放射線圖像取得裝置制造方法
【專利摘要】一種放射線圖像取得裝置，具備：出射放射線的放射線源；對應于從放射線源出射并透過了對象物的放射線的入射而產生閃爍光的平板狀的波長變換構件；對從波長變換構件的放射線的入射面沿著相對于入射面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像的第1攝像機構；以及對從與波長變換構件的入射面相反側的面沿著相對于相反側的面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像的第2攝像機構。
【專利說明】放射線圖像取得裝置
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種放射線圖像取得裝置。
【背景技術】
[0002]歷來，已知的有如下述專利文獻I所記載的那樣，將從X射線源產生而透過了攝像對象物的X射線照射到平板狀的閃爍器，由層疊在閃爍器兩面的固體光檢測器檢測在閃爍器發光的可見光(閃爍光)，使從各固體光檢測器輸出的圖像信號重疊而取得放射線圖像的裝置。在該裝置中，使光檢測元件耦合于閃爍器的X射線的入射面及其背面，在入射面側的光檢測元件與背面側的光檢測元件的各個中檢測可見光，由此提高可見光的檢測效率。
[0003]現有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開平7-27866號公報實用新型內容
[0006]實用新型所要解決的問題
[0007]如上述那樣在閃爍器的兩面檢測閃爍光的裝置中，能夠在入射面側及其背面側取得不同能量帶的放射線圖像，并使所謂的雙能(dual-energy)的圖像取得變得可能。
[0008]然而，上述現有的裝置中，透過了對象物的放射線透過入射面側的光檢測元件而到達閃爍器，因而比較低能量帶的放射線被入射面側的光檢測元件吸收。例如，在對象物由輕原子形成的情況下，透過了對象物的放射線有時會被入射面側的光檢測元件吸收。如此，存在透過了對象物的放射線會受到入射面側的光檢測元件的影響這樣的問題。
[0009]因此，本實用新型的目的在于，提供一種放射線圖像取得裝置，其能夠取得不同能量帶的放射線圖像，而且能夠減小對透過了對象物的放射線產生的影響。
[0010]解決技術問題的手段
[0011]本實用新型的一個方式所涉及的放射線圖像取得裝置，其特征在于，具備:出射放射線的放射線源；對應于從放射線源出射并透過了對象物的放射線的入射而產生閃爍光的平板狀的波長變換構件；對從波長變換構件的放射線的入射面沿著相對于入射面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像的第I攝像機構；以及對從波長變換構件的入射面的相反側的面沿著相對于相反側的面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像的第2攝像機構。
[0012]根據本實用新型的一個方式所涉及的放射線圖像取得裝置，從波長變換構件的放射線的入射面及其相反側的面出射的閃爍光分別由第I攝像機構和第2攝像機構聚光并攝像。由此，實現取得不同能量帶的放射線圖像的雙能攝像。這里，第I攝像機構由于對從入射面出射的閃爍光進行聚光，因此配置在與波長變換構件相離的位置。因此，能夠做成攝像機構不介于對象物與波長變換構件之間的結構，能夠避免攝像機構對透過了對象物的放射線產生影響那樣的情形。因此，能夠減小對透過了對象物的放射線產生的影響。此外，由第I攝像機構聚光的閃爍光沿著相對于入射面的法線方向傾向的方向出射，由第2攝像機構聚光的閃爍光沿著相對于相反側的面的法線方向傾斜的方向出射，因而由任意一種攝像機構攝像的放射線圖像均產生同樣的透視傾斜(perspective)。因此，入射面側和相反側的面側的圖像間的校正等的運算會變得容易。
