專利名稱：制造太陽能電池的方法
技術領域：
本發明的實施例屬于可再生能源領域，具體地講，涉及制造太陽能電池的方法。
背景技術：
光伏電池，通常被稱為太陽能電池 ，是直接將太陽輻射轉化成電能的熟知的裝置。一般來講，使用半導體加工技術將太陽能電池制造在半導體晶片上或基板上以形成鄰近基板表面的P_n結。射到基板表面上的太陽輻射在大部分基板上形成電子空穴對，這些電子空穴對遷移到基板P摻雜和n摻雜區域，從而在所述摻雜區域之間產生電壓差。所述摻雜區域連接到在太陽能電池上的金屬觸點以將電流從電池導向至與其耦合的外部電路。效率是太陽能電池的重要特征，因其直接與太陽能電池發電能力有關。同樣，制備太陽能電池的效率直接與此類太陽能電池的成本效益有關。因此，提高太陽能電池效率的技術或提高制備太陽能電池效率的技術是普遍所需的。本發明的實施例涉及通過提供制造太陽能電池結構的新工藝而提高太陽能電池的制造效率。


圖I根據本發明的實施例示出了代表太陽能電池制造方法中的操作的流程圖。圖2A根據本發明的實施例示出了對應于圖I的流程圖的操作102和圖3的流程圖的操作302的制造太陽能電池的一個階段的剖視圖。圖2B根據本發明的實施例示出了對應于圖I的流程圖的操作104和圖3的流程圖的操作304的制造太陽能電池的一個階段的剖視圖。圖2C根據本發明的實施例示出了制造太陽能電池的一個階段的剖視圖。圖2D根據本發明的實施例示出了制造太陽能電池的一個階段的剖視圖。圖2E根據本發明的實施例示出了對應于圖I的流程圖的操作106的制造太陽能電池的一個階段的剖視圖。圖2F根據本發明的實施例示出了制造太陽能電池的一個階段的剖視圖。圖3根據本發明的實施例示出了代表太陽能電池制造方法中的操作的流程圖。圖4根據本發明的實施例示出了太陽能電池的基板的剖視圖，該基板具有形成于其上的加固的多孔層。
具體實施例方式在本文中描述了制造太陽能電池的方法。在以下的描述中，示出了許多具體細節(例如，具體工序流程操作)以提供對本發明實施例的透徹理解。對本領域的技術人員將顯而易見的是在沒有這些具體細節的情況下可實施本發明的實施例。在其他例子中，沒有詳細地描述諸如金屬觸點形成技術的熟知的制造技術以避免不必要地使本發明的實施例難以理解。此外，應當理解在圖中示出的多種實施例是示例性的實例并且未必按比例繪制。本文公開了制造太陽能電池的方法。在一個實施例中，制造太陽能電池的方法包括在基板的表面上形成多孔層。該多孔層包括多個顆粒和多個空隙。將溶液分配到多孔層的一個或多個區域以提供圖案化的復合層。然后加熱所述基板。在實施例中，所述多孔層是溶劑吸收層。在一個實施例中，制造太陽能電池的方法包括在基板表面上形成多孔層。該多孔層包括多個顆粒和多個空隙。將溶液分配到多孔層的一個或多個區域以提供圖案化的復合層。該溶液包含用于基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源。在實施例中，該多孔層是溶劑吸收層。本文還公開了太陽能電池。在一個實施例中，太陽能電池包括基板。該太陽能電池還包括設置在基板表面上的多孔層，所述多孔層包括多個顆粒和多個空隙。在實施例中，該多孔層是溶劑吸收層。·多孔表面混合物在紙張制備中用來提高印刷分辨率。然而，當混合物用于此類應用中時，提高分辨率是混合物的主要功能，并且整個多孔層在印刷之后位置保持不變。根據本發明的實施例，在多孔混合物和摻雜材料之間形成新的相互作用使得后續的蝕刻處理通過移除多孔表面材料而形成印刷有圖案的、摻雜的和拓撲改善的涂層。根據本發明的實施例，希望在基板上或設置于在制造太陽能電池中所用的基板上的層上產生小的精確圖案，例如以便提供摻雜物源。