本發明涉及半導體晶圓離(li)子(zi)注入，尤其涉及一種全數(shu)字化控制智能自診斷離(li)子(zi)注入方法。
背景技術：
1、公(gong)開(kai)(kai)(kai)號為cn109243954a的(de)(de)(de)(de)(de)(de)專利申請文件中公(gong)開(kai)(kai)(kai)了一種(zhong)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)機，并且也公(gong)開(kai)(kai)(kai)了一種(zhong)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)程(cheng)(cheng)，但是長時(shi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)過(guo)程(cheng)(cheng)中，離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)機中各功能模塊長期使(shi)用(yong)可能出(chu)現功能異常或者出(chu)現正常的(de)(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)能誤(wu)差，例如晶(jing)圓在(zai)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)過(guo)程(cheng)(cheng)中會旋(xuan)(xuan)轉，晶(jing)圓旋(xuan)(xuan)轉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)速(su)度會受到帶動(dong)晶(jing)圓轉動(dong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)活(huo)動(dong)盤體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)機械磨損和傳動(dong)磨損的(de)(de)(de)(de)(de)(de)影響，從而(er)長時(shi)間(jian)使(shi)用(yong)速(su)度會出(chu)現穩定性(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)波(bo)動(dong)，同(tong)樣，對(dui)于離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)過(guo)程(cheng)(cheng)中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)真空度、加速(su)系統、萃取(qu)系統都可能因為長時(shi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)使(shi)用(yong)而(er)出(chu)現參數上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)波(bo)動(dong)，而(er)這(zhe)些波(bo)動(dong)又(you)會直接影響最終(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)劑量(liang)，而(er)目(mu)前(qian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)設備(bei)并沒(mei)有對(dui)這(zhe)些誤(wu)差波(bo)動(dong)進行優化。
技術實現思路
1、本(ben)發(fa)明所要(yao)解決的(de)技術(shu)問(wen)題(ti)是(shi)：提供一種全數(shu)字化控制智(zhi)能自診斷離子(zi)注(zhu)(zhu)入方法，該離子(zi)注(zhu)(zhu)入方法引入了自診斷，可以在離子(zi)注(zhu)(zhu)入工藝(yi)參(can)數(shu)出現波動(dong)時進行快(kuai)速調整，以盡(jin)快(kuai)恢復(fu)到正(zheng)常工藝(yi)要(yao)求，保(bao)證離子(zi)注(zhu)(zhu)入劑量的(de)穩定。
2、為解決(jue)上述技(ji)術(shu)問題(ti)，本發明的(de)技(ji)術(shu)方(fang)案是(shi)：一種(zhong)全數字化(hua)控制智能自(zi)診斷離子(zi)注入(ru)方(fang)法，該離子(zi)注入(ru)方(fang)法作用于離子(zi)注入(ru)機，該離子(zi)注入(ru)機還包(bao)括(kuo)電(dian)源(yuan)分配模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、主機控制模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、氣體模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、循環水模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、真空(kong)建(jian)立模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、離子(zi)源(yuan)模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、引出模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、離子(zi)分析模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、加減速模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、掃描模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、劑量控制模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、電(dian)子(zi)淋(lin)浴(yu)模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、硅片進出模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)和傳感器檢(jian)測(ce)模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)，所述電(dian)源(yuan)分配模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)將動力電(dian)轉(zhuan)化(hua)成各(ge)模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)所需(xu)要的(de)交流(liu)和直(zhi)流(liu)電(dian)輸(shu)出給各(ge)模(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)，并對每(mei)一路的(de)輸(shu)出電(dian)壓和輸(shu)出電(dian)流(liu)進行(xing)實時監測(ce)；
