內表面檢查裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種內表面檢查裝置。該內表面檢查裝置是將末端配置于被檢查物的孔的內部來檢查孔的內表面的狀態的裝置。內表面檢查裝置具有：棒狀透鏡；配置于棒狀透鏡的基端側的環形照明、同軸照明以及拍攝部；以及照明控制部。棒狀透鏡在末端側具有將從徑向外側射入的光朝向基端側反射的反射部。環形照明將與軸向具有規定的角度的環形的光射入棒狀透鏡，同軸照明將與軸向大致平行的光射入棒狀透鏡。照明控制部能夠根據光量設定值，控制所述環形照明以及所述同軸照明的開閉，多級調節環形照明以及同軸照明中的至少一個的光量。
【專利說明】
內表面檢查裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種檢查孔的內表面的狀態的內表面檢查裝置。
【背景技術】
[0002]在電氣設備或者汽車等各種裝置中存在筒狀的部件或者具有筒狀的孔部的部件。這樣形狀的部件是在內部通過流體的管或者與其他部件嵌合的部位等。因此，要求筒狀的內表面不存在裂縫或者氣泡等缺陷或者要求成型精度的誤差較小。例如在用于汽車的引擎的圓筒狀的氣缸中，其內表面需要以較高地精度完成。
[0003]因此，以往關于筒狀的部件或者部件的孔部，為了檢查在筒或者孔的內表面是否存在缺陷，使用內表面檢查裝置。例如在日本特開2009-69374號公報中記載了以往的內表面檢查裝置。
[0004]上述內表面檢查裝置具有在末端具有為反射部的斜面的圓柱體。在以往的內表面檢查裝置中，從圓柱體的基端側射入照明光，圓柱體的末端配置于孔的內部。由此，以往的內表面檢查裝置在圓柱體的基端側將孔的內表面形狀作為影像可視化，從而判斷在孔的內表面是否存在缺陷。
[0005]在上述文獻記載的內表面檢查裝置中，使用環形照明作為照亮孔的內表面的照明。環形照明射入與軸向具有規定的角度的環狀的光。在這樣的環形照明中，光向圓柱體的射入角度具有恒定的寬度。因此，在存在于孔的內表面的缺陷的凹凸較小的情況下，在凹凸周邊不易發生亮度的變化。因此，在上述內表面檢查裝置中，在使用環形照明的情況下，難以檢測孔的內表面的凹凸較小的缺陷。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型的目的是提供一種能夠精確地檢測各種缺陷的內表面檢查裝置。
[0007]本申請的例示性的內表面檢查裝置具有從基端朝向末端沿軸向延伸的棒狀透鏡，內表面檢查裝置至少將末端配置于被檢查物的孔的內部，檢查構成孔的被檢查物的內表面的狀態。內表面檢查裝置具有:棒狀透鏡;環形照明；同軸照明；拍攝部；以及照明控制部。棒狀透鏡是柱狀，在末端側具有反射部，并沿軸向延伸。環形照明配置于棒狀透鏡的所述基端偵U，且將與軸向具有規定的角度的環狀的光射入棒狀透鏡。同軸照明配置于棒狀透鏡的基端側，將與軸向大致平行的光射入棒狀透鏡。拍攝部配置于棒狀透鏡的基端側，并拍攝來自反射部的光。照明控制部控制環形照明以及同軸照明。反射部將從徑向外側射入的光向基端側反射。照明控制部能夠根據光量設定值，控制所述環形照明以及所述同軸照明的開閉，多級調節環形照明以及同軸照明中的至少一個的光量。
[0008]內表面檢查裝置還具有:監視器，其顯示拍攝部所拍攝的影像；以及輸入部，其輸入有光量設定值。
[0009]內表面檢查裝置還具有缺陷檢測部，所述缺陷檢測部從所述拍攝部輸入拍攝的拍攝數據，對拍攝部所拍攝的影像即拍攝數據進行解析，檢測被檢查物的所述內表面中的缺陷位置。
[0010]拍攝部是C⑶照相機。
