本技術涉(she)及晶(jing)圓盒(he)，具體涉(she)及一種防止(zhi)晶(jing)圓晃(huang)動的晶(jing)圓盒(he)。

背景技術：

1、圓(yuan)(yuan)晶是制作半導(dao)體電(dian)路(lu)所用的(de)圓(yuan)(yuan)形(xing)硅(gui)(gui)晶片(pian)(pian)，高(gao)純度的(de)多晶硅(gui)(gui)溶解后摻入硅(gui)(gui)晶體晶種，然后慢慢拉出(chu)，形(xing)成圓(yuan)(yuan)柱形(xing)的(de)單晶硅(gui)(gui)。硅(gui)(gui)晶棒在(zai)經過研磨(mo)，拋光，切片(pian)(pian)后，從而(er)形(xing)成硅(gui)(gui)晶圓(yuan)(yuan)片(pian)(pian)，由于圓(yuan)(yuan)晶大多較薄較脆且易被空(kong)氣(qi)污(wu)染，因此現(xian)有(you)技術(shu)下常(chang)用晶圓(yuan)(yuan)盒對(dui)(dui)圓(yuan)(yuan)晶進行(xing)(xing)放置和(he)輸送(song)并(bing)通過鑷子等工具對(dui)(dui)圓(yuan)(yuan)晶進行(xing)(xing)夾取，從而(er)防止圓(yuan)(yuan)晶在(zai)輸送(song)過程(cheng)中(zhong)被空(kong)氣(qi)污(wu)染，并(bing)防止工作人員手部(bu)直(zhi)接接觸圓(yuan)(yuan)晶導(dao)致(zhi)圓(yuan)(yuan)晶被弄(nong)臟。

2、根據(ju)專利公開(kai)號(hao)cn217847898u所(suo)述(shu)：本(ben)(ben)(ben)實用新型公開(kai)了一(yi)種防止(zhi)晶(jing)圓(yuan)(yuan)晃動(dong)的晶(jing)圓(yuan)(yuan)盒(he)，其技(ji)術方案(an)是：包括盒(he)體(ti)(ti)，盒(he)體(ti)(ti)頂部(bu)設(she)(she)(she)有(you)蓋板(ban)(ban)(ban)(ban)，盒(he)體(ti)(ti)頂部(bu)兩側均開(kai)設(she)(she)(she)有(you)凹(ao)槽(cao)一(yi)，凹(ao)槽(cao)一(yi)一(yi)側開(kai)設(she)(she)(she)有(you)空(kong)腔(qiang)，蓋板(ban)(ban)(ban)(ban)底部(bu)兩側均固定(ding)(ding)(ding)(ding)連接有(you)限位(wei)板(ban)(ban)(ban)(ban)，限位(wei)板(ban)(ban)(ban)(ban)延(yan)伸至凹(ao)槽(cao)一(yi)內(nei)部(bu)，限位(wei)板(ban)(ban)(ban)(ban)內(nei)部(bu)開(kai)設(she)(she)(she)有(you)固定(ding)(ding)(ding)(ding)槽(cao)，空(kong)腔(qiang)內(nei)部(bu)設(she)(she)(she)有(you)固定(ding)(ding)(ding)(ding)組(zu)件(jian)，固定(ding)(ding)(ding)(ding)組(zu)件(jian)延(yan)伸至空(kong)腔(qiang)外部(bu)，盒(he)體(ti)(ti)內(nei)部(bu)設(she)(she)(she)有(you)放(fang)置板(ban)(ban)(ban)(ban)，放(fang)置板(ban)(ban)(ban)(ban)頂部(bu)開(kai)設(she)(she)(she)有(you)放(fang)置槽(cao)，放(fang)置槽(cao)內(nei)部(bu)設(she)(she)(she)有(you)晶(jing)圓(yuan)(yuan)本(ben)(ben)(ben)體(ti)(ti)，本(ben)(ben)(ben)實用新型的有(you)益(yi)效果是：通(tong)過增加固定(ding)(ding)(ding)(ding)組(zu)件(jian)以及(ji)穩(wen)定(ding)(ding)(ding)(ding)組(zu)件(jian)，固定(ding)(ding)(ding)(ding)組(zu)件(jian)的設(she)(she)(she)置可以通(tong)過限位(wei)板(ban)(ban)(ban)(ban)以及(ji)橫桿(gan)將(jiang)蓋板(ban)(ban)(ban)(ban)與(yu)盒(he)體(ti)(ti)進(jin)行(xing)固定(ding)(ding)(ding)(ding)，從而達到(dao)對(dui)晶(jing)圓(yuan)(yuan)本(ben)(ben)(ben)體(ti)(ti)進(jin)行(xing)收(shou)納，同時通(tong)過壓板(ban)(ban)(ban)(ban)以軟墊的設(she)(she)(she)置并與(yu)穩(wen)定(ding)(ding)(ding)(ding)組(zu)件(jian)相(xiang)配(pei)合，可以對(dui)晶(jing)圓(yuan)(yuan)本(ben)(ben)(ben)體(ti)(ti)進(jin)行(xing)固定(ding)(ding)(ding)(ding)并防止(zhi)其會在晶(jing)圓(yuan)(yuan)盒(he)內(nei)部(bu)發生晃動(dong)。

