(he)(he)平板(ban)計(ji)算機(ji)、固定點(dian)無線電鏈路和(he)(he)其他通(tong)信(xin)系統的rf前端中。rf濾波(bo)器也用于雷達、電子和(he)(he)信(xin)息戰系統。

3、無線系統(tong)中rf濾(lv)波器的(de)性(xing)能增強(qiang)可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)對系統(tong)性(xing)能產生(sheng)廣泛影響。rf濾(lv)波器的(de)改(gai)進可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)用于(yu)提供系統(tong)性(xing)能改(gai)進，例(li)如更(geng)(geng)大的(de)單元尺寸、更(geng)(geng)長的(de)電(dian)池壽命、更(geng)(geng)高的(de)數據速率、更(geng)(geng)大的(de)網(wang)絡(luo)容量、更(geng)(geng)低(di)的(de)成本、增強(qiang)的(de)安(an)全性(xing)、更(geng)(geng)高的(de)可(ke)(ke)(ke)靠性(xing)等。這些改(gai)進可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)在無線系統(tong)的(de)多個級別(bie)(例(li)如，在rf模塊、rf收發器、移動或(huo)固定(ding)子(zi)系統(tong)、或(huo)網(wang)絡(luo)級別(bie))處單獨和組合(he)地實現。

技術實現思路

1、因此，根(gen)據示例性方(fang)面(mian)(mian)，提供了一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)種(zhong)濾波器(qi)(qi)裝(zhuang)置(zhi)，該(gai)濾波器(qi)(qi)裝(zhuang)置(zhi)包(bao)括：基(ji)(ji)板(ban)；至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)壓(ya)電(dian)(dian)板(ban)，具有相(xiang)對(dui)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)表(biao)(biao)面(mian)(mian)和第(di)(di)(di)二表(biao)(biao)面(mian)(mian)，并且(qie)附接到基(ji)(ji)板(ban)；導(dao)體(ti)圖案，在(zai)至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)壓(ya)電(dian)(dian)板(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)表(biao)(biao)面(mian)(mian)處，并且(qie)包(bao)括多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)各(ge)自的(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)叉指(zhi)換(huan)能(neng)器(qi)(qi)(idt)，每個(ge)(ge)(ge)(ge)叉指(zhi)換(huan)能(neng)器(qi)(qi)在(zai)至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)壓(ya)電(dian)(dian)板(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)應振(zhen)(zhen)膜處具有交錯(cuo)指(zhi)狀(zhuang)物，該(gai)振(zhen)(zhen)膜懸置(zhi)在(zai)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)或多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)空腔上方(fang)，其中，多(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)包(bao)括并聯(lian)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)和串(chuan)聯(lian)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)；至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)，在(zai)idt的(de)(de)(de)(de)(de)至(zhi)(zhi)少(shao)交錯(cuo)指(zhi)狀(zhuang)物上方(fang)以及至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)壓(ya)電(dian)(dian)板(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)表(biao)(biao)面(mian)(mian)上；以及至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)二介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)，在(zai)至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)壓(ya)電(dian)(dian)板(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)與第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)表(biao)(biao)面(mian)(mian)相(xiang)對(dui)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)二表(biao)(biao)面(mian)(mian)上。在(zai)該(gai)方(fang)面(mian)(mian)，并聯(lian)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)二介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)的(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)度比串(chuan)聯(lian)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)至(zhi)(zhi)少(shao)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)二介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)的(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)度大。

2、此(ci)外(wai)，在示例性方面(mian)(mian)(mian)，并(bing)(bing)聯諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(qi)的(de)至(zhi)少一個(ge)第(di)(di)二(er)(er)介(jie)電涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)厚度(du)被配置為使得(de)并(bing)(bing)聯諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(qi)的(de)反諧(xie)振(zhen)頻率與(yu)(yu)串聯諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(qi)的(de)諧(xie)振(zhen)頻率大(da)致相(xiang)同。又此(ci)外(wai)，并(bing)(bing)聯諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(qi)的(de)至(zhi)少一個(ge)第(di)(di)二(er)(er)介(jie)電涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)厚度(du)可(ke)以是(shi)串聯諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(qi)的(de)至(zhi)少一個(ge)第(di)(di)二(er)(er)介(jie)電涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)厚度(du)的(de)約十倍。另外(wai)，第(di)(di)二(er)(er)介(jie)電涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)厚度(du)大(da)于第(di)(di)一介(jie)電涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)厚度(du)。此(ci)外(wai)，至(zhi)少一個(ge)第(di)(di)二(er)(er)介(jie)電涂(tu)(tu)層(ceng)(ceng)(ceng)是(shi)均勻的(de)，并(bing)(bing)且(qie)具有與(yu)(yu)至(zhi)少一個(ge)壓電板的(de)第(di)(di)二(er)(er)表面(mian)(mian)(mian)平行的(de)相(xiang)對(dui)表面(mian)(mian)(mian)。