[0013]另外，可選地，第I攝像機構和第2攝像機構各自具有:對從波長變換構件出射的閃爍光進行聚光的聚光透鏡部、以及對被聚光的閃爍光進行攝像的攝像部。在這種情況下，以焦點對準于波長變換構件的入射面和相反側的面的各面的方式進行聚光，由此能夠取得能量區別性良好且明亮的放射線圖像。[0014]這里，可選地，第I攝像機構和第2攝像機構配置成相對于波長變換構件而面對稱。在這種情況下，在由第I攝像機構攝像的放射線圖像、由第2攝像機構攝像的放射線圖像中，會產生等量的透視傾斜。因此，在入射面側和相反側的面側的圖像間的運算中，不需要使圖像反轉來進行校正這樣的運算，使運算更進一步地變得容易。
[0015]另外，可選地，由第I攝像機構聚光的閃爍光相對于入射面的法線方向的傾斜角度與由第2攝像機構聚光的閃爍光相對于相反側的面的法線方向的傾斜角度彼此不同，還具備對由第I攝像機構攝像的圖像和由第2攝像機構攝像的圖像中的至少一者進行校正的校正機構。在這種情況下，由第I攝像機構攝像的圖像與由第2攝像機構攝像的圖像會產生彼此不同的透視傾斜。這里，通過校正機構對至少一個圖像的透視傾斜進行校正而使兩圖像的透視傾斜情況相一致，由此實現高精度的雙能攝像。
[0016]另外，可選地，對象物是半導體器件，上述放射線圖像取得裝置適用于以該半導體器件作為檢查對象的半導體故障檢查裝置。在這種情況下，透過了成為檢查對象的半導體器件的放射線不被攝像部(圖像取得用的攝像元件)截斷，因而，能夠精度高地檢測半導體器件的故障等。
[0017]實用新型的效果
[0018]根據本實用新型的一個方式，能夠取得不同能量帶的放射線圖像，且能夠減小對透過了對象物的放射線產生的影響。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是本實用新型的第I實施方式所涉及的放射線圖像取得裝置的正面圖。
[0020]圖2 (a)~(C)是圖1的放射線圖像取得裝置中的投影像的說明圖。
[0021]圖3 (a)~(d)是圖1的放射線圖像取得裝置中的圖像的透視傾斜的說明圖。
[0022]圖4是本實用新型的第2實施方式所涉及的放射線圖像取得裝置的正面圖。
[0023]圖5 (a)~(C)是圖4的放射線圖像取得裝置中的投影像的透視傾斜的說明圖。
[0024]圖6是本實用新型的第3實施方式所涉及的放射線圖像取得裝置的正面圖。
[0025]圖7 (a)~(d)是作為本實用新型的變形例的放射線圖像取得裝置中的圖像的透視傾斜的說明圖。
[0026]符號說明:
[0027]I, 1A, IB…放射線圖像取得裝置，2…放射線源，3…表面觀察用檢測器(第I攝像機構)，3a…聚光透鏡部,3b...攝像部,4…背面觀察用光檢測器(第2攝像機構),4a…聚光透鏡部，4b...攝像部，6…波長變換板(波長變換構件)，6a…入射面，6b...背面(相反側的面)，8…圖像處理裝置(校正手段)，A…對象物，B…入射線的法線，0..背面的法線。
【具體實施方式】
[0028]以下，一邊參照附圖一邊說明本實用新型的實施方式。再有，附圖的說明中對相同或相當部分賦予相同符號，省略重復的說明。另外，各圖是為了說明用而作成的，以特別強調說明的對象部位的方式描述。因此，附圖中的各構件的尺寸比率不必與實際的情況一致。
[0029]如圖1所示，放射線圖像取得裝置I是用于取得半導體器件等的電子部件或食品等的對象物A的放射線圖像的裝置。放射線圖像取得裝置I具備:朝向對象物A出射白色X射線等的放射線的放射線源2、對應于從放射線源2出射并透過了對象物A的放射線的入射而產生閃爍光的波長變換板6、對從波長變換板6的放射線的入射面6a出射的閃爍光進行聚光并攝像的表面觀察用光檢測器3、以及對從入射面6a相反側的面即背面6b出射的閃爍光進行聚光并攝像的背面觀察用光檢測器4。這些放射線源2、波長變換板6、表面觀察用光檢測器3、以及背面觀察用光檢測器4被未圖示的筐體收納，并被固定在筐體內。
[0030]波長變換板6是平板狀的波長變換構件，例如是Gd202S:Tb、Gd2O2SiPr, Cs1:T1、CdWO4、CaWO4、Gd2SiO5: Ce、Lu0 4Gd16SiO5' Bi4Ge3O12' Lu2SiO5: Ce、Y2SiO5' YAl 3:Ce、Y2O2S: Tb、YTa04:Tm等的閃爍器。波長變換板6的厚度根據在數μ m~數mm的范圍所檢測的放射線的能量帶而設定為適當的值。