3、但上述專(zhuan)(zhuan)利(li)中的放置(zhi)板(ban)(ban)頂部(bu)用于圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)的槽(cao)與圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)的形狀相同，因此使得圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)的外(wai)壁與槽(cao)的內壁貼合，從(cong)而不(bu)便于使用鑷子等工具將圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)取(qu)出，另外(wai)上述專(zhuan)(zhuan)利(li)中的壓板(ban)(ban)與轉(zhuan)動的蓋板(ban)(ban)固定連接(jie)，因此在蓋板(ban)(ban)關閉時，壓板(ban)(ban)靠近圓(yuan)(yuan)心的部(bu)分(fen)會先與圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)接(jie)觸并(bing)對圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)造(zao)成擠(ji)壓，從(cong)而使得圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)的頂部(bu)受(shou)力不(bu)均(jun)勻導致圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)變形受(shou)損。

技術實現思路

1、本實用新型的(de)主(zhu)要目的(de)在(zai)于(yu)提(ti)供一種防止(zhi)晶(jing)圓(yuan)(yuan)晃動的(de)晶(jing)圓(yuan)(yuan)盒，可以有效解決上述(shu)背景中(zhong)提(ti)出(chu)的(de)問題。

2、為實現上述(shu)目的，本實用新型所采用的技術(shu)方案是(shi)：

3、一種防止晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)晃動(dong)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)盒(he)，包(bao)括晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)盒(he)主體和三個(ge)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)(fang)(fang)置(zhi)板(ban)(ban)，所述(shu)(shu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)盒(he)主體的(de)(de)(de)內(nei)壁設(she)置(zhi)有(you)豎向(xiang)排列的(de)(de)(de)三個(ge)頂(ding)(ding)部(bu)固(gu)定(ding)(ding)結構，三個(ge)所述(shu)(shu)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)(fang)(fang)置(zhi)板(ban)(ban)均活(huo)動(dong)連接(jie)在晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)盒(he)主體的(de)(de)(de)內(nei)壁且分別設(she)置(zhi)在三個(ge)頂(ding)(ding)部(bu)固(gu)定(ding)(ding)結構的(de)(de)(de)下方，所述(shu)(shu)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)(fang)(fang)置(zhi)板(ban)(ban)的(de)(de)(de)橫截面形(xing)(xing)狀(zhuang)為折形(xing)(xing)，所述(shu)(shu)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)(fang)(fang)置(zhi)板(ban)(ban)的(de)(de)(de)后側設(she)置(zhi)有(you)按壓板(ban)(ban)，所述(shu)(shu)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)(fang)(fang)置(zhi)板(ban)(ban)的(de)(de)(de)頂(ding)(ding)部(bu)開設(she)有(you)上下貫(guan)通的(de)(de)(de)安裝(zhuang)槽，所述(shu)(shu)安裝(zhuang)槽的(de)(de)(de)內(nei)壁固(gu)定(ding)(ding)連接(jie)有(you)橡(xiang)膠板(ban)(ban)，且所述(shu)(shu)橡(xiang)膠板(ban)(ban)的(de)(de)(de)厚度與圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)(fang)(fang)置(zhi)板(ban)(ban)的(de)(de)(de)厚度相等，所述(shu)(shu)橡(xiang)膠板(ban)(ban)的(de)(de)(de)頂(ding)(ding)部(bu)開設(she)有(you)矩形(xing)(xing)陣列的(de)(de)(de)若干個(ge)圓(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)(fang)(fang)置(zhi)槽。