3、在另一(yi)示(shi)例性方面，提供了一(yi)種聲(sheng)學諧振(zhen)器裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)，該(gai)聲(sheng)學諧振(zhen)器裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)包(bao)括：具(ju)有(you)表面的(de)(de)(de)基(ji)板(ban)；壓電(dian)(dian)板(ban)，除了壓電(dian)(dian)板(ban)的(de)(de)(de)形(xing)成跨越空腔的(de)(de)(de)振(zhen)膜的(de)(de)(de)部(bu)分之外(wai)，附(fu)接到(dao)基(ji)板(ban)的(de)(de)(de)表面；叉指(zhi)換能器(idt)，在壓電(dian)(dian)板(ban)的(de)(de)(de)第(di)一(yi)表面處(chu)(chu)，并(bing)且在振(zhen)膜處(chu)(chu)具(ju)有(you)交錯(cuo)指(zhi)狀物；第(di)一(yi)介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)，在idt的(de)(de)(de)至少交錯(cuo)指(zhi)狀物上方以及壓電(dian)(dian)板(ban)的(de)(de)(de)第(di)一(yi)表面上；以及第(di)二(er)(er)介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)，在壓電(dian)(dian)板(ban)的(de)(de)(de)與第(di)一(yi)表面相(xiang)對的(de)(de)(de)第(di)二(er)(er)表面上。此外(wai)，第(di)二(er)(er)介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)的(de)(de)(de)厚(hou)度大于(yu)第(di)一(yi)介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)的(de)(de)(de)厚(hou)度。另外(wai)，第(di)二(er)(er)介電(dian)(dian)涂(tu)層(ceng)是均勻的(de)(de)(de)，并(bing)且具(ju)有(you)與配(pei)置(zhi)(zhi)聲(sheng)學諧振(zhen)器裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)諧振(zhen)頻率的(de)(de)(de)壓電(dian)(dian)板(ban)第(di)二(er)(er)表面平行的(de)(de)(de)相(xiang)對表面。

4、在(zai)另(ling)一(yi)(yi)(yi)(yi)示例性方(fang)(fang)面(mian)，提(ti)供了一(yi)(yi)(yi)(yi)種(zhong)制造濾波器(qi)裝置的(de)方(fang)(fang)法(fa)。在(zai)該方(fang)(fang)面(mian)，該方(fang)(fang)法(fa)包括(kuo)(kuo)：將(jiang)具有相對的(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)表(biao)(biao)面(mian)和第(di)二(er)(er)表(biao)(biao)面(mian)的(de)至(zhi)(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)壓電(dian)(dian)板(ban)(ban)(ban)附接到基板(ban)(ban)(ban)；形(xing)成導(dao)體圖(tu)案，導(dao)體圖(tu)案在(zai)至(zhi)(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)壓電(dian)(dian)板(ban)(ban)(ban)的(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)表(biao)(biao)面(mian)處并(bing)(bing)且包括(kuo)(kuo)多個(ge)(ge)(ge)諧振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)各自的(de)多個(ge)(ge)(ge)叉指(zhi)換能器(qi)(idt)，每個(ge)(ge)(ge)叉指(zhi)換能器(qi)在(zai)至(zhi)(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)壓電(dian)(dian)板(ban)(ban)(ban)的(de)相應振(zhen)(zhen)(zhen)膜處具有交(jiao)錯(cuo)指(zhi)狀(zhuang)物，該振(zhen)(zhen)(zhen)膜懸置在(zai)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)或多個(ge)(ge)(ge)空腔上(shang)方(fang)(fang)，其中，多個(ge)(ge)(ge)諧振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)包括(kuo)(kuo)并(bing)(bing)聯(lian)諧振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)和串聯(lian)諧振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)；在(zai)idt的(de)至(zhi)(zhi)少交(jiao)錯(cuo)指(zhi)狀(zhuang)物上(shang)方(fang)(fang)以及(ji)壓電(dian)(dian)板(ban)(ban)(ban)的(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)表(biao)(biao)面(mian)上(shang)沉積至(zhi)(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)介(jie)(jie)電(dian)(dian)涂層(ceng)；在(zai)壓電(dian)(dian)板(ban)(ban)(ban)的(de)與第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)表(biao)(biao)面(mian)相對的(de)第(di)二(er)(er)表(biao)(biao)面(mian)上(shang)沉積至(zhi)(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)第(di)二(er)(er)介(jie)(jie)電(dian)(dian)涂層(ceng)；以及(ji)修整(zheng)至(zhi)(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)第(di)二(er)(er)介(jie)(jie)電(dian)(dian)涂層(ceng)以調(diao)整(zheng)并(bing)(bing)聯(lian)諧振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)和串聯(lian)諧振(zhen)(zhen)(zhen)器(qi)中的(de)至(zhi)(zhi)少一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)的(de)諧振(zhen)(zhen)(zhen)頻率。