3、所述主機(ji)控制模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)控制離(li)子注(zhu)入機(ji)各模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)協調工(gong)(gong)作(zuo)，該主機(ji)控制模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)包含了(le)輸(shu)入顯(xian)示(shi)(shi)模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)、分(fen)(fen)析(xi)處(chu)理模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)、儲存(cun)模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)、自(zi)(zi)診(zhen)(zhen)斷模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)和(he)通訊(xun)模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)；先通過輸(shu)入顯(xian)示(shi)(shi)模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)輸(shu)入預設(she)(she)的離(li)子注(zhu)入工(gong)(gong)藝參數(shu)和(he)與每套離(li)子注(zhu)入工(gong)(gong)藝參數(shu)配套的自(zi)(zi)診(zhen)(zhen)斷工(gong)(gong)藝參數(shu)范圍并儲存(cun)在儲存(cun)模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)中形成預設(she)(she)庫；分(fen)(fen)析(xi)處(chu)理模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)用于(yu)分(fen)(fen)析(xi)和(he)控制離(li)子注(zhu)入設(she)(she)備的工(gong)(gong)作(zuo)狀態，所述通訊(xun)模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)與其他(ta)模(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)之(zhi)間(jian)進(jin)行數(shu)字(zi)通訊(xun)；該離(li)子注(zhu)入方法包括以下(xia)步(bu)驟：
4、s1、分(fen)(fen)(fen)(fen)析處理(li)模(mo)塊啟動設備并進(jin)行初始化操作，分(fen)(fen)(fen)(fen)析處理(li)模(mo)塊和(he)自(zi)(zi)診斷(duan)(duan)模(mo)塊分(fen)(fen)(fen)(fen)別預先(xian)加載離(li)子注入(ru)工藝(yi)參(can)(can)數和(he)對應的(de)自(zi)(zi)診斷(duan)(duan)工藝(yi)參(can)(can)數范圍；自(zi)(zi)診斷(duan)(duan)模(mo)塊先(xian)根據電(dian)源分(fen)(fen)(fen)(fen)配(pei)模(mo)塊輸出的(de)電(dian)流和(he)電(dian)壓大(da)小對電(dian)控層進(jin)行自(zi)(zi)診斷(duan)(duan)，在電(dian)源分(fen)(fen)(fen)(fen)配(pei)模(mo)塊完全正常后進(jin)入(ru)下一步驟；
5、s2、通過(guo)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)顯示模(mo)塊(kuai)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)本(ben)(ben)(ben)次離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)；分析處理模(mo)塊(kuai)將(jiang)本(ben)(ben)(ben)次離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)與(yu)預(yu)(yu)設(she)(she)庫中(zhong)的(de)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)比(bi)(bi)對；若預(yu)(yu)設(she)(she)庫中(zhong)有與(yu)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)的(de)離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)相同的(de)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)，則調用預(yu)(yu)設(she)(she)的(de)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)作(zuo)為(wei)執行工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)；若預(yu)(yu)設(she)(she)庫中(zhong)沒有該(gai)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)，則自診(zhen)(zhen)斷(duan)模(mo)塊(kuai)根據(ju)本(ben)(ben)(ben)次離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)與(yu)預(yu)(yu)設(she)(she)庫中(zhong)的(de)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)比(bi)(bi)對，得到相似(si)度最(zui)高的(de)離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)，自診(zhen)(zhen)斷(duan)模(mo)塊(kuai)分析相似(si)最(zui)高的(de)離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)和本(ben)(ben)(ben)次離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)中(zhong)的(de)區別點(dian)，并根據(ju)該(gai)區別點(dian)與(yu)離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)劑量(liang)之間的(de)關聯性，預(yu)(yu)測本(ben)(ben)(ben)次離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)的(de)合理性和潛在問(wen)題，并根據(ju)自診(zhen)(zhen)斷(duan)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)范圍自動(dong)調整問(wen)題參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)，最(zui)終將(jiang)本(ben)(ben)(ben)次調整后(hou)的(de)離(li)子(zi)(zi)注(zhu)(zhu)入(ru)(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)作(zuo)為(wei)執行工(gong)(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)并再次儲(chu)存到儲(chu)存模(mo)塊(kuai)中(zhong)；