4、本實用新型技(ji)術(shu)方(fang)(fang)案的(de)(de)(de)進一步改進在于：所(suo)述圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)置(zhi)(zhi)槽的(de)(de)(de)左(zuo)右兩(liang)(liang)側均開(kai)設有(you)方(fang)(fang)形槽，所(suo)述圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)置(zhi)(zhi)槽為圓(yuan)(yuan)(yuan)形減去左(zuo)右兩(liang)(liang)側各一個矩形的(de)(de)(de)組(zu)合(he)形狀(zhuang)，兩(liang)(liang)個所(suo)述方(fang)(fang)形槽的(de)(de)(de)相(xiang)對側均向(xiang)圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)置(zhi)(zhi)槽的(de)(de)(de)圓(yuan)(yuan)(yuan)心方(fang)(fang)向(xiang)延伸至圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)置(zhi)(zhi)槽的(de)(de)(de)圓(yuan)(yuan)(yuan)周(zhou)內部(bu)，所(suo)述方(fang)(fang)形槽的(de)(de)(de)深度大于圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)置(zhi)(zhi)槽的(de)(de)(de)深度。

5、本(ben)實用(yong)新型技術(shu)方案的(de)(de)進(jin)一步(bu)改(gai)進(jin)在(zai)于(yu)：所(suo)(suo)述晶(jing)圓盒主(zhu)體的(de)(de)背面開設(she)有豎向排列(lie)的(de)(de)三個插槽(cao)(cao)且(qie)插槽(cao)(cao)的(de)(de)截面尺寸大(da)于(yu)晶(jing)圓盒主(zhu)體的(de)(de)內壁尺寸，所(suo)(suo)述插槽(cao)(cao)的(de)(de)內壁與圓晶(jing)放置板的(de)(de)外壁活動連接(jie)。

6、本(ben)實用新型技術方案的(de)(de)進(jin)(jin)一步(bu)改(gai)進(jin)(jin)在(zai)(zai)(zai)于：所述(shu)(shu)頂部固(gu)(gu)定(ding)結構(gou)包括(kuo)有(you)固(gu)(gu)定(ding)板(ban)(ban)(ban)和橡膠(jiao)擋(dang)板(ban)(ban)(ban)，所述(shu)(shu)固(gu)(gu)定(ding)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)四周均固(gu)(gu)定(ding)連接(jie)在(zai)(zai)(zai)晶圓(yuan)盒(he)主體(ti)的(de)(de)內(nei)壁，所述(shu)(shu)橡膠(jiao)擋(dang)板(ban)(ban)(ban)固(gu)(gu)定(ding)連接(jie)在(zai)(zai)(zai)固(gu)(gu)定(ding)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)底部，且所述(shu)(shu)橡膠(jiao)擋(dang)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)底面高度與插槽(cao)的(de)(de)內(nei)壁頂部高度相同。

7、本實(shi)用新(xin)型技術(shu)方(fang)案(an)的(de)(de)進(jin)一(yi)步改進(jin)在于：所(suo)述(shu)圓晶放(fang)(fang)置(zhi)板的(de)(de)背面開設有(you)三個滑槽(cao)，所(suo)述(shu)滑槽(cao)的(de)(de)前(qian)側(ce)開設有(you)相連通的(de)(de)折形空腔，所(suo)述(shu)折形空腔的(de)(de)內壁前(qian)側(ce)活動連接有(you)鎖塊，且(qie)所(suo)述(shu)鎖塊的(de)(de)頂端(duan)貫(guan)穿(chuan)至圓晶放(fang)(fang)置(zhi)板的(de)(de)外側(ce)上方(fang)。

