多晶硅脫膠裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體器件制造技術領域，具體涉及一種多晶硅脫膠裝置。
【背景技術】
[0002]硅片是半導體器件的基礎材料，通過在該基礎材料上進行若干工序就能形成具有各種功能的半導體器件，因此在太陽能光伏行業的應用特別廣泛。
[0003]現有的硅片都是由硅棒切割而成，其切割過程為:將硅棒用AB膠粘在玻璃板上，玻璃板和切割蓋板之間通過采用膠層粘接，然后，采用專用的切割設備將粘在玻璃板上的硅棒切割成厚度為180微米左右的硅片。經過上述工序后切割而成的硅片要進行預清洗和后續清洗。目前國內普遍采用的預清洗脫膠工藝的步驟為:先對切割后的硅片進行沖洗，然后用熱水或有機酸分離AB膠，使硅片與玻璃板分離。至此，玻璃板和切割蓋板還沒有分離，而如果要對玻璃板和切割蓋板進行分離，必須在后續清洗中通過增設專用設備對其進行處理。
[0004]并且，由于玻璃板和切割蓋板之間是通過膠層粘結，而在高溫碳化膠層使膠層失效的過程中，容易造成切割蓋板變形，且膠層在碳化過程會生成有毒有害氣體。因此，目前可以采用水煮膠以替代需進行高溫加熱碳化的膠層進行玻璃板和切割蓋板之間的粘接。
[0005]在現有的工藝雖然能夠對玻璃板和切割蓋板進行脫膠分離，但往往是先在預清洗設備中進行硅片脫膠，將硅片分離出來，然后再采用其他設備將玻璃板與切割蓋板分離，上述工藝過程中涉及多個重復搬運的工序，降低了設備資源和空間的利用率，增加生產成本。
【實用新型內容】
[0006]針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種多晶硅脫膠裝置，能夠對多晶硅進tx尚效脫脂。
[0007]為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現:
[0008]—種多晶硅脫膠裝置，包括依次連接的除塵裝置、浸洗裝置、預熱裝置、脫膠裝置、清洗裝置和烘干裝置。
[0009]進一步的，所述脫膠脫膠裝置和清洗裝置之間還設有洗刷裝置。
[0010]進一步的，所述除塵裝置包括吸塵器。
[0011]進一步的，所述預熱裝置包括預熱槽、電加熱管、溫控探頭以及控制器，所述溫控探頭插入所述預熱槽內的清洗液中，所述控制器分別與所述溫控探頭和電加熱管連接。
[0012]進一步的，所述脫膠裝置為水煮脫膠裝置，所述水煮脫膠裝置包括脫膠槽和加熱
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[0013]進一步的，所述清洗裝置包括清水槽，以及在所述清水槽內還設有轉動葉輪。
[0014]進一步的，所述烘干裝置包括電吹風。
[0015]進一步的，所述浸洗裝置、預熱裝置和清洗裝置均設有出水口和進水口，所述出水口和進水口分別與污水槽和水箱連接。
[0016]本實用新型提供了一種多晶硅脫膠裝置，通過依次連接設有的除塵裝置、浸洗裝置、預熱裝置、脫膠裝置、清洗裝置和烘干裝置，對多晶硅進行全方位的清洗和脫脂，非常高效，脫脂效果好，能夠大大提尚生廣效率。
【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1為本實用新型結構不意圖。
[0019]其中:1、除塵裝置;2、浸洗裝置;3、預熱裝置;4、脫膠裝置;5、清洗裝置;6、烘干裝置;7、洗刷裝置;8、水箱;9、污水槽。
【具體實施方式】
[0020]為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0021]結合附圖1，本實用新型一種多晶硅脫膠裝置，包括依次連接的除塵裝置1、浸洗裝置2、預熱裝置3、脫膠裝置4、清洗裝置5和烘干裝置6，所述脫膠脫膠裝置和清洗裝置之間還設有洗刷裝置7，使用機械刷等對多晶硅表面進行清理，所述除塵裝置I包括吸塵器，進行除塵，所述預熱裝置3包括預熱槽、電加熱管、溫控探頭以及控制器，所述溫控探頭插入所述預熱槽內的清洗液中，所述控制器分別與所述溫控探頭和電加熱管連接，使得預熱槽中的水溫保持不變，均勻預熱，脫膠裝置4為水煮脫膠裝置，所述水煮脫膠裝置包括脫膠槽和加熱裝置，清洗裝置5包括清水槽，以及在所述清水槽內還設有轉動葉輪，通過啟動轉動葉輪，可以對物料進行清洗，烘干裝置6包括電吹風，對潮濕的物料進行烘干，浸洗裝置2、預熱裝置3和清洗裝置5均設有出水口和進水口，所述出水口和進水口分別與污水槽9和水箱8連接，快捷進彳丁換水，提尚脫脂的質量。
[0022]本實用新型提供了一種多晶硅脫膠裝置，提供了一整套的脫脂裝置，通過依次連接設有的除塵裝置、浸洗裝置、預熱裝置、脫膠裝置、清洗裝置和烘干裝置，對多晶硅進行全方位的清洗和脫脂，非常高效，脫脂效果好，能夠大大提高生產效率。
[0023]需要說明的是，在本文中，術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設備中還存在另外的相同要素。
[0024]以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換;而這些修改或者替換，并不使相應技術方案的本質脫離本實用新型各實施例技術方案的精神和范圍。
【主權項】
1.一種多晶硅脫膠裝置，其特征在于，包括依次連接的除塵裝置、浸洗裝置、預熱裝置、脫膠裝置、清洗裝置和烘干裝置。2.如權利要求1所述的多晶硅脫膠裝置，其特征在于，所述脫膠裝置和清洗裝置之間還設有洗刷裝置。3.如權利要求1所述的多晶硅脫膠裝置，其特征在于，所述除塵裝置包括吸塵器。4.如權利要求3所述的多晶硅脫膠裝置，其特征在于，所述預熱裝置包括預熱槽、電加熱管、溫控探頭以及控制器，所述溫控探頭插入所述預熱槽內的清洗液中，所述控制器分別與所述溫控探頭和電加熱管連接。5.如權利要求4所述的多晶硅脫膠裝置，其特征在于，所述脫膠裝置為水煮脫膠裝置，所述水煮脫膠裝置包括脫膠槽和加熱裝置。6.如權利要求5所述的多晶硅脫膠裝置，其特征在于，所述清洗裝置包括清水槽，以及在所述清水槽內還設有轉動葉輪。7.如權利要求6所述的多晶硅脫膠裝置，其特征在于，所述烘干裝置包括電吹風。8.如權利要求7所述的多晶硅脫膠裝置，其特征在于，所述浸洗裝置、預熱裝置和清洗裝置均設有出水口和進水口，所述出水口和進水口分別與污水槽和水箱連接。
【專利摘要】本實用新型提供一種多晶硅脫膠裝置，涉及半導體器件制造技術領域，包括依次連接的除塵裝置、浸洗裝置、預熱裝置、脫膠裝置、清洗裝置和烘干裝置，提供了一整套的脫脂裝置，可以對多晶硅進行全方位高效脫脂。
【IPC分類】B08B13/00, F26B21/00, B08B3/10, B08B1/00, B08B5/04
【公開號】CN205324218
【申請號】CN201620012030
【發明人】張明河, 張一麥
【申請人】浙江谷高光伏科技有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2016年1月7日