本發明涉(she)及硅(gui)片吹干，更(geng)具體地(di)說，本發明涉(she)及一(yi)種快速吹干花(hua)籃和(he)硅(gui)片的風刀。

背景技術：

1、在(zai)光(guang)伏(fu)行(xing)(xing)業中(zhong)，花籃(lan)是光(guang)伏(fu)電池(chi)片工(gong)藝(yi)段生產(chan)中(zhong)最常見的載(zai)具，用(yong)于承(cheng)載(zai)硅片并完成硅片的轉(zhuan)換(huan)、清洗、烘(hong)干工(gong)藝(yi)。花籃(lan)通過鏈式輸(shu)送設(she)備流轉(zhuan)于各工(gong)藝(yi)設(she)備之(zhi)間，在(zai)到達指定工(gong)位(wei)之(zhi)后，機(ji)器(qi)人根(gen)據指令(ling)抓取花籃(lan)放入設(she)備進行(xing)(xing)加(jia)工(gong)。

2、在(zai)現有技術(shu)中(zhong)，對于花籃和(he)硅片的吹(chui)干(gan)速度(du)較慢(man)，為了提升吹(chui)干(gan)速度(du)，通常會采用(yong)熱風或者烘干(gan)工藝，而(er)熱風在(zai)吹(chui)干(gan)過程(cheng)中(zhong)會對造(zao)成(cheng)硅片的應力大(da)，影響光伏電池片生產質(zhi)量(liang)。

3、因此，有必要(yao)提出一種快(kuai)速吹干(gan)花籃和(he)硅片的風刀，以至少部分(fen)地解決現有技術中存在的問題。

技術實現思路

1、在
技術實現要素：
部分(fen)中(zhong)引入了一系列簡化形(xing)式的(de)概念，這將在具(ju)體實施方式部分(fen)中(zhong)進一步詳(xiang)細說明。本發(fa)(fa)明的(de)發(fa)(fa)明內容部分(fen)并(bing)不意(yi)味著要(yao)(yao)(yao)試(shi)圖限定出(chu)所(suo)(suo)要(yao)(yao)(yao)求保護(hu)的(de)技(ji)術方案的(de)關鍵特(te)征和(he)必要(yao)(yao)(yao)技(ji)術特(te)征，更不意(yi)味著試(shi)圖確定所(suo)(suo)要(yao)(yao)(yao)求保護(hu)的(de)技(ji)術方案的(de)保護(hu)范(fan)圍。

2、為至少部(bu)分地(di)解決上(shang)(shang)述(shu)問題，本發明提供了一種快速吹干(gan)花籃和硅片(pian)的(de)風刀，包(bao)括：風刀主(zhu)體(ti)，設(she)于花籃的(de)一側，花籃內承(cheng)載有多(duo)個硅片(pian)，所述(shu)風刀主(zhu)體(ti)形(xing)成的(de)氣(qi)流(liu)與硅片(pian)平行，且從相鄰的(de)兩個硅片(pian)之間經過(guo)；所述(shu)風刀主(zhu)體(ti)設(she)置(zhi)(zhi)在(zai)承(cheng)載架上(shang)(shang)，所述(shu)風刀主(zhu)體(ti)上(shang)(shang)設(she)有用于檢(jian)測氣(qi)流(liu)方(fang)向的(de)檢(jian)測部(bu)，在(zai)風刀主(zhu)體(ti)形(xing)成的(de)氣(qi)流(liu)方(fang)向出現(xian)偏差(cha)時，通過(guo)控(kong)制(zhi)(zhi)部(bu)控(kong)制(zhi)(zhi)驅動部(bu)調(diao)節風刀主(zhu)體(ti)在(zai)承(cheng)載架上(shang)(shang)的(de)位(wei)置(zhi)(zhi)，以使形(xing)成的(de)氣(qi)流(liu)與硅片(pian)平行。

3、優(you)選的(de)是，所述風刀(dao)主體形成的(de)氣流為扁(bian)平狀，扁(bian)平狀的(de)氣流的(de)厚度小于(yu)或等(deng)于(yu)相鄰(lin)的(de)兩個硅片之(zhi)間的(de)間隙距離，扁(bian)平狀的(de)氣流的(de)寬度大于(yu)或等(deng)于(yu)花籃的(de)寬度。