[0031]表面觀察用光檢測器3 (以下，稱為“表面檢測器3”)是從波長變換板6的入射面6a側對投影到波長變換板6的對象物A的投影像(放射線透過像)進行攝像的間接方式的攝像機構。表面檢測器3是具有對從波長變換板6的入射面6a出射的閃爍光進行聚光的聚光透鏡部3a、以及對被聚光透鏡部3a聚光的閃爍光進行攝像的攝像部3b的透鏡耦合型的檢測器。聚光透鏡部3a對表面檢測器視野13的閃爍光進行聚光。作為攝像部3b，可以使用例如CMOS傳感器、CCD傳感器等。
[0032]背面觀察用光檢測器4 (以下，稱為“背面檢測器4”)是從波長變換板6的背面6b側對投影到波長變換板6的對象物A的投影像(放射線透過像)進行攝像的間接變換方式的攝像機構。背面檢測器4是具有對從波長變換板6的背面6b出射的閃爍光進行聚光的聚光透鏡部4a、以及對被聚光透鏡部4a聚光的閃爍光進行攝像的攝像部4b的透鏡耦合型的檢測器，具有與上述的表面檢測器3同樣的結構。聚光透鏡部4a對背面檢測器視野14的閃爍光進行聚光。作為攝像部4b，可以使用例如CMOS傳感器、CCD傳感器等。
[0033]此外，放射線圖像取得裝置I具備:控制表面檢測器3和背面檢測器4的攝像時序的時序控制部7、輸入從表面檢測器3和背面檢測器4輸出的圖像信號并基于所輸入的各圖像信號來執行圖像處理等的規定處理的圖像處理裝置8、以及輸入從圖像處理裝置8輸出的圖像信號并顯示放射線圖像的顯示裝置9。時序控制部7和圖像處理裝置8由具有CPU(Central Processing Unit)、R0M (Read Only Memory)>RAM (Random Access Memory)和輸入輸出接口等的計算機所構成。作為顯示裝置9，可以使用公知的顯示器。再有，時序控制部7和圖像處理裝置8可以構成為由單個計算機執行的程序，也可以構成為分別設置的單元。
[0034]接著，就上述的放射線源2、波長變換板6、表面檢測器3、以及背面檢測器4的位置關系進行說明。如圖1所示，放射線源2以放射線的光軸X與波長變換板6的入射面6a的法線B相一致的方式配置。即，放射線源2與對象物A和入射面6a相對，并且配置在入射面6a的法線B上。這里，放射線的光軸X是指，連結放射線源2的放射線出射點與波長變換板6的入射面6a上的任意的點Y的直線。在本實施方式中，以任意的點Y成為入射面6a的中心點的方式設定，在這種情況下，會比較均勻地照射放射線。另外，法線B是指，從入射面6a上的任意的點α延伸的相對于入射面6a垂直的直線。在本實施方式中，以任意的點α成為入射面6a的中心點的方式設定，放射線的光軸X與法線B相一致。當然，任意的點Y和任意的點α不必要是入射面6a的中心點。
[0035]表面檢測器3以可以對從波長變換板6的入射面6a出射的閃爍光進行攝像的方式且以內含的聚光透鏡部3a的光軸F相對于入射面6a的法線B成規定角度Θ:的方式配置。即，表面檢測器3與入射面6a相對，并且配置在與入射面6a的法線B偏離的位置上。該聚光透鏡部3a將焦點對準于入射面6a，并將從入射面6a沿著相對于法線B成角度Θ:的方向(傾斜的方向)出射的閃爍光朝向攝像部3b聚光。作為這樣的聚光透鏡部3a,可以使用移位透鏡(shift lens)或傾斜透鏡(tilt lens)。
[0036]通過上述那樣做，表面檢測器3與放射線源2的光軸X偏離而配置。即，表面檢測器3以與來自放射線源2的放射線的出射區域(放射線束12存在的區域)相離的方式配置。由此，防止來自放射線源2的放射線所引起的表面檢測器3的被曝光，并防止在表面檢測器3的內部生成放射線的直接變換信號而產生噪聲。
[0037]背面檢測器4以可以對從波長變換板6的背面6b出射的閃爍光進行攝像的方式且以內含的聚光透鏡部4a的光軸G相對于背面6b的法線C成規定角度Θ 2的方式配置。即，背面檢測器4與背面6b相對，并且配置在與背面6b的法線C偏離的位置。這里，法線C是指，從背面6b上的任意的點β延伸且相對于背面6b垂直的直線。特別地，在本實施方式中，任意的點β設定在背面6b的中心點，入射面6a上的任意的點α與背面6b上的任意的點β位于同一直線上，該直線與法線B和法線C相一致。聚光透鏡部4a將焦點對準于背面6b，并將從背面6b沿著相對于法線C成角度Θ 2的方向(傾斜的方向)出射的閃爍光朝向攝像部4b聚光。