[0011]棒狀透鏡具有從其末端側端面朝向基端側凹陷的凹部。凹部的內表面形成為內徑隨著從基端側朝向末端側而擴展的圓錐形狀。
[0012]同軸照明具有半透半反鏡和光源。半透半反鏡配置于與棒狀透鏡在軸向上重疊的位置。光源從半透半反鏡的徑向外側向所述半透半反鏡照射光。
[0013]內表面檢查裝置還具有:裝置主體，其具有棒狀透鏡、環形照明、同軸照明以及拍攝部；以及工作臺，其具有載置臺以及工作臺驅動部。在載置臺載置有裝置主體。工作臺驅動部是在內部具有馬達的載置臺的移動機構，工作臺驅動部使載置臺移動。
[0014]根據本申請的例示性的一實施方式，能夠提高內表面檢查裝置檢測各種缺陷的檢測精度。
[0015]參照附圖并通過以下對本實用新型優選實施方式的詳細說明，本實用新型的上述及其他特征、要素、步驟、特點和優點會變得更加清楚。
【附圖說明】
[0016]圖1是第一實施方式所涉及的內表面檢查裝置的概略圖。
[0017]圖2是第一實施方式所涉及的裝置主體的剖視圖。
[0018]圖3是表示第一實施方式所涉及的內表面檢查裝置的控制系統的模塊圖。
[0019]圖4是表示內表面檢查裝置的檢查工序的流程圖。
[0020]圖5是表示內表面檢查裝置的設定工序的流程圖。
【具體實施方式】
[0021]以下參照附圖對本實用新型的例示性的實施方式進行說明。另外，在本說明書中，分別將與棒狀透鏡的中心軸線平行的方向稱作“軸向”、將與中心軸線正交的方向稱作“徑向”，將沿以中心軸線為中心的圓弧的方向稱作“周向”。
[0022]〈1.第一實施方式〉
[0023]〈1-1.內表面檢查裝置的結構〉
[0024]圖1是本實用新型的第一實施方式所涉及的內表面檢查裝置I的立體圖。圖2是裝置主體20的剖視圖。如圖1所示，內表面檢查裝置I具有:裝置主體20;操作部30;工作臺40;以及控制部50。
[0025]內表面檢查裝置I是將后述的棒狀透鏡21的至少末端配置于被檢查物8的孔81的內部，檢查具有孔81的被檢查物8的內表面810的狀態的裝置。內表面檢查裝置I能夠檢查筒狀的部件的內表面或者部件所具有的孔部的內表面等。筒狀的部件或者部件所具有的孔部例如構成電氣設備或者汽車等各種裝置。
[0026]如圖1以及圖2所示，裝置主體20具有:棒狀透鏡21 ；環形照明22;同軸照明23 ；拍攝部24;以及外殼25。棒狀透鏡21、環形照明22、同軸照明23以及拍攝部24分別固定于外殼25。
[0027]棒狀透鏡21是圓柱狀的透鏡，沿中心軸線9沿軸向延伸。在以下的說明中，將棒狀透鏡21的兩端中的固定于外殼25的端部稱作“基端”，將配置于孔81的內部的端部稱作“末端”。本實施方式的棒狀透鏡21由玻璃形成。另外，如果是光透過性高的材料，棒狀透鏡21也可以由樹脂等其他材料形成。
[0028]棒狀透鏡21具有從末端側端面朝向基端側凹陷的凹部211。凹部211的內表面形成為內徑隨著從基端側朝向末端側而擴展的圓錐形狀。構成凹部211的棒狀透鏡21的表面被研磨。棒狀透鏡21的表面構成反射部212。反射部212將從徑向外側射入的光向基端側反射，將從基端側射入的光向徑向外側反射。
[0029]另外，反射部212的圓錐形狀的母線與中心軸線9成45度。由此，從徑向外側朝向中心軸線9射入的光在反射部212沿中心軸線9從末端側向基端側反射，不在棒狀透鏡21的外周面進行反射而是朝向棒狀透鏡21的基端側端部。
[0030]在本實施方式中，對構成凹部211的棒狀透鏡21的表面即反射部212實施鏡面加工。由此，能夠提高反射部212的反射率。反射部212配置于棒狀透鏡21的最靠末端側的位置。由此，即使在被檢查物的孔在軸向上較長的情況下，也能夠檢查至被檢查物的孔的里側。