6、s3、主機控制模(mo)塊確定(ding)氣(qi)體模(mo)塊、真空建立(li)模(mo)塊和循環(huan)水模(mo)塊正(zheng)常(chang)后根據(ju)執行(xing)(xing)工藝參數進行(xing)(xing)注入室內(nei)的粗(cu)真空的建立(li)，當且僅當粗(cu)真空達到設定(ding)值(zhi)后再進行(xing)(xing)高真空的建立(li)；
7、s4、當高真空環境建立完成后(hou)，離(li)子(zi)源模塊(kuai)(kuai)、引出(chu)模塊(kuai)(kuai)、離(li)子(zi)分(fen)析模塊(kuai)(kuai)、加減速模塊(kuai)(kuai)、掃描模塊(kuai)(kuai)、劑量控制模塊(kuai)(kuai)、電(dian)子(zi)淋(lin)浴模塊(kuai)(kuai)和(he)硅(gui)片(pian)進(jin)出(chu)模塊(kuai)(kuai)啟(qi)動，按照執行工藝(yi)參數進(jin)行離(li)子(zi)注(zhu)入；
8、s5、傳感(gan)器(qi)模塊實(shi)時(shi)(shi)監(jian)測(ce)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)過(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)的(de)各(ge)種(zhong)(zhong)數(shu)(shu)據，劑(ji)量(liang)(liang)控(kong)(kong)制(zhi)模塊實(shi)時(shi)(shi)監(jian)控(kong)(kong)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)，自(zi)診(zhen)斷(duan)模塊實(shi)時(shi)(shi)分析(xi)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)過(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)的(de)各(ge)種(zhong)(zhong)數(shu)(shu)據以及實(shi)時(shi)(shi)監(jian)控(kong)(kong)的(de)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)，并根據離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)的(de)實(shi)時(shi)(shi)波(bo)動優化執(zhi)(zhi)行(xing)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)，并將(jiang)優化執(zhi)(zhi)行(xing)參(can)數(shu)(shu)發送給主(zhu)機(ji)控(kong)(kong)制(zhi)模塊作(zuo)為(wei)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)調整(zheng)參(can)考；當自(zi)診(zhen)斷(duan)模塊分析(xi)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)過(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)的(de)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)數(shu)(shu)值超過(guo)預設閾(yu)值時(shi)(shi)，自(zi)診(zhen)斷(duan)模塊進行(xing)自(zi)診(zhen)斷(duan)從預設庫中(zhong)(zhong)選取最(zui)接近(jin)的(de)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)作(zuo)為(wei)目(mu)標工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)，主(zhu)機(ji)控(kong)(kong)制(zhi)模塊以目(mu)標工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)為(wei)基準調整(zheng)執(zhi)(zhi)行(xing)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)使離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)恢復到設定值；
9、s6、離子注入完成(cheng)(cheng)后，主機控制模塊收集(ji)并分析最終工藝參數，生成(cheng)(cheng)注入結果(guo)報告儲存(cun)至儲存(cun)模塊中(zhong)。
10、作為(wei)一(yi)種優(you)選(xuan)的(de)(de)(de)(de)方(fang)案(an)，所述步驟(zou)s5中(zhong)，自診(zhen)斷模(mo)塊進行(xing)自診(zhen)斷從預設(she)(she)(she)庫(ku)(ku)(ku)中(zhong)選(xuan)取最(zui)接近的(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)作為(wei)目(mu)標工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)具體方(fang)法(fa)為(wei)：主(zhu)機控(kong)制(zhi)模(mo)塊從儲存(cun)模(mo)塊中(zhong)的(de)(de)(de)(de)預設(she)(she)(she)庫(ku)(ku)(ku)中(zhong)分析查找預設(she)(she)(she)庫(ku)(ku)(ku)中(zhong)是否有與(yu)(yu)(yu)執行(xing)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)中(zhong)設(she)(she)(she)定的(de)(de)(de)(de)注(zhu)入(ru)(ru)劑量(liang)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)預設(she)(she)(she)