[0038]這里，在放射線圖像取得裝置1，角度Q1與角度θ2彼此相等。另外，放射線源2的光軸X、表面檢測器3的光軸F、以及背面檢測器4的光軸G位于同一平面上，表面檢測器3的光軸F與背面檢測器4的光軸G以法線B，C為基準而位于相同側。另外，從波長變換板6的入射面6a到表面檢測器3為止的光路長與從波長變換板6的背面6b到背面檢測器4為止的光路長可以做成相等。另外，表面檢測器3和背面檢測器4可以配置成相對于波長變換板6而面對稱。
[0039]接著，就具有上述的結構的放射線圖像取得裝置I的動作進行說明。首先，進行利用時序控制部7的控制，以便同時進行表面檢測器3和背面檢測器4所得到的攝像。通過時序控制部7的攝像時序控制，可以在不同的能量帶將對象物A的放射線透過像圖像化。詳細而言，比較低的能量帶的放射線透過像被表面檢測器3圖像化，另外，比較高能量帶的放射線透過像被背面檢測器4圖像化。由此，實現雙能攝像。再有，在放射線圖像取得裝置I中，可以將表面檢測器3與背面檢測器4的攝像時序以各自不同的方式進行控制。另外，也可以以表面檢測器3與背面檢測器4的各自的曝光時間或攝影次數不同的方式控制。
[0040]關于表面檢測器3和背面檢測器4的功能，換言之，在入射面6a側變換的熒光(閃爍光)比較地被表面檢測器3檢測。在入射面6a側變換的熒光的檢測具有熒光的模糊(blur)少而且熒光的輝度高這樣的特點。這是因為，在表面觀察中，能夠減小在波長變換板6的內部的擴散或自身吸收的影響。另一方面，通過背面檢測器4比較地檢測在波長變換板6的背面6b側變換的熒光。即使在這種情況下，也能夠減小波長變換板6的內部的擴散或自身吸收的影響。
[0041]接下來，通過表面檢測器3和背面檢測器4的各個，與表背兩面的放射線圖像相對應的圖像信號被輸出到圖像處理裝置8。當從表面檢測器3和背面檢測器4的各個輸出的圖像信號被輸入到圖像處理裝置8時，通過圖像處理裝置8，基于所輸入的圖像信號來執行差分運算或加法運算這樣的圖像間運算等的規定處理，圖像處理后的圖像信號被輸出到顯示裝置9。然后，當從圖像處理裝置8輸出的圖像處理后的圖像信號被輸入到顯示裝置9時，對應于所輸入的圖像處理后的圖像信號的放射線圖像被顯示裝置9顯示。
[0042]圖2 (a)是表示放射線圖像取得裝置I的放射線源2、對象物A、以及波長變換板6的位置關系的立體圖，圖2 (b)是表示放射線源2、對象物A、以及波長變換板6的位置關系的正面圖，圖2 (c)是表示投影到波長變換板6的對象物A的投影像D的平面圖。在圖2中，為了容易理解，表示了對象物A是立方體形狀的情況。若如圖2 (a)所示，放射線源2配置在入射面6a的法線B上，放射線的光軸X與入射面6a的法線B相一致，則如圖2 (c)所示，在往入射面6a上的投影像D不會產生透視傾斜。
[0043]圖3 (a)是表示放射線圖像取得裝置I中投影到入射面6a的投影像D的平面圖，圖3 (b)是表示表面檢測器3、背面檢測器4、以及波長變換板6的位置關系的立體圖，圖3(c)是表示由表面檢測器3取得并輸入到圖像處理裝置8的表面側圖像Pa的圖，圖3 (d)是表示由背面檢測器4取得并輸入到圖像處理裝置8的背面側圖像Pb的圖。
[0044]這里，就投影像D的一部分成為特征部d (在圖3的例子中，與對象物A的側面相對應的被著色的部分)的情況進行說明。如圖3 (b)所示，若表面檢測器3的光軸G和背面檢測器4的光軸F相對于法線B，C成相等的角度Q1, θ2，則如圖3 (c)，(d)所示，在表面偵_像Pa，Pb會產生同樣的透視傾斜。即，表面側圖像Pa所包含的表面側波長變換板圖像20a、表面側對象物圖像Ha、以及表面側特征部圖像ha，與背面側圖像Pb所包含的背面側波長變換板圖像20b、背面側對象物圖像Hb、以及背面側特征部圖像hb有大致相等的位置、大小和形狀。另外，在表面側圖像Pa和背面側圖像Pb中，特征部d產生與其他部分相比要縮小的那樣的透視傾斜，與對象物A相關，透視傾斜的產生的方向也相一致。再者，這些成為彼此被反轉后的圖像。