8、本(ben)實用新(xin)型技(ji)術(shu)方(fang)案(an)的進一步(bu)改進在于(yu)：所(suo)(suo)述(shu)鎖塊(kuai)的后側固(gu)定(ding)(ding)連接有連接滑(hua)桿，所(suo)(suo)述(shu)折形(xing)(xing)空(kong)腔(qiang)折形(xing)(xing)部(bu)分的內壁底(di)部(bu)固(gu)定(ding)(ding)連接有彈簧，所(suo)(suo)述(shu)彈簧的頂部(bu)與(yu)連接滑(hua)桿的底(di)部(bu)后側固(gu)定(ding)(ding)連接。

9、本實(shi)用新型(xing)技術方案的(de)進一步改進在于：所述連接(jie)(jie)滑(hua)(hua)桿的(de)外壁后(hou)側與滑(hua)(hua)槽的(de)內壁活動連接(jie)(jie)，三(san)個(ge)所述連接(jie)(jie)滑(hua)(hua)桿的(de)后(hou)端均與按壓板的(de)前側固定連接(jie)(jie)。

10、本實(shi)用(yong)新(xin)型技術方案的進(jin)一步(bu)改進(jin)在于：所述插槽內壁頂部的后側開設有(you)三個鎖孔，所述鎖孔的內壁與(yu)鎖塊的外壁活動連接。

11、由于采用了上述技(ji)術(shu)(shu)方案(an)，本實用新型相對現有技(ji)術(shu)(shu)來說(shuo)，取得(de)的(de)技(ji)術(shu)(shu)進步是：

12、1、本實用(yong)新型提供一種防(fang)止晶(jing)(jing)圓(yuan)晃(huang)動的(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)盒(he)，通過(guo)圓(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)置槽(cao)和方形槽(cao)的(de)共同配合，使得圓(yuan)晶(jing)(jing)的(de)兩側均有(you)部分懸空，通過(guo)外界的(de)鑷(nie)子插入方形槽(cao)并將(jiang)圓(yuan)晶(jing)(jing)的(de)側面夾住，從而(er)便(bian)于將(jiang)圓(yuan)晶(jing)(jing)取出(chu)。

13、2、本實(shi)用新(xin)型提(ti)供一種防止晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)晃(huang)動的晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)盒，通過(guo)(guo)固定板(ban)、橡膠(jiao)擋板(ban)、插槽、鎖(suo)(suo)孔、橡膠(jiao)板(ban)、鎖(suo)(suo)塊、連接(jie)滑桿、彈簧和按壓(ya)板(ban)的共同配合，通過(guo)(guo)將(jiang)圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)放置(zhi)板(ban)水平插入(ru)插槽將(jiang)圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)放置(zhi)板(ban)固定在晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)盒主體的內壁，從而使得橡膠(jiao)板(ban)和圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)的頂部保持橡膠(jiao)擋板(ban)均勻的壓(ya)力(li)，進(jin)而避免圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)的頂部受力(li)不(bu)均勻導致圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)被按壓(ya)變形受損。