然而，如果使用噴墨方法，一旦液體摻雜物流體著落在晶片或基板表面上，則該液體摻雜物流體趨于流動并且在該表面上鋪展開。希望減少鋪展以提供分辨率。在實施例中，將厚度一致的層沉積到該表面上是很重要的，即，既不能太厚而使得發生破裂，也不能太薄而使得整個摻雜物層在后處理(例如，蝕亥IJ)中被移除。在一些實施例中，晶片或基板的表面具有紋理化表面，并且重要的是將相對一致的摻雜物膜厚度沉積在該紋理化的表面上。根據本發明的實施例，通過形成新的復合材料而改善溶劑型噴墨材料的印刷質量。在一個實施例中，在噴射前將顆粒物質沉積到基板或晶片表面上。在一個實施例中，然后形成復合材料以具有溶劑材料和顆粒物質，該復合材料具有不同于任一單獨材料的特性。在一個實施例中，單獨的顆粒物質的特性相對于顆粒物質加上溶劑系統的特性具有差異，以允許在后處理(例如，蝕刻)中有不同的效果。在一個實施例中，在與顆粒物質結合之后，保留了溶劑材料(諸如，摻雜物)的特定特性，其中所述特定特性起初存在于溶劑材料中，但是現在存在于組合材料中。在實施例中，通過將溶劑材料噴射到已經沉積在晶片或基板表面上的顆粒物質的開放式結構中而實現改善印刷質量。該方法形成了新的、局部的復合材料，其允許隨后對噴射區域與未噴射區域進行差異化化學蝕刻或移除。通常，在實施例中，提供了直接將圖案化的摻雜物層沉積到半導體晶片或更具體地講太陽能電池上的新方法。根據本發明的實施例，減少了對形成具有流體特性同時滿足某些標準的溶劑型噴墨材料的需求。例如，在一個實施例中，提供了摻雜載流子。在一個實施例中，在噴墨印刷之后提供了精細側向印刷分辨率。在一個實施例中，印刷層厚度具有涂覆在非平表面結構上的能力，通常涂覆在硅晶片的非拋光或紋理化表面。在一個實施例中，在單個方法中提供了所有上述三個屬性。根據本發明的實施例，本文所述的方法中的一者或多者的優點在于復合材料的最終特性，即，在顆粒物質的開放式結構和噴射溶劑材料之間的相互作用。在一個實施例中，一些優點包括以下一種或多種(a)在后處理條件下(例如，差異蝕刻)復合材料以不同于非復合材料的方式反應，(b)復合材料具有不同于非復合材料的局部特性，(C)復合材料具有一些溶劑材料的特性(諸如，用作摻雜物源)，以及(d)復合材料具有一些顆粒物質的特性(諸如，厚度和地形覆蓋)。通常，在實施例中，復合材料的最終特性使得后續蝕刻處理可形成高效和準確地用于太陽能電池制造的印刷的、摻雜的和拓撲改善的涂層。根據本發明的實施例，將顆粒物質(包括在懸浮液中或具有表面涂層的顆粒物質)沉積在表面上。該表面通常屬于隨后通過噴墨而印刷的硅太陽能電池。多孔材料為二氧化硅化合物或與太陽能電池相容的其他材料(包括滿足金屬雜質要求的材料)。在實施例中，顆粒物質具有如下一種或多種沉積后特性(a)沉積后成為開放式 結構以使得流體可被引入填滿空隙，(b)粘附到晶片表面，(c)粘附到在顆粒物質中的其他顆粒使得顆粒層局部地或完全地與自身凝聚，(d)足夠厚以覆蓋所關注的任何拓撲特征(諸如，先前工序的硅峰)，或(e)對蝕刻溶液的化學反應性。在實施例中，選擇顆粒物質中的顆粒尺寸以具有一個或多個下述屬性，(a)優化噴射材料的能力以在噴射的同時從基體滲透至晶片表面或(b)優化后續化學蝕刻或類似方法的能力以溶解和移除未接納噴射材料的顆粒物質。在實施例中，尺寸范圍在約0. 01微米和約4微米之間的固態顆粒物質預期能提供一些上述所需特性。然而，在另一個實施例中，多孔顆粒物質功能類似。根據本發明的實施例，在將顆粒物質沉積到整個或局部表面上之后，該表面用溶劑型材料印刷了噴墨圖案。