[0031]棒狀透鏡21的基端側的端部是被研磨成平面狀的基端面213。基端面213相對于中心軸線9垂直地配置。包含基端面213的棒狀透鏡21的基端側的端部配置于外殼25內。由此，抑制了來自外部的光從基端面213射入棒狀透鏡21。
[0032]環形照明22是將與軸向具有規定的角度的環狀的光射入棒狀透鏡21的照明裝置。環形照明22配置于棒狀透鏡21的基端側。從軸向觀察時，環形照明22在中央具有沿軸向貫通的開口部221。環形照明22配置于開口部221的中心與中心軸線9大致一致的位置。環形照明22將與軸向具有規定的角度的環狀的光朝向基端面213照射。在此，“規定的角度”指的是大于等于5度小于90度的范圍中的恒定的范圍。
[0033]如圖2中虛線所示，從環形照明22照射的光的至少一部分從基端面213射入棒狀透鏡21，在棒狀透鏡21的外周面反射并朝向末端側前進，通過反射部212朝向徑向外側反射。由此，從環形照明22照射的光的一部分朝向反射部212的徑向外側，照射被檢查物8的孔81的內表面810。
[0034]同軸照明23是將與軸向大致平行的光射入棒狀透鏡21的照明裝置。同軸照明23配置于棒狀透鏡21的基端側。同軸照明23具有:半透半反鏡231;以及光源232。半透半反鏡231是分束器，配置于與棒狀透鏡21在軸向上重疊的位置。半透半反鏡231的反射面配置于與軸向成45度的角度的位置。光源232從半透半反鏡231的徑向外側朝向半透半反鏡231射出光。
[0035]通過該結構，從光源232照射的光在半透半反鏡231的反射面朝向軸向末端側反射。由此，從光源232照射的光成為與軸向大致平行的光，朝向基端面213前進。在此，“與軸向大致平行”指的是與中心軸線9所成的角小于5度。
[0036]如圖2中雙點劃線所述，從同軸照明23照射的光的至少一部分穿過環形照明22的開口部221，從基端面213射入棒狀透鏡21，在棒狀透鏡21內朝向末端側前進，在比反射部212靠徑向外側的位置朝向與軸向大致垂直的方向反射。由此，從同軸照明23照射的光的一部分朝向反射部212的徑向外側，照射內表面810。
[0037]拍攝部24是具有透鏡241的CCD照相機。拍攝部24配置于棒狀透鏡21的基端側，拍攝來自反射部212的軸向的光。在本實施方式中，拍攝部24的透鏡241相對于環形照明22的開口部221以及同軸照明23的半透半反鏡231配置于與棒狀透鏡21相反的一側的位置。即，透鏡241隔著開口部221以及半透半反鏡231與棒狀透鏡21的基端面213在軸向上相向。由此，拍攝部24能夠通過基端面213、開口部221以及半透半反鏡231拍攝反射在棒狀透鏡21的反射部212的反射部212的徑向外側的影像。
[0038]操作部30具有:監視器31;以及輸入部32。監視器31是顯示與內表面檢查裝置I的各處理相關的各種信息(例如，載置臺41的位置信息、拍攝數據S24以及光量設定值S50等)的部位。監視器31例如使用液晶顯示器等顯示裝置。
[0039]輸入部32是向控制部50輸入各種指令的部位。操作內表面檢查裝置I的操作者能夠一邊確認監視器31，一邊操作輸入部32。輸入部32例如使用鍵盤或者鼠標等。
[0040]另外，操作部30也可以使用監視器31與輸入部32—體的裝置(例如觸摸式的顯示器等)O
[0041 ]工作臺40具有:載置臺41;以及工作臺驅動部42。在載置臺41載置有裝置主體20。工作臺驅動部42例如是在內部具有馬達的載置臺41的移動機構。工作臺驅動部42使載置臺41的X軸方向(裝置主體20的軸向，水平方向)、y軸方向(與X軸方向正交的水平方向)以及z軸方向(與X軸方向以及y軸方向正交的鉛垂方向)的位置移動。