4、優(you)選的(de)是，所述風刀(dao)主(zhu)體(ti)包括(kuo)：相互連(lian)接(jie)的(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)板體(ti)和(he)第(di)(di)(di)(di)二板體(ti)，所述第(di)(di)(di)(di)一(yi)板體(ti)和(he)第(di)(di)(di)(di)二板體(ti)之間(jian)(jian)(jian)設置有密封(feng)墊；所述第(di)(di)(di)(di)一(yi)板體(ti)內部設有進氣(qi)槽和(he)導氣(qi)槽，所述進氣(qi)槽與(yu)第(di)(di)(di)(di)二板體(ti)的(de)側壁(bi)之間(jian)(jian)(jian)形成與(yu)氣(qi)源連(lian)接(jie)的(de)進氣(qi)腔(qiang)(qiang)，所述導氣(qi)槽與(yu)第(di)(di)(di)(di)二板體(ti)的(de)側壁(bi)之間(jian)(jian)(jian)形成導氣(qi)腔(qiang)(qiang)，所述導氣(qi)腔(qiang)(qiang)遠離(li)進氣(qi)腔(qiang)(qiang)的(de)一(yi)端形成扁平狀的(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)出(chu)風口。

5、優選的是，所(suo)述(shu)風刀主體(ti)(ti)包括(kuo)：第(di)(di)一(yi)(yi)殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)以及設(she)置在第(di)(di)一(yi)(yi)殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)內部的第(di)(di)二殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)，所(suo)述(shu)第(di)(di)二殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)的兩外(wai)側壁與第(di)(di)一(yi)(yi)殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)之(zhi)間形成(cheng)兩個導氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)道(dao)(dao)，所(suo)述(shu)第(di)(di)二殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)的頂側與第(di)(di)一(yi)(yi)殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)之(zhi)間形成(cheng)與氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)源連接(jie)的進氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)道(dao)(dao)；所(suo)述(shu)第(di)(di)二殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)內活動設(she)有出(chu)(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)機(ji)構，所(suo)述(shu)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)機(ji)構的一(yi)(yi)端(duan)連接(jie)在第(di)(di)二殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)內，且另一(yi)(yi)端(duan)延伸至(zhi)第(di)(di)二殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(ti)(ti)的外(wai)側設(she)置；所(suo)述(shu)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)機(ji)構為(wei)伸出(chu)(chu)狀態(tai)時，其出(chu)(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)道(dao)(dao)與導氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)道(dao)(dao)連通(tong)(tong)，氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流從(cong)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)道(dao)(dao)吹出(chu)(chu)，形成(cheng)扁平狀的氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流；所(suo)述(shu)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)機(ji)構為(wei)收縮狀態(tai)時，其出(chu)(chu)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)道(dao)(dao)與導氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)道(dao)(dao)不連通(tong)(tong)，氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流從(cong)導氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)(tong)道(dao)(dao)吹出(chu)(chu)。

6、優選(xuan)的是(shi)，所(suo)(suo)述(shu)出(chu)(chu)(chu)氣(qi)(qi)機構包括：設置在第二(er)殼(ke)(ke)體(ti)內側(ce)的固(gu)定架(jia)，所(suo)(suo)述(shu)固(gu)定架(jia)內滑動(dong)(dong)設有v形(xing)(xing)板，所(suo)(suo)述(shu)v形(xing)(xing)板的外(wai)側(ce)套接有與(yu)其同步運動(dong)(dong)的出(chu)(chu)(chu)氣(qi)(qi)殼(ke)(ke)體(ti)，所(suo)(suo)述(shu)出(chu)(chu)(chu)氣(qi)(qi)殼(ke)(ke)體(ti)遠(yuan)離固(gu)定架(jia)的一端形(xing)(xing)成(cheng)扁平(ping)狀的第二(er)出(chu)(chu)(chu)風口，所(suo)(suo)述(shu)v形(xing)(xing)板的兩個外(wai)側(ce)壁(bi)與(yu)出(chu)(chu)(chu)氣(qi)(qi)殼(ke)(ke)體(ti)之間形(xing)(xing)成(cheng)出(chu)(chu)(chu)氣(qi)(qi)通道；所(suo)(suo)述(shu)v形(xing)(xing)板遠(yuan)離出(chu)(chu)(chu)氣(qi)(qi)殼(ke)(ke)體(ti)的一側(ce)連(lian)接有驅(qu)(qu)動(dong)(dong)組(zu)件(jian)，所(suo)(suo)述(shu)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)組(zu)件(jian)的另一端穿過固(gu)定架(jia)與(yu)第二(er)殼(ke)(ke)體(ti)連(lian)接。