該溶劑型材料在印刷圖案中而非在圖案之外滲透并融合所述顆粒物質。在印刷和任選地燒制之后，化學蝕刻或相似地處理該表面以在顆粒物質未被溶劑材料融合的那些區域移除所述顆粒物質。顆粒層的另外的實施例包括(但不限于)(a)沉積連續層(例如，溶膠凝膠)，其在進一步固化時變成多孔層，或(b)改變基礎層的表面使其在沉積時成為多孔的。在實施例中，高粘度方法是無效的，因為當在工藝流程中諸如加熱處理時，該印刷材料可能滲出，降低了分辨率。可通過在基板上形成多孔層、將溶液分配到多孔層的一個或多個區域以及加熱該基板而制造太陽能電池。例如圖I根據本發明的實施例示出了代表太陽能電池制造方法中的操作的流程圖100。圖2A-2F根據本發明的實施例示出了對應于流程圖100的操作的太陽能電池制造的多個階段的剖視圖。參見流程圖100的操作102和對應的圖2A，制造太陽能電池的方法包括在基板200的表面上形成多孔層202。根據本發明的實施例，多孔層202包括多個顆粒204和多個空隙206。在一個實施例中，所述多個顆粒204的顆粒是不含金屬的或基本上不含金屬的，或沒受金屬污染的。在一個實施例中，多個空隙206的空隙的平均空隙尺寸大約在0. 5-10微米的范圍內。在實施例中，多孔層202的孔隙度大約在30-65%的范圍內。在實施例中，在基板200的表面上形成多孔層202包括形成多個空隙206的每個空隙以具有適合接納溶液的尺寸(如下所述)并且限制溶液的側向擴散。用于此限制的機理可以是(但不限于)通過毛細管作用而限制。應當理解基板200可以是設置在全部太陽能電池基板上的層，例如，多晶娃層。該多個顆粒204的顆粒可通過靜電力保持在基板200的表面上。例如，根據本發明的實施例，該多個顆粒204的顆粒可通過在基板200上引起靜電場而保持在基板200的表面上。借助于該靜電場可將顆粒轉移至基板200。可使用在粉末涂料和激光印刷機中通用的方法。例如，在實施例中，使用表面張力以將所述多個顆粒204的顆粒保持在相對于基板200的適當位置。在實施例中，多孔層202是固態的，并且形成所述多孔層202包括以混合物形式提供多個顆粒204和溶劑。然后，蒸發溶劑以從該混合物獲得多孔層202。在實施例中，基板200表面的整個區域(例如，基板200的頂部表面)覆蓋有多孔層202。然而，在另一個實施例中，覆蓋了基板200表面的僅一部分區域，例如以減少加工成本。根據本發明的實施例，在基板204上形成多孔層202包括在具有表面粗糙度的基板200的表面上形成多孔層202并且與之共形。在一個實施例中，基板200的表面(例如，基板200的頂部表面)具有均方根大約在20-30微米范圍內的表面粗糙度。在一個實施例中，多孔層202的厚度大約在0.5-20微米的范圍內。應當理解可在如下兩者之間達成平衡希望控制液體或溶液在多孔層202中的側向擴散作為實現印刷分辨率的側向擴散的厚度控制，與控制在足夠薄以使得摻雜物溶液到達基板200的表面(例如，到達多孔層202的底部)的層中的豎直擴散。 參見流程圖100的操作104和對應的圖2B，制造太陽能電池的方法還包括將溶液208分配到多孔層的一個或多個區域中以提供圖案化的復合層210。根據本發明的實施例，分配溶液208包括使用噴墨方法。然而，其他實施例可包括(但不限于)使用涂抹式方法或使用噴涂式方法。在實施例中，當使用噴墨方法時，優選將低粘度液體用于多孔層202 (或作為用于多孔層202的介質)。使用高粘度液體可導致滲出，從而降低分辨率，或限定在后續加熱操作中的區域。在一個實施例中，分配溶液208包括使用噴墨方法，并且溶液208以粘度大約為10厘泊的液體分配。