技術特征：

1.一種(zhong)防(fang)止晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)晃動(dong)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)盒，包括晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)盒主(zhu)(zhu)體(ti)(1)和三個圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)置板(ban)(ban)(3)，其特(te)征在于：所(suo)述(shu)晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)盒主(zhu)(zhu)體(ti)(1)的(de)(de)(de)內(nei)壁(bi)設(she)置有豎(shu)向(xiang)排(pai)列的(de)(de)(de)三個頂(ding)(ding)(ding)部固定(ding)結(jie)構(gou)(gou)(2)，三個所(suo)述(shu)圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)置板(ban)(ban)(3)均活動(dong)連(lian)接(jie)在晶(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)盒主(zhu)(zhu)體(ti)(1)的(de)(de)(de)內(nei)壁(bi)且分別設(she)置在三個頂(ding)(ding)(ding)部固定(ding)結(jie)構(gou)(gou)(2)的(de)(de)(de)下(xia)方(fang)，所(suo)述(shu)圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)置板(ban)(ban)(3)的(de)(de)(de)橫(heng)截(jie)面形(xing)(xing)狀(zhuang)為(wei)折形(xing)(xing)，所(suo)述(shu)圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)置板(ban)(ban)(3)的(de)(de)(de)后側設(she)置有按壓(ya)板(ban)(ban)(4)，所(suo)述(shu)圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)置板(ban)(ban)(3)的(de)(de)(de)頂(ding)(ding)(ding)部開設(she)有上下(xia)貫(guan)通(tong)的(de)(de)(de)安裝(zhuang)槽，所(suo)述(shu)安裝(zhuang)槽的(de)(de)(de)內(nei)壁(bi)固定(ding)連(lian)接(jie)有橡(xiang)膠板(ban)(ban)(31)，且所(suo)述(shu)橡(xiang)膠板(ban)(ban)(31)的(de)(de)(de)厚度(du)(du)與圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)置板(ban)(ban)(3)的(de)(de)(de)厚度(du)(du)相等，所(suo)述(shu)橡(xiang)膠板(ban)(ban)(31)的(de)(de)(de)頂(ding)(ding)(ding)部開設(she)有矩形(xing)(xing)陣(zhen)列的(de)(de)(de)若干個圓(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)放(fang)(fang)置槽(32)。

2.根據權利要求1所(suo)(suo)述的(de)一種防止晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)晃動的(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)盒，其特征在(zai)于(yu)：所(suo)(suo)述圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)放置(zhi)(zhi)槽(cao)(cao)(32)的(de)左(zuo)右兩(liang)側均(jun)開設有方形(xing)(xing)(xing)槽(cao)(cao)(34)，所(suo)(suo)述圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)放置(zhi)(zhi)槽(cao)(cao)(32)為圓(yuan)(yuan)(yuan)形(xing)(xing)(xing)減去(qu)左(zuo)右兩(liang)側各一個(ge)矩(ju)形(xing)(xing)(xing)的(de)組(zu)合形(xing)(xing)(xing)狀，兩(liang)個(ge)所(suo)(suo)述方形(xing)(xing)(xing)槽(cao)(cao)(34)的(de)相對(dui)側均(jun)向圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)放置(zhi)(zhi)槽(cao)(cao)(32)的(de)圓(yuan)(yuan)(yuan)心方向延(yan)伸至圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)放置(zhi)(zhi)槽(cao)(cao)(32)的(de)圓(yuan)(yuan)(yuan)周內部，所(suo)(suo)述方形(xing)(xing)(xing)槽(cao)(cao)(34)的(de)深度(du)大于(yu)圓(yuan)(yuan)(yuan)晶(jing)(jing)(jing)放置(zhi)(zhi)槽(cao)(cao)(32)的(de)深度(du)。

3.根據權利(li)要求2所(suo)述的(de)一種防止晶(jing)圓晃動的(de)晶(jing)圓盒，其特征(zheng)在(zai)于：所(suo)述晶(jing)圓盒主(zhu)體(ti)(1)的(de)背(bei)面開設有豎向排列的(de)三個插槽(cao)(11)且插槽(cao)(11)的(de)截面尺(chi)寸(cun)大于晶(jing)圓盒主(zhu)體(ti)(1)的(de)內壁尺(chi)寸(cun)，所(suo)述插槽(cao)(11)的(de)內壁與圓晶(jing)放置板(3)的(de)外(wai)壁活動連(lian)接。

4.根據權利(li)要求3所述(shu)的(de)一種防止晶圓晃動的(de)晶圓盒(he)，其特征在于：所述(shu)頂(ding)部固定(ding)(ding)結(jie)構(2)包括(kuo)有固定(ding)(ding)板(21)和橡膠(jiao)擋(dang)板(22)，所述(shu)固定(ding)(ding)板(21)的(de)四周均固定(ding)(ding)連接(jie)在晶圓盒(he)主(zhu)體(1)的(de)內壁(bi)，所述(shu)橡膠(jiao)擋(dang)板(22)固定(ding)(ding)連接(jie)在固定(ding)(ding)板(21)的(de)底部，且所述(shu)橡膠(jiao)擋(dang)板(22)的(de)底面高度(du)與插槽(11)的(de)內壁(bi)頂(ding)部高度(du)相同(tong)。