[0042]在本實施方式中，通過操作者通過輸入部32向控制部50的后述的位置調節部51輸入指令，從位置調節部51向工作臺驅動部42輸入位置調節指令S51。由此，工作臺驅動部42按照位置調節指令S51調節載置臺41的各方向的位置。另外，位置調節部51例如也可以基于來自位置檢測傳感器(未圖示)的信號等計算出載置臺41的各方向的目標位置，輸出位置調節指令S51。
[0043]圖3是表示內表面檢查裝置I的控制系統的模塊圖。如圖1以及圖3所示，控制部50與裝置主體20、操作部30以及工作臺40的各部分電連接。本實施方式的控制部50由個人計算機構成。如圖3中概略所示，控制部50具有:位置調節部51 ；照明控制部52 ；缺陷檢測部53 ；缺陷存儲部54;樣本存儲部55;光量設定值確定部56;以及設定值存儲部57。這些各部分51至57的功能通過作為控制部50的計算機按照計算機程序動作來實現。
[0044]位置調節部51為了將載置臺41的位置配置于工作臺驅動部42的所希望的位置，向工作臺驅動部42輸出位置調節指令S51。位置調節部51若從輸入部32被輸入移動指令S32，則按照移動指令S32調節載置臺41的位置。位置調節部51以在檢查過程中使反射部212依次沿X軸方向移動的方式調節載置臺41的位置。
[0045]照明控制部52控制環形照明22以及同軸照明23。具體地說，照明控制部52按照后述的光量設定值S50控制環形照明22以及同軸照明23的開閉，多級調節環形照明22的光量。另外，在本實施方式中，照明控制部52能夠多級調節環形照明22的光量。然而，同軸照明23的光量在打開的情況下只能一級調節。但是，在本實用新型中，也可只能一級調節環形照明的光量，多級調節同軸照明的光量，或者也可以多級調節環形照明的光量和同軸照明的光量雙方。
[0046]從拍攝部24向缺陷檢測部53輸入拍攝的拍攝數據S24。缺陷檢測部53對拍攝部24所拍攝的影像即拍攝數據S24進行解析，檢測被檢查物8的內表面810的缺陷位置數據S53。
[0047]在檢查工序中，缺陷檢測部53將拍攝數據S24以及缺陷位置數據S53輸出至操作部30的監視器31。由此，監視器31顯示拍攝部24所拍攝的拍攝數據S24和缺陷檢測部53檢測出的缺陷位置數據S53。
[0048]在后述的設定工序中，缺陷檢測部53將檢測結果即缺陷位置數據S53輸出至缺陷存儲部54。另外，也可在設定工序中缺陷檢測部53將拍攝數據S24以及缺陷位置數據S53輸出至操作部30的監視器31。
[0049]缺陷存儲部54存儲將光量設定值S50和與該光量設定值S50對應的缺陷位置數據S53配對的檢測數據S54。在本實施方式的缺陷存儲部54存儲多組檢測數據S54。
[0050]樣本存儲部55存儲表示事先準備的樣品被檢查物的缺陷位置的抽樣數據S55。
[0051 ]光量設定值確定部56對存儲于缺陷存儲部54的檢測數據S54與存儲于樣本存儲部55的抽樣數據S55進行比較，確定光量設定值S50。光量設定值確定部56將確定了的光量設定值S50輸出至設定值存儲部57。
[0052]在本實施方式中，光量設定值S50通過百分比表示各照明22、23占最大光量的比例。因此，在例如環形照明22的光量是最大光量的50 %，同軸照明23的光亮是最大光亮的100 % (即只是打開)的情況下，光量設定值350為[50%,100%]ο
[0053]在設定值存儲部57存儲光量設定值S50。在從光量設定值確定部56向設定值存儲部57輸入光量設定值S50的情況下或者操作者向輸入部32輸入光量設定值S50的情況下，設定值存儲部57的光量設定值S50被改寫。在檢查工序中，按照存儲于設定值存儲部57的光量設定值S50，照明控制部52調節環形照明22的光量。