在實施例中，分配溶液208包括分配具有用于基板200的電荷載流子雜質原子的摻雜物源的溶液。在一個實施例中，電荷載流子雜質原子的摻雜物源包括N型(例如，相對于硅基板)電荷載流子雜質原子。在一個實施例中，電荷載流子雜質原子的摻雜物源包括P型(例如，相對于硅基板)電荷載流子雜質原子。在一個實施例中，使用不同等級的相同摻雜物并且重復該方法多次。在一個實施例中，共同沉積N和P型摻雜物。在一個實施例中，該第二摻雜物衍生自在分配溶液208之前或之后的不同源(例如，該第二摻雜物包括在單個沉積層中，例如，APCVD)使得僅一個摻雜物源得自印刷技術，例如，本文所述的方法。 參見圖2C，在可選的實施例中，分配溶液208包括分配具有用于基板200的電荷載流子雜質原子的摻雜物源的溶液。在一個此實施例中，摻雜物源為用于硅的N型摻雜物源，該方法還包括將第二溶液212分配到多孔層202的一個或多個其他區域中以提供雙重圖案化的復合層214。在該實施例中，分配第二溶液包括分配具有用于基板200的電荷載流子雜質原子的P型摻雜物源的溶液。在另一個此實施例中，摻雜物源為用于硅的P型摻雜物源，該方法還包括將第二溶液212分配到多孔層202的一個或多個其他區域中以提供雙重圖案化的復合層214。在該實施例中，分配第二溶液包括分配具有用于基板200的電荷載流子雜質原子的N型摻雜物源的溶液。在其他實施例中，可將不止一種溶液分配到多孔層202的不同區域，其中不同溶液根據相對于彼此的摻雜物濃度而不同。在另一個實施例中，雖然未示出，但是加熱和印刷的組合用于提供在不同區域間沒有空隙(例如，在由第一溶液208和第二溶液212形成的區域之間沒有空隙)的雙重圖案化復合層214。
參見圖2D，在可選的實施例中，制造太陽能電池的方法還包括除了具有溶液208或溶液208和212的一個或多個區域之外蝕刻多孔層202的所有部分。蝕刻暴露了基板200的區域并且提供被蝕刻的復合層216。根據本發明的實施例，所述蝕刻基于在多孔層202和具有溶液208或溶液208和212的一個或多個區域間的蝕刻選擇性。在一個實施例中，該蝕刻選擇性基于諸如(但不限于)空隙率或組成之類的參數。在另一個實施例中，使用除蝕刻之外的移除技術提供復合層216。在可供選擇的實施例中，如果加熱和印刷的組合用于提供在不同區域之間沒有空隙的雙重圖案化復合層214，則蝕刻操作可以不相關。參見流程圖100的操作106和對應的圖2E，制造太陽能電池的方法還包括加熱基板200。根據本發明的實施例，加熱基板200包括驅動摻雜物源的電荷載流子雜質原子(例如，N型摻雜物)進入基板200以形成區域218。在一個實施例中，加熱基板200還包括驅動(例如)來自P型摻雜物源的第二溶液的電荷載流子雜質原子進入基板200以形成區域220。然而，在可供選擇的實施例中，溶液208 (如果使用的話,還有第二溶液212)是無摻雜的或基本不含摻雜物的，因此該加熱操作的主要功能不是將摻雜物驅動進入基板20 0。根據本發明的另一個實施例，加熱基板200加固多孔層202的剩余部分，如結合圖4在下文中更詳細地描述。在一個實施例中，在后來的操作中，將摻雜物原子驅入基板200中。即，首先可采用首次加熱步驟以加固包括可被稱為基體的第一溶液208和第二溶液212的多孔層202的部分。其次，進行二次加熱操作以將摻雜物驅入基板200中。在具體實施例中，首次加熱的主要目的是將基體加固成溶液208 (和212)與基板200表面保持接觸的固體，以及僅在基體區域中(例如，不在未接納溶液的多孔層202的區域中)加固該固體。