5.根(gen)據(ju)權利要求3所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)的一種防止晶(jing)圓(yuan)晃動(dong)的晶(jing)圓(yuan)盒(he)，其特征在于：所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)圓(yuan)晶(jing)放置(zhi)板(3)的背面開(kai)設(she)有(you)(you)三個滑槽(38)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)滑槽(38)的前側(ce)(ce)(ce)開(kai)設(she)有(you)(you)相(xiang)連(lian)(lian)通的折形(xing)空腔(qiang)(35)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)折形(xing)空腔(qiang)(35)的內(nei)壁(bi)前側(ce)(ce)(ce)活動(dong)連(lian)(lian)接有(you)(you)鎖塊(33)，且所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)鎖塊(33)的頂(ding)端貫穿至圓(yuan)晶(jing)放置(zhi)板(3)的外側(ce)(ce)(ce)上方。

6.根據權利(li)要(yao)求5所述(shu)(shu)(shu)的(de)(de)一種防止晶圓晃動的(de)(de)晶圓盒，其(qi)特征在于：所述(shu)(shu)(shu)鎖塊(33)的(de)(de)后側固定連(lian)接(jie)有連(lian)接(jie)滑桿(36)，所述(shu)(shu)(shu)折(zhe)形(xing)空腔(35)折(zhe)形(xing)部(bu)(bu)分(fen)的(de)(de)內(nei)壁底部(bu)(bu)固定連(lian)接(jie)有彈(dan)(dan)簧(huang)(37)，所述(shu)(shu)(shu)彈(dan)(dan)簧(huang)(37)的(de)(de)頂(ding)部(bu)(bu)與連(lian)接(jie)滑桿(36)的(de)(de)底部(bu)(bu)后側固定連(lian)接(jie)。

7.根據權(quan)利要求6所述(shu)(shu)的(de)一種(zhong)防止晶圓晃(huang)動的(de)晶圓盒，其(qi)特征在于：所述(shu)(shu)連接(jie)(jie)滑(hua)桿(36)的(de)外壁后側與(yu)滑(hua)槽(38)的(de)內壁活動連接(jie)(jie)，三個所述(shu)(shu)連接(jie)(jie)滑(hua)桿(36)的(de)后端均與(yu)按壓板(ban)(4)的(de)前側固定連接(jie)(jie)。

8.根據權(quan)利要求5所述的(de)一種防止(zhi)晶圓(yuan)晃動的(de)晶圓(yuan)盒，其特征在于：所述插槽(11)內壁(bi)頂部的(de)后側開設有(you)三(san)個(ge)鎖(suo)孔(kong)(12)，所述鎖(suo)孔(kong)(12)的(de)內壁(bi)與鎖(suo)塊(33)的(de)外壁(bi)活動連接。

技術總結
本技術公開了一種防止晶圓晃動的晶圓盒，涉及晶圓盒技術領域，包括晶圓盒主體和三個圓晶放置板，所述晶圓盒主體的內壁設置有豎向排列的三個頂部固定結構，三個所述圓晶放置板均活動連接在晶圓盒主體的內壁且分別設置在三個頂部固定結構的下方，所述圓晶放置板的橫截面形狀為折形，所述圓晶放置板的后側設置有按壓板，所述圓晶放置板的頂部開設有上下貫通的安裝槽，所述安裝槽的內壁固定連接有橡膠板，所述橡膠板的頂部開設有矩形陣列的若干個圓晶放置槽。本技術通過圓晶放置槽和方形槽的共同配合，使得圓晶的兩側均有部分懸空，通過外界的鑷子插入方形槽并將圓晶的側面夾住，從而便于將圓晶取出。

技術研發人員：劉春峰,劉國華,洪巧水
受保護的技術使用者：榮耀電子材料（重慶）有限公司
技術研發日：20240126
技術公布日：2024/9/19