5、以上示例方(fang)(fang)面的簡化概(gai)述(shu)用(yong)于(yu)提(ti)供對(dui)本(ben)公(gong)開的基本(ben)理解(jie)。該(gai)概(gai)述(shu)不(bu)是對(dui)所(suo)有(you)設想的方(fang)(fang)面的廣泛概(gai)述(shu)，并(bing)且既不(bu)旨在確定(ding)所(suo)有(you)方(fang)(fang)面的關鍵(jian)或決(jue)定(ding)性要素，也不(bu)旨在劃(hua)定(ding)本(ben)公(gong)開的任何或所(suo)有(you)方(fang)(fang)面的范圍。其唯一(yi)目的是以簡化形式(shi)呈現一(yi)個(ge)或多個(ge)方(fang)(fang)面，作(zuo)為(wei)隨(sui)后對(dui)本(ben)公(gong)開的更詳細描述(shu)的前言。

技術特征：

1.一種濾波器裝置，包(bao)括：

2.根據權(quan)利要求1所(suo)(suo)述(shu)的(de)濾波器(qi)裝(zhuang)置，其中，所(suo)(suo)述(shu)并聯諧振(zhen)器(qi)的(de)所(suo)(suo)述(shu)至(zhi)少一個第二介電涂層(ceng)的(de)厚(hou)度被配置為使得所(suo)(suo)述(shu)并聯諧振(zhen)器(qi)具有的(de)反(fan)諧振(zhen)頻率(lv)與所(suo)(suo)述(shu)串聯諧振(zhen)器(qi)的(de)諧振(zhen)頻率(lv)大(da)致相同(tong)。

3.根據權(quan)利要求1所述(shu)的濾波器裝置(zhi)，其中，所述(shu)多個(ge)(ge)idt全部被配置(zhi)為：響應于施加到每個(ge)(ge)idt的相應射(she)頻信號，在(zai)所述(shu)至少一個(ge)(ge)壓電板中激發剪切聲波。

4.根據權利要求(qiu)1所(suo)述(shu)的濾波器裝置，其中(zhong)，所(suo)述(shu)基板(ban)中(zhong)的所(suo)述(shu)一個或(huo)多(duo)個空(kong)腔(qiang)(qiang)是所(suo)述(shu)多(duo)個idt中(zhong)的每個idt的相應空(kong)腔(qiang)(qiang)。

5.根據(ju)權利(li)要(yao)求(qiu)1所述(shu)的濾(lv)波器裝置，其中(zhong)，所述(shu)至少一個(ge)壓電(dian)板是z切鈮酸鋰壓電(dian)板。

6.根據權利(li)要求1所(suo)(suo)述的濾波器裝(zhuang)置，其中，所(suo)(suo)述基板包括基底和中間(jian)介電層，并且所(suo)(suo)述一個或多個空腔在所(suo)(suo)述中間(jian)介電層中延(yan)伸(shen)。

7.根據(ju)權(quan)利要(yao)求1所述(shu)的濾波器裝置，其中，所述(shu)至(zhi)少一(yi)個(ge)(ge)壓電板的第(di)一(yi)表(biao)面(mian)附接到所述(shu)基板，使得所述(shu)導體圖案面(mian)對所述(shu)一(yi)個(ge)(ge)或多個(ge)(ge)空(kong)腔(qiang)。

8.根據權利要(yao)求1所(suo)述(shu)的(de)濾波器裝置，其中，所(suo)述(shu)至(zhi)少一(yi)個(ge)第(di)一(yi)介電涂層在所(suo)述(shu)idt的(de)交錯(cuo)指狀物和所(suo)述(shu)至(zhi)少一(yi)個(ge)壓(ya)電板的(de)第(di)一(yi)表面上方(fang)被平坦化(hua)。