[0054]如上所述，在內表面檢查裝置I中，使用兩種照明(環形照明22與同軸照明23)作為照亮為檢查對象的被檢查物8的內表面810的照明。
[0055]環形照明22相對于棒狀透鏡21的基端面213從徑向外側朝向徑向內側的方向照射光。即，若驅動環形照明22，則向棒狀透鏡21射入與軸向具有規定的角度的環狀的光。在只使用環形照明22作為照亮被檢查物8的內表面810的照明的情況下，向棒狀透鏡21的入射角度具有恒定的范圍。即，從環形照明22照射的朝向各種方向的光中的位于相對于軸向具有規定的角度范圍內的光射入棒狀透鏡21。在這種情況下，內表面810被包含各種角度的光照射。因此，在形成于內表面810的缺陷的凹凸較小的情況下，在該缺陷周邊不易產生亮度的變化。因此，在只使用環形照明22作為照亮被檢查物8的內表面810的照明的情況下，內表面檢查裝置難以檢測出凹凸較小的缺陷。
[0056]另一方面，同軸照明23相對于棒狀透鏡21的基端面照射與中心軸線9大致平行的光。即，若驅動同軸照明23，則向棒狀透鏡21射入與軸向大致平行的光。因此，內表面810被與中心軸線9大致垂直的光照射。在只使用同軸照明23作為照亮內表面810的照明的情況下，向棒狀透鏡21的入射角度幾乎沒有范圍。換言之，從同軸照明23向棒狀透鏡21射入的光的入射角度幾乎是恒定的。在這種情況下，內表面810只被朝向恒定方向的光照射。因此，SP使在形成于內表面810的缺陷的凹凸較小的情況下，在該缺陷的周邊也容易產生亮度的變化。因此，即使在只使用同軸照明23作為照亮被檢查物8的內表面810的照明的情況下，內表面檢查裝置也容易檢測出凹凸較小的缺陷。
[0057]然而，如果只使用同軸照明23作為照亮內表面810的照明，在內表面810附著沒有凹凸的清洗痕的情況下，在該清洗痕跡周邊有時也產生亮度的變化。因此，在只使用同軸照明23作為照亮內表面810的照明的情況下，內表面檢查裝置有可能將清洗痕等沒有凹凸的污點檢測為有凹凸的缺陷。
[0058]在內表面檢查裝置I中，同時使用環形照明22和同軸照明23兩者。由此，抑制了產生上述那樣的檢測遺漏或者誤檢測。特別是在內表面檢查裝置I中，能夠多級調節環形照明22和同軸照明23中的至少一個的光量。由此，能夠調節環形照明22與同軸照明23的光量的比例。即，內表面檢查裝置I能夠使用具有恰當的定向性的照明進行內表面檢查。因此，內表面檢查裝置I能夠檢測出較小的凹凸，且能夠進行誤識別較少的內表面檢查。其結果是，能夠提高內表面檢查裝置對各種缺陷的檢測精度。
[0059]〈1-2.關于檢查工序〉
[0060]接下來，參照圖4對使用了內表面檢查裝置I的檢查工序進行說明。圖4是表示內表面檢查裝置I的檢查工序的流程的流程圖。
[0061]在檢查被檢查物8的內表面810時，首先，將被檢查物8放置于內表面檢查裝置I(步驟STlOl )。接下來操作者操作輸入部32，向控制部50的位置調節部51輸入移動指令S32。由此，工作臺驅動部42調節載置臺41的X軸方向、y軸方向以及z軸方向的位置，對裝置主體20與被檢查物8的孔81進行位置調整(步驟ST102)。此時，使裝置主體20的中心軸線9與孔81的中心軸線80—致。使裝置主體20的反射部212配置于孔81的入口附近。
[0062]接下來，控制部50通過位置調節部51驅動工作臺驅動部42，使裝置主體20沿X軸方向移動，并通過拍攝部24獲取拍攝數據S24(步驟ST103)。此時，使環形照明22以及同軸照明23驅動，通過反射部212向孔81的內表面810照射光。拍攝部24通過反射部212拍攝該內表面810的影像。反射部212位于裝置主體20的末端。反射部212從孔81的入口向里移動或者從里向入口移動，拍攝部24拍攝孔81的內表面810的影像。由此，該內表面810的各個X軸方向位置的影像被作為拍攝數據S24輸入缺陷檢測部53。