在實施例中，加熱局部地加固沒有溶液的多孔層202的部分，但是保留至少一些孔隙度以用于隨后印刷或使得選擇性蝕刻多孔層。在一個具體實施例中，加熱基板200以加固基體，然后進行蝕刻以移除多孔層，以及最后，加熱基板200以將摻雜物雜質原子驅入基板200中。在另一個具體實施例中，加熱基板200以加固基體并且保留多孔層202的剩余部分以用于后續處理。在另一個具體實施例中，再次處理和加熱基板200以加固摻雜物，或加熱以同時加固和驅動摻雜物。在另一個具體實施例中，加熱基板200以驅動摻雜物并留下多孔層202的剩余部分或蝕刻掉多孔層202的剩余部分。參見圖2F，在可選的實施例中，制造太陽能電池的方法還包括移除多孔層202的全部剩余部分，例如，移除被蝕刻的復合層216。在實施例中，通過干式蝕刻方法移除多孔層202的剩余部分。在另一個實施例中，通過濕式蝕刻方法移除多孔層202的剩余部分。在實施例中，干式或濕式蝕刻方法是機械輔助的。為了進一步制造太陽能電池或完成制造太陽能電池，上述方法還可包括在圖2F的摻雜區域218和220上形成金屬觸點。在實施例中，太陽能電池成品是背面接觸式太陽能電池。在該實施例中，N型摻雜區域218和P型摻雜區域220是有源區。導電觸點可連接到有源區并且通過可由電介質材料構成的隔離區域而彼此隔離。在實施例中，太陽能電池是背面接觸式太陽能電池并且還包括設置在光接收表面上(例如，在太陽能電池的隨機紋理化表面上)的防反射涂層。應注意到在實施例中，可不進行該操作，并且加固的材料可保留在基板200上，如結合圖4在下文中所述。在本發明的另一個方面，可通過在基板上形成多孔層和將溶液分配到多孔層的一個或多個區域中而制造太陽能電池，所述溶液包含用于基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源。例如圖3根據本發明的實施例示出了代表太陽能電池制造方法中的操作的流程圖300。圖2A-2F根據本發明的實施例示出了對應于流程圖300的操作的太陽能電池制造的多個階段的剖視圖。參見流程圖300的操作302和對應的圖2A，制造太陽能電池的方法包括在基板200的表面上形成多孔層202，其類似于流程圖100的操作102。在實施例中，多孔層202包括多個顆粒204和多個空隙206。在實施例中，在基板200的表面上形成多孔層202包括形成多個空隙206的每個空隙以具有適合接納溶液的尺寸并且限制溶液的側向擴散。在實施例中，在基板200上形成多孔層202包括在具有表面粗糙度的基板202的表面上形成多孔層202并且與之共形。在此實施例中，多孔層202的厚度大約在0.5-20微米的范圍內。在實施例中，多孔層202是固態的，并且形成多孔層202包括以混合物形式提供多個顆粒204和溶劑，然后蒸發溶劑以從混合物中獲得多孔層202。參見流程圖300的操作304和對應的圖2B，制造太陽能電池的方法還包括將溶液 208分配到多孔層的一個或多個區域從而得到圖案化復合層210，溶液208包含用于基板200的電荷載流子雜質原子的摻雜物源。在實施例中，分配溶液208包括使用噴墨方法。在一個此類實施例中，溶液208以粘度約10厘泊的液體分配。在實施例中，溶液208包含用于娃基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源。例如，在一個實施例中，電荷載流子雜質原子為N型摻雜物，例如(但不限于)磷摻雜物。在另一個實施例中，電荷載流子雜質原子為P型摻雜物，例如(但不限于)硼摻雜物。