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)，若預設(she)(she)(she)庫(ku)(ku)(ku)中(zhong)沒有與(yu)(yu)(yu)注(zhu)入(ru)(ru)劑量(liang)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)預設(she)(she)(she)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)，系(xi)統發出報警(jing)提示，人(ren)工(gong)(gong)干預，人(ren)工(gong)(gong)修改(gai)設(she)(she)(she)定工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)并調試，最(zui)終將(jiang)修改(gai)后的(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)儲存(cun)到預設(she)(she)(she)庫(ku)(ku)(ku)中(zhong)；而若預設(she)(she)(she)庫(ku)(ku)(ku)中(zhong)有一(yi)個或者多個與(yu)(yu)(yu)設(she)(she)(she)定的(de)(de)(de)(de)注(zhu)入(ru)(ru)劑量(liang)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)預設(she)(she)(she)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)時，將(jiang)所有注(zhu)入(ru)(ru)劑量(liang)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)預設(she)(she)(she)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)和執行(xing)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)各(ge)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)進行(xing)一(yi)一(yi)比對；選(xuan)取與(yu)(yu)(yu)執行(xing)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)中(zhong)各(ge)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)值相(xiang)同(tong)項(xiang)最(zui)多的(de)(de)(de)(de)預設(she)(she)(she)工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)作為(wei)目(mu)標工(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)。
11、作(zuo)為一種優選(xuan)的方(fang)案，所述步驟s5中(zhong)，主機(ji)(ji)控(kong)制模塊以目標(biao)工(gong)藝參(can)數為基準(zhun)調整執行(xing)工(gong)藝參(can)數使離(li)(li)子(zi)注入劑量(liang)恢(hui)復到設定值的方(fang)法為：主機(ji)(ji)控(kong)制模塊剔除數值相(xiang)同的參(can)數項后得到數值不同的參(can)數項，主機(ji)(ji)控(kong)制模塊按照影響離(li)(li)子(zi)注入劑量(liang)的程(cheng)度不同由小(xiao)到大(da)逐個調整參(can)數項，直至離(li)(li)子(zi)注入劑量(liang)恢(hui)復到設定值。
12、作(zuo)為一種優(you)選的(de)(de)方案(an)，所述步(bu)驟s2中，自(zi)診斷模(mo)(mo)塊分析相似(si)最(zui)高的(de)(de)離(li)(li)子注(zhu)入(ru)工藝參(can)(can)數(shu)(shu)和本(ben)(ben)次(ci)離(li)(li)子注(zhu)入(ru)工藝參(can)(can)數(shu)(shu)中的(de)(de)區別點，并根(gen)(gen)(gen)據(ju)該(gai)區別點與離(li)(li)子注(zhu)入(ru)劑量之間的(de)(de)關聯(lian)性(xing)，預(yu)測本(ben)(ben)次(ci)離(li)(li)子注(zhu)入(ru)工藝參(can)(can)數(shu)(shu)的(de)(de)合(he)理性(xing)和潛在(zai)問題，并根(gen)(gen)(gen)據(ju)自(zi)診斷工藝參(can)(can)數(shu)(shu)范圍自(zi)動調整問題參(can)(can)數(shu)(shu)的(de)(de)具(ju)體方法為：儲存模(mo)(mo)塊中人工輸入(ru)了(le)各參(can)(can)數(shu)(shu)與離(li)(li)子注(zhu)入(ru)劑量影響(xiang)(xiang)程度的(de)(de)大小的(de)(de)影響(xiang)(xiang)關系(xi)庫，自(zi)診斷模(mo)(mo)塊根(gen)(gen)(gen)據(ju)影響(xiang)(xiang)關系(xi)庫分析區別參(can)(can)數(shu)(shu)，根(gen)(gen)(gen)據(ju)區別參(can)(can)數(shu)(shu)中數(shu)(shu)值差(cha)異和影響(xiang)(xiang)關系(xi)庫綜合(he)預(yu)測分析本(ben)(ben)次(ci)離(li)(li)子注(zhu)入(ru)工藝參(can)(can)數(shu)(shu)的(de)(de)合(he)理性(xing)和潛在(zai)問題。
13、作為一種優選的方案，所述(shu)通訊(xun)模塊采用zigbee、lorawan、sigfox、nb-iot無線通訊(xun)模塊中的一種或(huo)者多種。
14、采用了(le)上述技術(shu)方案后(hou)，本發(fa)明(ming)的(de)效果是：該離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)方法在離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)之前可以(yi)先(xian)對輸(shu)入(ru)(ru)(ru)的(de)離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)工藝(yi)(yi)參數進(jin)行(xing)預(yu)診斷(duan)，預(yu)先(xian)判(pan)斷(duan)工藝(yi)(yi)參數的(de)合理性和可行(xing)性，然(ran)后(hou)在離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)的(de)過(guo)程中根(gen)據離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)的(de)波動變化來優化執行(xing)工藝(yi)(yi)參數，并(bing)且在離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)波動較大時自動更改字(zi)形工藝(yi)(yi)參數，從而(er)(er)將離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)拉回到設定值，從而(er)(er)保證離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)過(guo)程中離(li)子(zi)注入(ru)(ru)(ru)劑(ji)量(liang)(liang)的(de)穩定。