[0063]在步驟ST103中，按照光量設定值S50，由控制部50的照明控制部52進行環形照明22以及同軸照明23的控制。即，照明控制部52在步驟ST103開始前將環形照明22以及同軸照明23從關閉切換為打開，調節環形照明22的光量。該檢查工序中使用的光量設定值S50通過后述的設定工序或者其他方法事先設定。
[0064]接下來，控制部50的缺陷檢測部53對輸入的拍攝數據S24進行解析，檢測內表面810的缺陷位置。缺陷檢測部53根據檢測出的缺陷位置計算出缺陷位置數據S53，進行有無缺陷的判斷(步驟ST104)。監視器31顯示在步驟STlO中獲取的拍攝數據S24、缺陷位置數據S53以及有無缺陷的判定結果。
[0065]另外，也可以不通過缺陷檢測部53判斷有無缺陷，而是通過操作者判斷。例如，也可以通過操作者目視確認顯示于監視器31的拍攝數據S24以及缺陷位置數據S53，操作者判定有無缺陷。也可以控制部50不對拍攝數據S24進行缺陷位置的特定等解析，通過操作者只目視確認顯示于監視器31的拍攝數據S24，操作者進行有無缺陷的判斷。
[0066]如此一來，步驟ST103至步驟ST104是從環形照明22以及同軸照明23向棒狀透鏡21的基端側射入光，基于在棒狀透鏡21的基端側獲取的反射部212的徑向外側的影像，檢查被檢查物8的內表面810的狀態的檢查工序。最遲在該檢查工序之前，即步驟ST103之前，需要設定步驟ST103中的檢查時的光量設定值S50。
[0067]在通過缺陷檢測部53判定有無缺陷之后，將被檢查物8從內表面檢查裝置I卸下(步驟 ST105)。
[0068]〈1-3.關于設定工序〉
[0069]接下來，參照圖5對使用了內表面檢查裝置I的光量設定值S50的設定工序的一個例子進行說明。圖5是表示內表面檢查裝置I的光量設定值S50的設定工序的流程的流程圖。
[0070]首先，將已知缺陷位置的樣品被檢查物放置于內表面檢查裝置1(步驟ST201)。接下來，與檢查工序的步驟STlOl相同，對裝置主體20與樣品被檢查物的孔的位置進行匹配調整(步驟ST202)。此時，使裝置主體20的中心軸線9與樣品被檢查物的孔的中心軸線一致。使裝置主體的反射部212配置于樣品被檢查物的孔的入口附近。
[0071 ] 接下來，控制部50的照明控制部52驅動環形照明22，將環形照明22的光量設定為最大光量的O %，驅動同軸照明23，將同軸照明23的光量設定為最大光量的100 %。即，照明控制部52將光量設定值S50設定為[0% ,100%]。控制部50維持該照明狀態，通過位置調節部51驅動工作臺驅動部42。控制部50通過工作臺驅動部42使裝置主體20沿X軸方向移動，通過拍攝部24獲取拍攝數據S24(步驟ST203)。
[0072]如此一來，在步驟ST203中，在樣品被檢查物的孔的內部配置有反射部212的狀態下，獲取光量設定值S50是規定的值[O %，100 % ]的情況下的反射部212的徑向外側的影像的拍攝數據S24。
[0073]接下來，照明控制部52驅動環形照明22，將環形照明22的光量設定為最大光量的25%，驅動同軸照明23，將同軸照明23的光量設定為最大光量的100%。即，照明控制部52將光量設定值S50設定為[25%，100%]。控制部50維持該照明狀態，通過位置調節部51使工作臺驅動部42驅動。控制部50通過工作臺驅動部42使裝置主體20沿X軸方向移動，通過拍攝部24獲取拍攝數據S24(步驟ST204)。