參見圖2C，在可選的實施例中，上述摻雜物源為用于硅的N型摻雜物源，該方法還包括將第二溶液212分配到多孔層202的一個或多個其他區域中以提供雙重圖案化的復合層214。在實施例中，分配第二溶液212包括分配具有用于基板200的電荷載流子雜質原子的P型摻雜物源的溶液。在一個實施例中，分配溶液208和第二溶液212包括在多孔層202的單程中分配溶液208和第二溶液212。在一個實施例中，分配溶液208和第二溶液212包括在多孔層202的第一程中分配溶液208 (或者第二溶液212)以及在多孔層202的第二單獨程中分配第二溶液212 (或者溶液208)。參見圖2D，在可選的實施例中，為了暴露基板200的區域，蝕刻除了具有溶液208(和任選的第二溶液212)的一個或多個區域之外的多孔層202的所有部分，所述蝕刻基于在多孔層202和具有溶液208 (和任選的第二溶液212)的一個或多個區域之間的蝕刻選擇性。參見圖2E，在可選的實施例中，制造太陽能電池的方法還包括加熱基板200。參見圖2F，在可選的實施例中，移除多孔層202的所有剩余部分。為了進一步制造太陽能電池或完成制造太陽能電池，上述方法還可包括在圖2F的摻雜區域218和220上形成金屬觸點。如相對于以上圖1-3中的實施例所述，多孔層可保留在太陽能電池的基板上，或很可能在隨后被移除。然而，太陽能電池結構可最終保留或至少暫時包括因處理操作而獲得的此多孔層。例如，圖4根據本發明的實施例示出了太陽能電池的基板的剖視圖，該基板具有形成于其上的多孔層。參見圖4，太陽能電池包括基板400。將加固的多孔層402設置在基板400的表面上。該加固的多孔層402包括多個顆粒404和多個空隙406。根據本發明的實施例，在用于制造太陽能電池的處理操作中不移除加固的多孔層402的部分，而是將該多孔層的部分保持作為在基板400的表面上或在整個基板上的層或層疊堆上的工件。因此，已公開了制造太陽能電池的方法。根據本發明的實施例，制造太陽能電池的方法包括在基板表面上形成多孔層，該多孔層包括多個顆粒和多個空隙。該方法還包括將溶液分配到多孔層的一個或多個區域中從而獲得圖案化的復合層。該方法還包括加熱該基板。在一個實施例中，分配溶液包括分配具有用于基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源的溶液。在具體的實施例中，加熱基板包括將摻雜物源的電荷載流子雜質原子驅入基板。·
權利要求
1.一種制造太陽能電池的方法，所述方法包括 在基板的表面上形成多孔層，所述多孔層包括多個顆粒和多個空隙； 將溶液分配到所述多孔層的一個或多個區域中從而獲得圖案化的復合層；以及 加熱所述基板。
2.根據權利要求I所述的方法，其中加熱所述基板包括加固所述圖案化的復合層、所述多孔層或兩者。
3.根據權利要求I所述的方法，其中分配所述溶液包括分配包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源的溶液。
4.根據權利要求3所述的方法，其中加熱所述基板包括將所述摻雜物源的所述電荷載流子雜質原子驅入所述基板。
5.根據權利要求4所述的方法，其中所述摻雜物源為用于硅的N型摻雜物源，所述方法還包括 將第二溶液分配到所述多孔層的一個或多個其他區域中從而得到雙重圖案化的復合層，其中分配所述第二溶液包括分配包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的P型摻雜物源的溶液，并且其中加熱所述基板還包括將所述P型摻雜物源的所述電荷載流子雜質原子驅入所述基板中。