[0045]在這種情況下，在利用圖像處理裝置8的圖像間運算中，不進行表面側圖像Pa和背面側圖像Pb的透視傾斜校正地使表背兩面的圖像Pa，Pb匹配。再有，在利用圖像處理裝置8的圖像間運算中，對表面側圖像Pa和背面側圖像Pb的兩者的透視傾斜進行校正，也能夠得到無透視傾斜的表面側圖像和背面側圖像。在這種情況下，透視傾斜的校正量在表面側圖像Pa和背面側圖像Pb相等。
[0046]根據以上說明的本實施方式的放射線圖像取得裝置1，從波長變換板6的入射面6a與背面6b出射的閃爍光分別被表面檢測器3和背面檢測器4聚光并攝像，實現取得不同能量帶的放射線圖像的雙能攝像。這里，表面檢測器3配置在與波長變換板6相離的位置，對象物A與波長變換板6之間完全不存在檢測器。因此，避免了攝像機構對透過了對象物A的放射線產生影響那樣的情形。因此，減小了對透過了對象物A的放射線產生的影響，很好地檢測低能量帶的放射線。換言之，由于檢測器的影像不會映入到放射線透過像，因此，抑制了噪聲成分的產生，并且由于也不會產生檢測器所引起的放射線的衰減，因此抑制了信號成分的減少。作為該結果，能夠增大雙能攝像中的低能量帶與高能量帶之差，發揮高精度的能量分辨率，能夠謀求高對比化。這個益處在對象物A由硅或比硅更輕的原子形成的情況下，發揮得特別顯著。即，即使在對象物A由輕原子形成的情況下，由于透過了對象物A的低能量帶的放射線不被吸收或衰減地變換成閃爍光，該光被表面檢測器3攝像，因此，能夠精度高地取得低能量帶的放射線圖像。再者，通過一次攝像便能夠同時取得低能量圖像和高能量圖像，從而謀求同時性的確保、被曝光量的減少、以及像素錯位(位置不正(misregistration))的消除。另外，即使在I塊波長變換板6也能夠實現雙能化。而且,被表面檢測器3聚光的閃爍光沿著相對于入射面6a的法線B方向成角度Θ I的方向出射，被背面檢測器4聚光的閃爍光沿著相對于背面6b的法線C方向成角度Θ 2的方向出射，因而在放射線圖像Pa，Pb產生同樣的透視傾斜，由此入射面6a側和背面6b側的圖像間的運算變得容易。此外，與將表面檢測器3或背面檢測器4配置在法線B，C上的情況相比，能夠謀求裝置全體的緊湊化。
[0047]另外，即使在使用白色X射線作為放射線的情況下，通過白色X射線的一次攝像便能夠同時取得低能量圖像和高能量圖像，從而謀求同時性的確保、被曝光量的減少、以及像素錯位(位置不正)的消除。
[0048]另外，以焦點對準于波長變換板6的入射面6a和背面6b的各面的方式，被聚光透鏡部3a和聚光透鏡部4a聚光，由此能夠取得能量區別性良好且明亮的放射線圖像。
[0049]另外，表面檢測器3與背面檢測器4配置成相對于波長變換板6而面對稱，因而在表面側圖像Pa與背面側圖像Pb產生等量的透視傾斜，而且與對象物A相關，透視傾斜的產生方向也相一致。因此，在表面側圖像Pa和背面側圖像Pb的圖像間的運算中，不需要讓圖像反轉來進行校正這樣的運算，使運算更進一步變得容易。
[0050]圖4是第2實施方式所涉及的放射線圖像取得裝置的正面圖。圖4所示的放射線圖像取得裝置IA與圖1所示的第I實施方式的放射線圖像取得裝置I的不同點在于，放射線源2以放射線的光軸X相對于波長變換板6的入射面6a的法線B成規定的角度Θ的方式配置。更具體而言，放射線源2以放射線的光軸X與聚光透鏡部3a，4a的光軸F，G位于同一平面上的方式且以法線B，C為基準彼此位于相反側的方式配置。再有，這里，任意的點Y和任意的點α不必要是入射面6a的中心點，也不必要是同一點。另外，在圖4中，省略了時序控制部7、圖像處理裝置8、以及顯示裝置9的圖示。在圖6中，同樣地也省略了這些結構的圖示。
[0051]在放射線圖像取得裝置IA中，表面檢測器3也以來自于放射線源2的放射線的出射區域(放射線束12存在的區域)相離的方式配置。由此，防止來自放射線源2的放射線所引起的表面檢測器3的被曝光，并防止在表面檢測器3的內部生成放射線的直接變換信號而產生噪聲。