1.一(yi)(yi)種全數字化(hua)控制智能(neng)自診斷(duan)離(li)子(zi)(zi)注(zhu)入(ru)方(fang)法(fa)(fa)，該離(li)子(zi)(zi)注(zhu)入(ru)方(fang)法(fa)(fa)作(zuo)用于(yu)離(li)子(zi)(zi)注(zhu)入(ru)機，該離(li)子(zi)(zi)注(zhu)入(ru)機包括電(dian)源分配模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、主機控制模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、氣體模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、循環水模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、真空建立模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、離(li)子(zi)(zi)源模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、引出模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、離(li)子(zi)(zi)分析模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、加(jia)減速模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、掃描模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、劑量控制模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、電(dian)子(zi)(zi)淋浴模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)、硅片進出模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)和傳感(gan)器檢測(ce)模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)，其特(te)征在于(yu)：所述電(dian)源分配模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)將動力(li)電(dian)轉化(hua)成(cheng)各模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)所需要的交流(liu)和直(zhi)流(liu)電(dian)輸(shu)出給各模(mo)(mo)(mo)(mo)塊(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)(kuai)，并對每一(yi)(yi)路(lu)的輸(shu)出電(dian)壓和輸(shu)出電(dian)流(liu)進行實(shi)時監測(ce)；
2.如權利要求1所(suo)(suo)述的(de)(de)(de)(de)一(yi)種全(quan)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)字化控制智能自診斷(duan)離子(zi)注入(ru)(ru)方法(fa)，其特征在于：所(suo)(suo)述步驟s5中(zhong)(zhong)，自診斷(duan)模(mo)塊(kuai)進(jin)行(xing)(xing)自診斷(duan)從預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)庫(ku)中(zhong)(zhong)選(xuan)取最接近的(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)作為目標工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)具(ju)體方法(fa)為：主(zhu)機(ji)控制模(mo)塊(kuai)從儲(chu)存模(mo)塊(kuai)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)庫(ku)中(zhong)(zhong)分析(xi)查找預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)庫(ku)中(zhong)(zhong)是否有(you)(you)(you)與(yu)執(zhi)(zhi)行(xing)(xing)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)中(zhong)(zhong)設(she)(she)定的(de)(de)(de)(de)注入(ru)(ru)劑(ji)(ji)量(liang)(liang)(liang)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相(xiang)(xiang)(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)，若預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)庫(ku)中(zhong)(zhong)沒有(you)(you)(you)與(yu)注入(ru)(ru)劑(ji)(ji)量(liang)(liang)(liang)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相(xiang)(xiang)(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)，系(xi)統(tong)發(fa)出(chu)報警提(ti)示，人工(gong)(gong)(gong)干預(yu)(yu)(yu)，人工(gong)(gong)(gong)修改(gai)設(she)(she)定工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)并(bing)調試，最終將(jiang)修改(gai)后的(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)儲(chu)存到預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)庫(ku)中(zhong)(zhong)；而若預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)庫(ku)中(zhong)(zhong