[0074]如此一來，在步驟ST204中，在樣品被檢查物的孔的內部配置有反射部212的狀態下，獲取光量設定值S50是規定的值[25%，100%]的情況下的反射部212的徑向外側的影像的拍攝數據S24。
[0075]接下來，照明控制部52驅動環形照明22，將環形照明22的光量設定為最大光量的50%，驅動同軸照明23，將同軸照明23的光量設定為最大光量的100%。即，照明控制部52將光量設定值S50設定為[50 %，100 % ]。控制部50維持該照明狀態，通過位置調節部51驅動工作臺驅動部42。控制部50通過工作臺驅動部42使裝置主體20沿X軸方向移動，通過拍攝部24獲取拍攝數據S24(步驟ST205)。
[0076]并且，照明控制部52驅動環形照明22，將環形照明22的光量設定為75%，驅動同軸照明23，將同軸照明23的光量設定為100 %。即，照明控制部52將光量設定值S50設定為[75%，100%]。控制部50維持該照明狀態，通過位置調節部51驅動工作臺驅動部42。控制部50通過工作臺驅動部42使裝置主體20沿X軸方向移動，通過拍攝部24獲取拍攝數據S24(步驟ST206)。
[0077]照明控制部52驅動環形照明22，將環形照明22的光量設定為100%，驅動同軸照明23，將同軸照明23的光量設定為100%。即，照明控制部52將光量設定值S50設定為[100%，100%]。并且，控制部50維持該照明狀態，通過位置調節部51驅動工作臺驅動部42。控制部50通過工作臺驅動部42使裝置主體20沿X軸方向移動，通過拍攝部24獲取拍攝數據S24(步驟ST207)。
[0078]如此一來，在步驟ST203至步驟ST207中，在樣品被檢查物的孔的內部配置有反射部212的狀態下，使環形照明22的光量階梯式變化，并將在棒狀透鏡21的基端側獲取的反射部212的徑向外側的影像作為拍攝數據S24獲取。
[0079]然后，缺陷檢測部53對在步驟ST203至步驟ST207中獲取的各拍攝數據S24進行解析，計算出根據各拍攝數據S24檢測出的缺陷位置的缺陷位置數據S53(步驟ST208)。缺陷檢測部53將與各拍攝數據S24對應的光量設定值S50和缺陷位置數據S53輸出至缺陷存儲部54。由此，缺陷存儲部54存儲將與各拍攝數據S24對應的光量設定值S50和缺陷位置數據S53配對的檢測數據S54。
[0080]光量設定值確定部56對存儲于缺陷檢測部53的檢測數據S54和存儲于樣本存儲部55的抽樣數據S55進行比較，確定恰當的光量設定值S50(步驟ST209)。具體的說，光量設定值確定部56例如將與和抽樣數據S55最一致的缺陷位置數據S53為一組的光量設定值S50確定為恰當的光量設定值S50。另外，光量設定值確定部56也可以將與各缺陷位置數據S53的一致率作為基準，基于一系列的計算計算出光量設定值S50。
[0081 ]光量設定值確定部56所確定的光量設定值S50被存儲于設定值存儲部57。然后，將樣品被檢查物從內表面檢查裝置I卸下(步驟ST210)。
[0082]〈2.變形例〉
[0083]以上對本實用新型的例示性的實施方式進行了說明，但是本實用新型不限于上述實施方式。
[0084]在上述實施方式中，對棒狀透鏡的反射部實施鏡面加工。然而，只要反射部能夠以一定值以上的反射率(例如60%)將從徑向外側射入的光進行反射，也可以不對反射部進行鏡面加工。
[0085]在上述實施方式中，基于在將同軸照明的光量設定為恒定值，使環形照明的光量變化的情況下拍攝的影像確定光量設定值。然而，也可基于在將環形照明的光量設定為恒定值，使同軸照明的光量變化的情況下拍攝的影像確定光量設定值。也可以基于在使環形照明的光量以及同軸照明的光量雙方變化的情況下拍攝的影像確定光量設定值。