[0052]圖5 (a)是表示放射線圖像取得裝置IB的放射線源2、對象物A、以及波長變換板6的位置關系的立體圖，圖5 (b)是表示放射線源2、對象物A、以及波長變換板6的位置關系的正面圖，圖5 (c)是表示投影到波長變換板6的對象物A的投影像E的平面圖。在圖5中，為了容易理解，表示了對象物A是立方體形狀的情況。若如圖5 (a)所示，放射線源2配置在與入射面6a的法線B偏離的位置，放射線的光軸X相對于入射面6a的法線B成規定的角度Θ，則如圖5 (c)所示，在向入射面6a上的投影像E會產生透視傾斜。該投影像E的透視傾斜由圖像處理裝置8根據需要進行校正。再有，在圖5 (a)中，為了便于說明，以放射線源2的主體相對于光軸X平行的方式圖示，但放射線源2被配置的方向可以根據裝置的布局設計(layout)來適當地設定。
[0053]根據放射線圖像取得裝置1A，起到與放射線圖像取得裝置I同樣的作用和效果。
[0054]圖6是第3實施方式所涉及的放射線圖像取得裝置的正面圖。圖6所示的放射線圖像取得裝置IB與圖4所示的第2實施方式的放射線圖像取得裝置IA的不同點在于，背面檢測器4不配置成相對于波長變換板6而與表面檢測器3面對稱，而是光軸F與光軸G以法線B，C為基準彼此位于相反側。即，背面檢測器4按照聚光透鏡部4a的光軸G與放射線源2的光軸X以法線B，C為基準而位于相同側的方式配置。
[0055]在放射線圖像取得裝置IB中，在由表面檢測器3取得的表面側圖像與由背面檢測器4取得的背面側圖像產生各自不同的透視傾斜。因此，在利用圖像處理裝置8的圖像間運算中，進行表面側圖像和背面側圖像的透視傾斜校正。
[0056]根據放射線圖像取得裝置1B，與放射線圖像取得裝置1，IA同樣地，減小了對透過了對象物A的放射線產生的影響，很好地檢測低能量帶的放射線。
[0057]以上，就本實用新型的實施方式進行了說明，但本實用新型不限于上述實施方式。例如，在上述實施方式中，說明了角度Q1與角度θ2相等的情況，但如圖7 (b)所示，角度Q1與角度θ2也可以彼此不同。在這種情況下，如圖7 (c)、(d)所示，表面側圖像Pa與背面側圖像Pb中透視傾斜的量不同，但圖像處理裝置8作為校正機構起作用，對表面側圖像Pa和背面側圖像Pb中的至少一方的透視傾斜進行校正而使兩圖像的透視傾斜量相一致，由此實現高精度的雙能攝像。例如，如圖7所示，由傾斜角度更大的表面檢測器3所攝像的表面側圖像Pa與背面側圖像Pb相比透視傾斜量變得更大，但在這種情況下，能夠對表面側圖像Pa進行校正而得到與背面側圖像Pa相一致的表面側圖像。再有，對表面側圖像Pa和背面側圖像Pb的兩者的透視傾斜進行校正，也能夠得到無透視傾斜的表面側圖像和背面偵_像。
[0058]另外，放射線源2、表面檢測器3、以及背面檢測器4不限于光軸X、光軸F、以及光軸G同一平面狀地配置的情況，能夠在法線B，C的軸線周圍適當地進行3維配置。
[0059]另外，在上述實施方式中，使用透鏡耦合型的檢測器作為檢測器，但也可以具備聚光透鏡部和攝像部分別作為不同體。
[0060]另外，作為以對象物A為半導體器件且以該半導體器件為檢查對象的半導體故障檢查裝置，適用上述實施方式的放射線圖像取得裝置的話是有效的。在這種情況下，由于透過成為檢查對象的半導體器件的放射線不被攝像部(圖像取得用的攝像元件)截斷，因此能夠精度高地檢測半導體器件的故障等。
[0061]產業上的可利用性
[0062]根據本實用新型的一個方式，能夠取得不同的能量帶的放射線圖像，且能夠減小對透過了對象物的放射線產生的影響。
【權利要求】
1.一種放射線圖像取得裝置，其特征在于，
具備: 放射線源，出射放射線； 平板狀的波長變換構件，對應于從所述放射線源出射并透過了對象物的所述放射線的入射而產生閃爍光； 第I攝像機構，對從所述波長變換構件的所述放射線的入射面沿著相對于所述入射面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像；以及 第2攝像機構，對從所述波長變換構件的所述入射面的相反側的面沿著相對于所述相反側的面的法線方向傾斜的方向出射的閃爍光進行聚光并攝像。