7、優選(xuan)的(de)是，所述v形板(ban)的(de)外側壁上設有用于檢測(ce)出(chu)氣壓(ya)(ya)力的(de)第一壓(ya)(ya)力傳感(gan)器，若第一壓(ya)(ya)力傳感(gan)器檢測(ce)到(dao)出(chu)氣壓(ya)(ya)力在設定時間(jian)段內均大于預設壓(ya)(ya)力值時，則(ze)通過控(kong)制(zhi)(zhi)部控(kong)制(zhi)(zhi)驅動組件工作，使出(chu)氣機(ji)構由(you)伸出(chu)狀(zhuang)態切換(huan)為收縮狀(zhuang)態，使氣流從導氣通道吹出(chu)。

8、優選的是，所(suo)述風刀(dao)主體在(zai)其長度(du)方向上的兩(liang)端對稱(cheng)設有承載軸，所(suo)述承載軸的外(wai)側轉動連(lian)接有固定(ding)筒(tong)，所(suo)述固定(ding)筒(tong)通過固定(ding)桿與承載架連(lian)接。

9、優選的(de)(de)是，所述(shu)檢測部(bu)包括：沿周向均勻設(she)置(zhi)在(zai)承(cheng)載軸(zhou)外側的(de)(de)多個(ge)凸塊(kuai)，所述(shu)凸塊(kuai)上設(she)置(zhi)有(you)(you)第二壓力傳感(gan)器(qi)，多個(ge)凸塊(kuai)的(de)(de)外側套(tao)接(jie)有(you)(you)彈性套(tao)，所述(shu)第二壓力傳感(gan)器(qi)設(she)置(zhi)在(zai)彈性套(tao)和凸塊(kuai)之間(jian)，所述(shu)彈性套(tao)的(de)(de)外側套(tao)接(jie)有(you)(you)剛性套(tao)，所述(shu)剛性套(tao)轉動連接(jie)在(zai)固(gu)定筒內。

10、優選的(de)(de)(de)(de)(de)是，所述(shu)凸塊(kuai)的(de)(de)(de)(de)(de)數量至少為八個(ge)；所述(shu)控(kong)制部內(nei)存儲(chu)有與每(mei)個(ge)凸塊(kuai)上的(de)(de)(de)(de)(de)第二(er)壓(ya)力傳感器對應(ying)的(de)(de)(de)(de)(de)設定范(fan)圍(wei)，所述(shu)設定范(fan)圍(wei)為，在風刀主體(ti)形成(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)流(liu)與硅(gui)片(pian)平行，且氣(qi)流(liu)經過兩(liang)個(ge)硅(gui)片(pian)之間的(de)(de)(de)(de)(de)間隙時，第二(er)壓(ya)力傳感器多次獲取的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)力值形成(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)力范(fan)圍(wei)。

11、優選的(de)是，所述風刀主(zhu)(zhu)體形成的(de)氣流(liu)方向出現偏差(cha)的(de)判斷標準為，在一個(ge)承載軸上，至少兩個(ge)非對稱設(she)置的(de)第二壓力傳感器檢測(ce)的(de)壓力值超出其對應的(de)設(she)定范圍(wei)，則(ze)風刀主(zhu)(zhu)體形成的(de)氣流(liu)方向出現偏差(cha)。

12、相比(bi)現有技(ji)術，本發明至少包括以下(xia)有益(yi)效(xiao)果：

13、本(ben)發明所(suo)述的快(kuai)速吹干花(hua)籃和硅(gui)(gui)片的風刀(dao)通過風刀(dao)主體豎直向下吹出高(gao)速的氣流(liu)(liu)，當高(gao)速氣流(liu)(liu)經過兩個硅(gui)(gui)片之間(jian)時，能夠將硅(gui)(gui)片上的液體帶走，并且，高(gao)速氣流(liu)(liu)與(yu)硅(gui)(gui)片平行，能夠減少(shao)對硅(gui)(gui)片的沖(chong)擊力，防止對硅(gui)(gui)片造成損傷；

14、由于氣(qi)流速度(du)提(ti)升，所(suo)以氣(qi)流的(de)溫度(du)可采用常(chang)溫或者比烘(hong)干更低的(de)溫度(du)，防止(zhi)高溫使硅片(pian)的(de)應力變大，保(bao)證吹干效果的(de)同時，降低對硅片(pian)的(de)影響；