)有(you)(you)(you)一(yi)個(ge)或者(zhe)多個(ge)與(yu)設(she)(she)定的(de)(de)(de)(de)注入(ru)(ru)劑(ji)(ji)量(liang)(liang)(liang)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相(xiang)(xiang)(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)時，將(jiang)所(suo)(suo)有(you)(you)(you)注入(ru)(ru)劑(ji)(ji)量(liang)(liang)(liang)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)相(xiang)(xiang)(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)和(he)執(zhi)(zhi)行(xing)(xing)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)各(ge)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)進(jin)行(xing)(xing)一(yi)一(yi)比(bi)對；選(xuan)取與(yu)執(zhi)(zhi)行(xing)(xing)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)中(zhong)(zhong)各(ge)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)值相(xiang)(xiang)(xiang)同(tong)項最多的(de)(de)(de)(de)預(yu)(yu)(yu)設(she)(she)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)作為目標工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參(can)(can)(can)(can)(can)數(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)。
3.如權利要求2所述的(de)一種全數(shu)字化控(kong)制(zhi)智能自診(zhen)斷離子注(zhu)(zhu)(zhu)入方法(fa)，其特征在于：所述步驟(zou)s5中，主(zhu)機控(kong)制(zhi)模(mo)塊(kuai)以目標工藝(yi)參(can)數(shu)為基準調整(zheng)執行(xing)工藝(yi)參(can)數(shu)使離子注(zhu)(zhu)(zhu)入劑(ji)量恢(hui)復到(dao)(dao)(dao)設(she)定(ding)值的(de)方法(fa)為：主(zhu)機控(kong)制(zhi)模(mo)塊(kuai)剔除(chu)數(shu)值相同(tong)的(de)參(can)數(shu)項后得到(dao)(dao)(dao)數(shu)值不同(tong)的(de)參(can)數(shu)項，主(zhu)機控(kong)制(zhi)模(mo)塊(kuai)按照(zhao)影響(xiang)離子注(zhu)(zhu)(zhu)入劑(ji)量的(de)程(cheng)度不同(tong)由(you)小到(dao)(dao)(dao)大逐個調整(zheng)參(can)數(shu)項，直至離子注(zhu)(zhu)(zhu)入劑(ji)量恢(hui)復到(dao)(dao)(dao)設(she)定(ding)值。
4.如權利要(yao)求1所(suo)述(shu)(shu)的(de)(de)(de)一種全數(shu)(shu)(shu)字化控制智能自(zi)(zi)診(zhen)(zhen)斷離(li)子注(zhu)入(ru)(ru)方法(fa)，其特征(zheng)在于：所(suo)述(shu)(shu)步驟s2中(zhong)(zhong)，自(zi)(zi)診(zhen)(zhen)斷模(mo)塊(kuai)分析相(xiang)似最(zui)高的(de)(de)(de)離(li)子注(zhu)入(ru)(ru)工(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)(shu)和本次(ci)離(li)子注(zhu)入(ru)(ru)工(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)(shu)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)區(qu)(qu)別(bie)點，并根(gen)(gen)(gen)據(ju)該區(qu)(qu)別(bie)點與離(li)子注(zhu)入(ru)(ru)劑量(liang)(liang)之間(jian)的(de)(de)(de)關(guan)聯(lian)性(xing)，預測(ce)本次(ci)離(li)子注(zhu)入(ru)(ru)工(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)合理性(xing)和潛在問題(ti)，并根(gen)(gen)(gen)據(ju)自(zi)(zi)診(zhen)(zhen)斷工(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)(shu)范圍(wei)自(zi)(zi)動調整問題(ti)參(can)數(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)具體方法(fa)為：儲存模(mo)塊(kuai)中(zhong)(zhong)人工(gong)輸入(ru)(ru)了各(ge)參(can)數(shu)(shu)(shu)與離(li)子注(zhu)入(ru)(ru)劑量(liang)(liang)影(ying)響程度的(de)(de)(de)大小的(de)(de)(de)影(ying)響關(guan)系庫(ku)，自(zi)(zi)診(zhen)(zhen)斷模(mo)塊(kuai)根(gen)(gen)(gen)據(ju)影(ying)響關(guan)系庫(ku)分析區(qu)(qu)別(bie)參(can)數(shu)(shu)(shu)，根(gen)(gen)(gen)據(ju)區(qu)(qu)別(bie)參(can)數(shu)(shu)(shu)中(zhong)(zhong)數(shu)(shu)(shu)值差異(yi)和影(ying)響關(guan)系庫(ku)綜(zong)合預測(ce)分析本次(ci)離(li)子注(zhu)入(ru)(ru)工(gong)藝(yi)(yi)參(can)數(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)合理性(xing)和潛在問題(ti)。
5.如(ru)權利要求1所述的一(yi)種(zhong)(zhong)全數字化控制智能(neng)自診(zhen)斷離子(zi)注入方(fang)法，其特(te)征在于：所述通(tong)訊模(mo)塊(kuai)采用zigbee、lorawan、sigfox、nb-iot無線通(tong)訊模(mo)塊(kuai)中的一(yi)種(zhong)(zhong)或者(zhe)多種(zhong)(zhong)。