2.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述第I攝像機構和所述第2攝像機構各自具有: 聚光透鏡部，對從所述波長變換構件出射的所述閃爍光進行聚光；以及 攝像部，對被聚光的所述閃爍光進行攝像。
3.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述第I攝像機構的聚光透鏡部使焦點對準于所述入射面，并對從所述入射面沿著相對于所述入射面的法線傾斜的方向出射的閃爍光朝向攝像部進行聚光。
4.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述第2攝像機構的聚光透鏡部使焦點對準于所述相反側的面，并對從所述相反側的面沿著相對于所述相反側的面的法線傾斜的方向出射的閃爍光朝向攝像部進行聚光。
5.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 由所述第I攝像機構聚光的閃爍光相對于所述入射面的法線方向的傾斜角度，與由所述第2攝像機構聚光的閃爍光相對于所述相反側的面的法線方向的傾斜角度，彼此相坐寸ο
6.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述第I攝像機構和所述第2攝像機構配置成，相對于所述波長變換構件而面對稱。
7.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述第I攝像機構的聚光透鏡部的光軸和所述第2攝像機構的聚光透鏡部的光軸，以所述入射面的法線和所述相反側的面的法線為基準，彼此位于相反側。
8.如權利要求1所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 由所述第I攝像機構聚光的閃爍光相對于所述入射面的法線方向的傾斜角度與由所述第2攝像機構聚光的閃爍光相對于所述相反側的面的法線方向的傾斜角度彼此不同，還具備對由所述第I攝像機構攝像的圖像和由所述第2攝像機構攝像的圖像中的至少一者進行校正的校正機構。
9.如權利要求1~8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述放射線源配置在所述入射面的法線上。
10.如權利要求1~8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述放射線源以放射線的光軸相對于所述入射面的法線成規定角度的方式配置。
11.如權利要求1~8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 從所述入射面到所述第I攝像機構為止的光路長與從所述相反側的面到所述第2攝像機構為止的光路長相等。
12.如權利要求1~8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述第I攝像機構和所述第2攝像機構以同時進行攝像的方式構成。
13.如權利要求1~8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述對象物為半導體器件， 適用于以該半導體器 件作為檢查對象的半導體故障檢查裝置。
14.如權利要求1~8中的任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于， 所述對象物是電子部件。
【文檔編號】G01N23/04GK203396722SQ201190001002
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2011年10月21日 優先權日:2011年1月25日
【發明者】杉山元胤, 須山敏康 申請人:浜松光子學株式會社