15、設置用于(yu)檢測(ce)風(feng)刀(dao)主體形成的氣流(liu)方向的檢測(ce)部，以(yi)實(shi)時對風(feng)刀(dao)主體進行(xing)監測(ce)，在(zai)氣流(liu)方向出現偏(pian)差時，及(ji)時進行(xing)調整(zheng)，以(yi)保證(zheng)吹干效果。

16、本發明(ming)所(suo)(suo)述(shu)的(de)快速吹干(gan)花籃和(he)硅片的(de)風刀，本發明(ming)的(de)其它優點(dian)、目標和(he)特征將部分通過(guo)下面的(de)說明(ming)體現，部分還(huan)將通過(guo)對本發明(ming)的(de)研究和(he)實(shi)踐而為本領域的(de)技術人員所(suo)(suo)理解。

技術特征：

1.一種快速吹干花籃和(he)硅(gui)(gui)片的(de)風(feng)(feng)(feng)刀(dao)，其特征在(zai)于，包括：風(feng)(feng)(feng)刀(dao)主(zhu)(zhu)體(ti)(3)，設(she)于花籃(1)的(de)一側，花籃(1)內承載(zai)有(you)多個(ge)硅(gui)(gui)片(2)，所(suo)(suo)述(shu)風(feng)(feng)(feng)刀(dao)主(zhu)(zhu)體(ti)(3)形成的(de)氣流與硅(gui)(gui)片(2)平(ping)行，且(qie)從相鄰的(de)兩個(ge)硅(gui)(gui)片(2)之間經過(guo)；所(suo)(suo)述(shu)風(feng)(feng)(feng)刀(dao)主(zhu)(zhu)體(ti)(3)設(she)置在(zai)承載(zai)架(6)上，所(suo)(suo)述(shu)風(feng)(feng)(feng)刀(dao)主(zhu)(zhu)體(ti)(3)上設(she)有(you)用于檢(jian)測氣流方(fang)向(xiang)(xiang)的(de)檢(jian)測部，在(zai)風(feng)(feng)(feng)刀(dao)主(zhu)(zhu)體(ti)(3)形成的(de)氣流方(fang)向(xiang)(xiang)出現偏差時(shi)，通過(guo)控制部控制驅動部調節(jie)風(feng)(feng)(feng)刀(dao)主(zhu)(zhu)體(ti)(3)在(zai)承載(zai)架(6)上的(de)位置，以使形成的(de)氣流與硅(gui)(gui)片(2)平(ping)行。

2.根據權(quan)利要(yao)求(qiu)1所(suo)述的(de)快速吹(chui)干(gan)花籃和(he)硅片(pian)的(de)風刀(dao)，其(qi)特征(zheng)在于(yu)(yu)，所(suo)述風刀(dao)主體(ti)(3)形(xing)成的(de)氣(qi)流(liu)(liu)為扁平(ping)狀(zhuang)(zhuang)，扁平(ping)狀(zhuang)(zhuang)的(de)氣(qi)流(liu)(liu)的(de)厚度(du)小于(yu)(yu)或等于(yu)(yu)相鄰的(de)兩個硅片(pian)(2)之間的(de)間隙距離，扁平(ping)狀(zhuang)(zhuang)的(de)氣(qi)流(liu)(liu)的(de)寬度(du)大于(yu)(yu)或等于(yu)(yu)花籃(1)的(de)寬度(du)。

3.根據權利要求(qiu)1所(suo)(suo)(suo)述的快速吹(chui)干花(hua)籃和硅片的風(feng)刀，其特征在于，所(suo)(suo)(suo)述風(feng)刀主體(3)包(bao)括：相互(hu)連接的第(di)(di)一板(ban)(ban)(ban)體(310)和第(di)(di)二(er)板(ban)(ban)(ban)體(320)，所(suo)(suo)(suo)述第(di)(di)一板(ban)(ban)(ban)體(310)和第(di)(di)二(er)板(ban)(ban)(ban)體(320)之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)設(she)置有密封墊(330)；所(suo)(suo)(suo)述第(di)(di)一板(ban)(ban)(ban)體(310)內(nei)部設(she)有進氣槽(cao)和導氣槽(cao)，所(suo)(suo)(suo)述進氣槽(cao)與第(di)(di)二(er)板(ban)(ban)(ban)體(320)的側壁之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)形(xing)成(cheng)(cheng)與氣源連接的進氣腔(qiang)(31a)，所(suo)(suo)(suo)述導氣槽(cao)與第(di)(di)二(er)板(ban)(ban)(ban)體(320)的側壁之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)形(xing)成(cheng)(cheng)導氣腔(qiang)(32a)，所(suo)(suo)(suo)述導氣腔(qiang)(32a)遠離進氣腔(qiang)(31a)的一端形(xing)成(cheng)(cheng)扁平狀的第(di)(di)一出風(feng)口(33a)。