6.根據權利要求I所述的方法，其中在所述基板的所述表面上形成所述多孔層包括形成所述多個空隙的每個空隙以具有在所述基板的所述表面上適合接納所述溶液的尺寸并且限制所述溶液的側向擴散。
7.根據權利要求I所述的方法，還包括 蝕刻除了具有所述溶液的所述一個或多個區域之外的所述多孔層的所有部分以暴露所述基板的區域，所述蝕刻基于在所述多孔層和具有所述溶液的所述一個或多個區域之間的蝕刻選擇性。
8.根據權利要求I所述的方法，其中分配所述溶液包括使用噴墨方法。
9.根據權利要求8所述的方法，其中所述溶液的粘度為大約10厘泊。
10.根據權利要求I所述的方法，其中在所述基板上形成所述多孔層包括在具有表面粗糙度的表面上形成所述多孔層并且與之共形，其中所述多孔層的厚度大約在0. 5-20微米的范圍內。
11.根據權利要求I所述的方法，其中所述多孔層是固態的，并且其中形成所述多孔層包括 以混合物形式提供所述多個顆粒和溶劑；以及 蒸發所述溶劑以從所述混合物得到所述多孔層。
12.一種制造太陽能電池的方法，所述方法包括 在基板的表面上形成多孔層，所述多孔層包括多個顆粒和多個空隙；以及 將溶液分配到所述多孔層的一個或多個區域中從而得到圖案化的復合層，所述溶液包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的摻雜物源。
13.根據權利要求12所述的方法，其中所述摻雜物源為用于硅的N型摻雜物源，所述方法還包括 將第二溶液分配到所述多孔層的一個或多個其他區域中從而得到雙重圖案化的復合層，其中分配所述第二溶液包括分配包含用于所述基板的電荷載流子雜質原子的P型摻雜物源的溶液。
14.根據權利要求13所述的方法，其中分配所述溶液和所述第二溶液包括在所述多孔層的單程中分配所述溶液和所述第二溶液。
15.根據權利要求13所述的方法，其中分配所述溶液和所述第二溶液包括在所述多孔層的第一程中分配所述溶液和在所述多孔層的第二單獨程中分配所述第二溶液。
16.根據權利要求12所述的方法，其中在所述基板的所述表面上形成所述多孔層包括形成所述多個空隙的每個空隙以具有在所述基板的所述表面上適合接納所述溶液的尺寸并且限制所述溶液的側向擴散。
17.根據權利要求12所述的方法，還包括 蝕刻除了具有所述溶液的所述一個或多個區域之外的所述多孔層的所有部分以暴露所述基板的區域，所述蝕刻基于在所述多孔層和具有所述溶液的所述一個或多個區域之間的蝕刻選擇性。
18.根據權利要求12所述的方法，其中分配所述溶液包括使用噴墨方法。
19.根據權利要求18所述的方法，其中所述溶液的粘度為大約10厘泊。
20.根據權利要求12所述的方法，其中在所述基板上形成所述多孔層包括在具有表面粗糙度的表面上形成所述多孔層并且與之共形，其中所述多孔層的厚度大約在0. 5-20微米的范圍內。
21.根據權利要求12所述的方法，其中所述多孔層是固態的，并且其中形成所述多孔層包括 以混合物形式提供所述多個顆粒和溶劑；以及 蒸發所述溶劑以從所述混合物得到所述多孔層。
22.—種太陽能電池，包括 基板；以及 設置在所述基板表面上的加固的多孔層，所述加固的多孔層包括多個顆粒和多個空隙。
全文摘要
本發明描述了制造太陽能電池的方法。在基板的表面上可形成多孔層，所述多孔層包括多個顆粒和多個空隙。可將溶液分配到所述多孔層的一個或多個區域從而得到圖案化的復合層。然后可加熱所述基板。
文檔編號H01L31/18GK102971868SQ201180032530
公開日2013年3月13日 申請日期2011年7月20日 優先權日2010年9月20日
發明者托馬斯·帕斯, 羅伯特·羅杰斯 申請人:太陽能公司