9.根據(ju)權利要求1所(suo)(suo)述(shu)的(de)濾波(bo)器(qi)(qi)裝置(zhi)，其中(zhong)，所(suo)(suo)述(shu)并聯諧振(zhen)器(qi)(qi)的(de)所(suo)(suo)述(shu)至少(shao)一個第二介電涂層的(de)厚度是所(suo)(suo)述(shu)串(chuan)聯諧振(zhen)器(qi)(qi)的(de)所(suo)(suo)述(shu)至少(shao)一個第二介電涂層的(de)厚度的(de)約十倍。

10.根據權利要求1所(suo)述(shu)的(de)濾波器裝置(zhi)，其中(zhong)，所(suo)述(shu)至(zhi)少(shao)一個第(di)二介電(dian)涂(tu)層是均勻的(de)，并且具有與所(suo)述(shu)至(zhi)少(shao)一個壓電(dian)板的(de)第(di)二表面(mian)平行的(de)相對表面(mian)。

11.一種聲學(xue)諧振器裝置，包(bao)括(kuo)：

12.根(gen)據權利(li)要求11所(suo)(suo)述的聲學諧振器裝置(zhi)，其中(zhong)，所(suo)(suo)述idt被配(pei)置(zhi)為：響應于(yu)施加到每個idt的相應射頻信號，在(zai)所(suo)(suo)述壓電板中(zhong)激發剪切聲波。

13.根據權利要求(qiu)11所述的聲學(xue)諧(xie)振器裝置(zhi)，其中，所述壓電板(ban)是z切鈮酸鋰壓電板(ban)。

14.根據權利要求(qiu)11所述(shu)的聲(sheng)學諧振器裝(zhuang)置，其中(zhong)，所述(shu)基(ji)板包括基(ji)底和中(zhong)間介(jie)電(dian)(dian)層，并且(qie)所述(shu)空(kong)腔在(zai)所述(shu)中(zhong)間介(jie)電(dian)(dian)層中(zhong)延伸。

15.根據權利要求11所述(shu)(shu)的(de)聲學諧振器裝置，其中(zhong)，所述(shu)(shu)壓電板的(de)第一(yi)表(biao)面附接到所述(shu)(shu)基板，使(shi)得所述(shu)(shu)idt面對(dui)所述(shu)(shu)空腔。

16.根據權利要求11所述(shu)(shu)的(de)聲學諧振(zhen)器裝置(zhi)，其中，所述(shu)(shu)第一介電涂層(ceng)在(zai)所述(shu)(shu)idt的(de)交錯指狀物和所述(shu)(shu)壓電板(ban)的(de)第一表面(mian)上方被(bei)平(ping)坦化。

17.一(yi)種(zhong)制(zhi)造濾波器裝置的方法，所(suo)述方法包括：

18.根據權利要求17所述(shu)的方(fang)法，其中(zhong)，所述(shu)至(zhi)少一個(ge)第二介(jie)電涂層被(bei)修(xiu)整為使得所述(shu)并聯諧振器比(bi)所述(shu)串聯諧振器的所述(shu)至(zhi)少一個(ge)第二介(jie)電涂層的厚度大。

19.根據權利要求(qiu)17所(suo)述(shu)(shu)的(de)(de)方法(fa)，其中(zhong)，所(suo)述(shu)(shu)并聯諧振器(qi)的(de)(de)所(suo)述(shu)(shu)至少一個第二介電(dian)涂層的(de)(de)厚(hou)度被配置為使得所(suo)述(shu)(shu)并聯諧振器(qi)的(de)(de)反諧振頻率與所(suo)述(shu)(shu)串聯諧振器(qi)的(de)(de)諧振頻率大致相同。

20.根據權利要(yao)求17所述(shu)的方法，其中，所述(shu)并聯諧振(zhen)器(qi)的所述(shu)至少一(yi)(yi)個第二(er)介(jie)電涂層的厚度(du)是所述(shu)串聯諧振(zhen)器(qi)的所述(shu)至少一(yi)(yi)個第二(er)介(jie)電涂層厚度(du)的約十倍。

技術總結
提供了一種濾波器裝置，該濾波器裝置包括基板和附接到該基板的壓電板。導體圖案(638a、638b、738a、738b)形成在壓電板的第一表面上，并且包括串聯諧振器和并聯諧振器的叉指換能器，每個叉指換能器在懸置板的相應振膜處具有交錯指狀物。第一介電涂層(612、712)形成在IDT的交錯指狀物上方以及壓電板的第一表面上；以及第二介電涂層(614、714)形成在壓電板的與第一表面相對的第二表面上。并聯諧振器的第二介電涂層(714)的厚度(tbd7)比串聯諧振器的至少一個第二介電涂層(614)的厚度(tbd6)大。

技術研發人員：肖恩·麥克休
受保護的技術使用者：株式會社村田制作所
技術研發日：
技術公布日：2024/9/29