4.根據(ju)權利要求1所(suo)述(shu)的(de)快速吹(chui)干花籃(lan)和(he)硅(gui)片的(de)風(feng)刀，其特(te)征在于(yu)，所(suo)述(shu)風(feng)刀主體(ti)(ti)(3)包括(kuo)：第(di)一(yi)殼(ke)體(ti)(ti)(340)以及設置在第(di)一(yi)殼(ke)體(ti)(ti)(340)內部的(de)第(di)二(er)殼(ke)體(ti)(ti)(350)，所(suo)述(shu)第(di)二(er)殼(ke)體(ti)(ti)(350)的(de)兩外側壁與(yu)(yu)第(di)一(yi)殼(ke)體(ti)(ti)(340)之間形(xing)成兩個導(dao)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)(32b)，所(suo)述(shu)第(di)二(er)殼(ke)體(ti)(ti)(350)的(de)頂側與(yu)(yu)第(di)一(yi)殼(ke)體(ti)(ti)(340)之間形(xing)成與(yu)(yu)氣(qi)(qi)源(yuan)連(lian)接的(de)進(jin)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)(31b)；所(suo)述(shu)第(di)二(er)殼(ke)體(ti)(ti)(350)內活動設有出(chu)氣(qi)(qi)機構(360)，所(suo)述(shu)出(chu)氣(qi)(qi)機構(360)的(de)一(yi)端連(lian)接在第(di)二(er)殼(ke)體(ti)(ti)(350)內，且另一(yi)端延伸至第(di)二(er)殼(ke)體(ti)(ti)(350)的(de)外側設置；所(suo)述(shu)出(chu)氣(qi)(qi)機構(360)為(wei)伸出(chu)狀(zhuang)態時(shi)，其出(chu)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)(361)與(yu)(yu)導(dao)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)(32b)連(lian)通(tong)(tong)(tong)，氣(qi)(qi)流從出(chu)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)(361)吹(chui)出(chu)，形(xing)成扁(bian)平狀(zhuang)的(de)氣(qi)(qi)流；所(suo)述(shu)出(chu)氣(qi)(qi)機構(360)為(wei)收縮狀(zhuang)態時(shi)，其出(chu)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)(361)與(yu)(yu)導(dao)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)(32b)不連(lian)通(tong)(tong)(tong)，氣(qi)(qi)流從導(dao)氣(qi)(qi)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)(32b)吹(chui)出(chu)。

5.根據權(quan)利要求4所述(shu)的(de)(de)快速吹(chui)干(gan)花籃和(he)硅(gui)片的(de)(de)風(feng)刀，其特征在于，所述(shu)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)機構(360)包括：設(she)置(zhi)在第(di)二殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(350)內(nei)側(ce)(ce)的(de)(de)固(gu)定(ding)架(jia)(362)，所述(shu)固(gu)定(ding)架(jia)(362)內(nei)滑動(dong)(dong)設(she)有(you)v形(xing)(xing)(xing)板(ban)(363)，所述(shu)v形(xing)(xing)(xing)板(ban)(363)的(de)(de)外側(ce)(ce)套接(jie)有(you)與(yu)其同(tong)步運(yun)動(dong)(dong)的(de)(de)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(364)，所述(shu)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(364)遠(yuan)離(li)固(gu)定(ding)架(jia)(362)的(de)(de)一(yi)端(duan)形(xing)(xing)(xing)成扁(bian)平狀的(de)(de)第(di)二出(chu)(chu)風(feng)口(33b)，所述(shu)v形(xing)(xing)(xing)板(ban)(363)的(de)(de)兩(liang)個外側(ce)(ce)壁與(yu)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(364)之(zhi)間(jian)形(xing)(xing)(xing)成出(chu)(chu)氣(qi)(qi)通道(dao)(361)；所述(shu)v形(xing)(xing)(xing)板(ban)(363)遠(yuan)離(li)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(364)的(de)(de)一(yi)側(ce)(ce)連接(jie)有(you)驅動(dong)(dong)組件(jian)(365)，所述(shu)驅動(dong)(dong)組件(jian)(365)的(de)(de)另一(yi)端(duan)穿(chuan)過固(gu)定(ding)架(jia)(362)與(yu)第(di)二殼(ke)(ke)(ke)(ke)體(350)連接(jie)。

