一種半導體氣體激光器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體技術領域，尤其涉及一種半導體氣體激光器。
【背景技術】
[0002]二氧化碳激光器中，主要的工作物質由二氧化碳，氮氣，氦氣三種氣體組成。其中二氧化碳是產生激光輻射的氣體、氮氣及氦氣為輔助性氣體。加入其中的氦，可以加速010能級熱弛預過程，因此有利于激光能級100及020的抽空。氮氣加入主要在二氧化碳激光器中起能量傳遞作用，為二氧化碳激光上能級粒子數的積累與大功率高效率的激光輸出起到強有力的作用。二氧化碳分子激光躍迀能級圖二氧化碳激光器的激發條件:放電管中，通常輸入幾十mA或幾百mA的直流電流。放電時，放電管中的混合氣體內的氮分子由于受到電子的撞擊而被激發起來。這時受到激發的氮分子便和二氧化碳分子發生碰撞，氮氣分子把自己的能量傳遞給二氧化碳分子，二氧化碳分子從低能級躍迀到高能級上形成粒子數反轉發出激光。
[0003]目前，半導體激光器技術已趨于完善，但仍然存在以下問題:結構復雜、靈敏度低、性能不穩定、抗干擾能力弱等問題。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單，具有較好的方向性、單色性和較好的頻率穩定性，發射功率大、抗干擾能力強的半導體激光器。
[0005]本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下:一種半導體氣體激光器，包括殼體、設置在殼體內的放電管以及設置在殼體兩端的陽極端、陰極端，所述放電管分別與陽極端、陰極端連接，所述放電管上側設置有第一反射鏡、第二反射鏡、全反射鏡以及儲氣管，所述儲氣管與回氣管連通，所述放電管下側設置有冷水管，所述冷水管上設置有進水口、出水
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[0006]所述第一反射鏡將紅外光發射給第二反射鏡，所述第二反射鏡反射放電，放電管中的混合氣體內的氮分子由于受到電子的撞擊而被激發起來。這時受到激發的氮分子便和二氧化碳分子發生碰撞，氮氣分子把自己的能量傳遞給二氧化碳分子，二氧化碳分子從低能級躍迀到高能級上形成粒子數反轉發出激光，所述全反射鏡用于激光的全反輸出。
[0007]在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。
[0008]進一步，所述放電管由硬質玻璃制成，所述硬質玻璃硬度大，能承受較大氣壓，增強激光器的發射功率。
[0009]進一步，所述冷水管由硬質玻璃制成，所述硬質玻璃硬度大，能承受較大水壓，有利于激光器中水循環，加速工作氣體的冷卻。
[0010]進一步，所述回氣管上設置有換氣口，用于氣體在放電管中循環流動，實現氣體隨時交換。
[0011]本實用新型的有益效果是:結構簡單，具有較好的方向性、單色性和較好的頻率穩定性，發射功率大、抗干擾能力強。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型一種半導體氣體激光器結構示意圖；
[0013]附圖中，各標號所代表的部件列表如下:1、殼體，2、陰極端，3、冷水管，4、第一反射鏡，5、儲氣管，6、第二反射鏡，7、回氣管，8、進水口，9、出水口，10、放電管，11、陽極端，12、換氣口，13、全反射鏡。
【具體實施方式】
[0014]以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0015]如圖1所示，一種半導體氣體激光器，包括殼體1、設置在殼體I內的放電管10以及設置在殼體I兩端的陽極端11、陰極端2，所述放電管10分別與陽極端11、陰極端2連接，所述放電管10上側設置有第一反射鏡4、第二反射鏡6、全反射鏡13以及儲氣管5，所述儲氣管5與回氣管7連通，所述放電管10下側設置有冷水管3，所述冷水管3上設置有進水口 8、出水口 9。
[0016]所述第一反射鏡4將紅外光發射給第二反射鏡6，所述第二反射鏡6反射放電，放電管10中的混合氣體內的氮分子由于受到電子的撞擊而被激發起來。這時受到激發的氮分子便和二氧化碳分子發生碰撞，氮氣分子把自己的能量傳遞給二氧化碳分子，二氧化碳分子從低能級躍迀到高能級上形成粒子數反轉發出激光，所述全反射鏡用于激光的全反輸出。
[0017]所述放電管10由硬質玻璃制成，所述硬質玻璃硬度大，能承受較大氣壓，增強激光器的發射功率。所述冷水管3由硬質玻璃制成，所述硬質玻璃硬度大，能承受較大水壓，有利于激光器中水循環，加速工作氣體的冷卻。所述回氣管7上設置有換氣口 12，用于氣體在放電管10中循環流動，實現氣體隨時交換。
[0018]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種半導體氣體激光器，其特征在于，包括殼體、設置在殼體內的放電管以及設置在殼體兩端的陽極端、陰極端，所述放電管分別與陽極端、陰極端連接，所述放電管上側設置有第一反射鏡、第二反射鏡、全反射鏡以及儲氣管，所述儲氣管與回氣管連通，所述放電管下側設置有冷水管，所述冷水管上設置有進水口、出水口。2.根據權利要求1所述一種半導體氣體激光器，其特征在于，所述放電管由硬質玻璃制成。3.根據權利要求1所述一種半導體氣體激光器，其特征在于，所述冷水管由硬質玻璃制成。4.根據權利要求1所述一種半導體氣體激光器，其特征在于，所述回氣管上設置有換氣□O
【專利摘要】本實用新型涉及一種半導體氣體激光器，包括殼體、設置在殼體內的放電管以及設置在殼體兩端的陽極端、陰極端，所述放電管分別與陽極端、陰極端連接，所述放電管上側設置有第一反射鏡、第二反射鏡、全反射鏡以及儲氣管，所述儲氣管與回氣管連通，所述放電管下側設置有冷水管，所述冷水管上設置有進水口、出水口。本實用新型結構簡單，具有較好的方向性、單色性和較好的頻率穩定性，發射功率大、抗干擾能力強。
【IPC分類】H01S3/034, H01S3/223, H01S3/03
【公開號】CN205335618
【申請號】CN201620020935
【發明人】不公告發明人
【申請人】重慶三零三科技有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2016年1月12日