[0086]在上述實施方式中，在樣品被檢查物的孔的內部配置有反射部的狀態下，基于拍攝的影像確定光量設定值。然而，也可以在為進行檢查的對象的被檢查物的孔的內部配置有反射部的狀態下，根據在使環形照明以及同軸照明的至少一個的光量變化的情況下拍攝的影像確定光量設定值。
[0087]在上述實施方式中，基于拍攝的影像，控制部的光量設定值確定部確定光量設定值。然而，也可基于拍攝的影像，由操作者確定光量設定值。此時，操作者只要一邊確認顯示于監視器的拍攝數據，一邊操作輸入部，將光量設定值輸入控制部內的設定值存儲部即可。
[0088]除此之外，內表面檢查裝置的細節部分的形狀也可與各圖不同。并且，上述實施方式和變形例中出現的各要素在不發生矛盾的范圍內可以適當組合。
[0089]本實用新型例如能夠用于內表面檢查裝置。
【主權項】
1.一種內表面檢查裝置，其具有從基端朝向末端沿軸向延伸的棒狀透鏡，所述內表面檢查裝置至少將所述末端配置于被檢查物的孔的內部，檢查構成所述孔的所述被檢查物的內表面的狀態，其特征在于， 所述內表面檢查裝置具有: 柱狀的所述棒狀透鏡，其在所述末端側具有反射部，并沿軸向延伸； 環形照明，其配置于所述棒狀透鏡的所述基端側，且將與軸向具有規定的角度的環狀的光射入所述棒狀透鏡； 同軸照明，其配置于所述棒狀透鏡的所述基端側，將與軸向大致平行的光射入所述棒狀透鏡； 拍攝部，其配置于所述棒狀透鏡的所述基端側，并拍攝來自所述反射部的光；以及 照明控制部，其控制所述環形照明以及所述同軸照明， 所述反射部將從徑向外側射入的光向所述基端側反射， 所述照明控制部能夠根據相對于所述環形照明以及所述同軸照明的最大光量的比例即光量設定值，控制所述環形照明以及所述同軸照明的開閉，多級調節所述環形照明以及所述同軸照明中的至少一個的光量。2.根據權利要求1所述的內表面檢查裝置，其特征在于， 所述內表面檢查裝置還具有: 監視器，其顯示所述拍攝部所拍攝的影像；以及 輸入部，其輸入有所述光量設定值。3.根據權利要求1所述的內表面檢查裝置，其特征在于， 所述內表面檢查裝置還具有缺陷檢測部，所述缺陷檢測部從所述拍攝部輸入拍攝的拍攝數據，對所述拍攝部所拍攝的影像即拍攝數據進行解析，檢測所述被檢查物的所述內表面中的缺陷位置。4.根據權利要求1所述的內表面檢查裝置，其特征在于， 所述拍攝部是CCD照相機。5.根據權利要求1所述的內表面檢查裝置，其特征在于， 所述棒狀透鏡具有從所述末端側端面朝向所述基端側凹陷的凹部， 所述凹部的內表面形成為內徑隨著從所述基端側朝向所述末端側而擴展的圓錐形狀。6.根據權利要求1所述的內表面檢查裝置，其特征在于， 所述同軸照明具有半透半反鏡和光源， 所述半透半反鏡配置于與所述棒狀透鏡在軸向上重疊的位置， 所述光源從所述半透半反鏡的徑向外側向所述半透半反鏡照射光。7.根據權利要求1所述的內表面檢查裝置，其特征在于， 所述內表面檢查裝置還具有: 裝置主體，其具有所述棒狀透鏡、所述環形照明、所述同軸照明以及所述拍攝部；以及 工作臺，其具有載置臺以及工作臺驅動部， 在所述載置臺載置有所述裝置主體， 所述工作臺驅動部是在內部具有馬達的所述載置臺的移動機構，所述工作臺驅動部使所述載置臺移動。
【文檔編號】G01N21/90GK205449824SQ201620147597
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年2月26日
【發明人】野村昭, 吉川幸男
【申請人】日本電產東測有限公司