6.根(gen)據(ju)權利要求(qiu)5所述(shu)的(de)(de)快速(su)吹(chui)干花籃(lan)和(he)硅片的(de)(de)風刀，其特征在(zai)(zai)于(yu)(yu)，所述(shu)v形板(363)的(de)(de)外(wai)側壁上設(she)(she)(she)有(you)用于(yu)(yu)檢(jian)(jian)測出(chu)(chu)氣(qi)(qi)壓(ya)力(li)的(de)(de)第一壓(ya)力(li)傳感器，若第一壓(ya)力(li)傳感器檢(jian)(jian)測到出(chu)(chu)氣(qi)(qi)壓(ya)力(li)在(zai)(zai)設(she)(she)(she)定時間段內均大于(yu)(yu)預設(she)(she)(she)壓(ya)力(li)值時，則(ze)通(tong)過控(kong)制(zhi)部控(kong)制(zhi)驅動組件(365)工作，使(shi)出(chu)(chu)氣(qi)(qi)機構(360)由伸出(chu)(chu)狀(zhuang)態切(qie)換為收縮狀(zhuang)態，使(shi)氣(qi)(qi)流(liu)從導氣(qi)(qi)通(tong)道(32b)吹(chui)出(chu)(chu)。

7.根據權利要求1所(suo)述(shu)的快速(su)吹干花籃和硅(gui)片的風(feng)刀，其(qi)特征在于(yu)，所(suo)述(shu)風(feng)刀主(zhu)體(ti)(3)在其(qi)長度方(fang)向上的兩端(duan)對稱設(she)有(you)承載(zai)軸(zhou)(zhou)(4)，所(suo)述(shu)承載(zai)軸(zhou)(zhou)(4)的外側轉動連接(jie)有(you)固(gu)定筒(5)，所(suo)述(shu)固(gu)定筒(5)通過固(gu)定桿與承載(zai)架(6)連接(jie)。

8.根據權利要求7所(suo)述(shu)的快速吹(chui)干花籃和(he)硅片(pian)的風刀，其特(te)征(zheng)在于，所(suo)述(shu)檢測部包括：沿周(zhou)向均勻(yun)設(she)(she)置在承載軸(zhou)(4)外(wai)(wai)側的多(duo)個凸(tu)塊(kuai)(kuai)(7)，所(suo)述(shu)凸(tu)塊(kuai)(kuai)(7)上(shang)設(she)(she)置有(you)第二壓力(li)傳(chuan)感器(8)，多(duo)個凸(tu)塊(kuai)(kuai)(7)的外(wai)(wai)側套(tao)接(jie)有(you)彈性套(tao)(9)，所(suo)述(shu)第二壓力(li)傳(chuan)感器(8)設(she)(she)置在彈性套(tao)(9)和(he)凸(tu)塊(kuai)(kuai)(7)之間，所(suo)述(shu)彈性套(tao)(9)的外(wai)(wai)側套(tao)接(jie)有(you)剛(gang)性套(tao)(10)，所(suo)述(shu)剛(gang)性套(tao)(10)轉(zhuan)動連接(jie)在固定筒(tong)(5)內。

9.根據權利要(yao)求8所(suo)述的(de)快速吹干花籃和硅片的(de)風刀，其特征在于，所(suo)述凸塊(7)的(de)數量(liang)至少為八個；所(suo)述控制部(bu)內(nei)存儲有與每個凸塊(7)上(shang)的(de)第二(er)壓(ya)力(li)(li)傳(chuan)感器(8)對應的(de)設(she)定(ding)范圍；所(suo)述設(she)定(ding)范圍為，在風刀主體(3)形(xing)成(cheng)的(de)氣流(liu)與硅片(2)平行，且(qie)氣流(liu)經過(guo)兩個硅片(2)之(zhi)間的(de)間隙時，第二(er)壓(ya)力(li)(li)傳(chuan)感器(8)多次(ci)獲取的(de)壓(ya)力(li)(li)值(zhi)形(xing)成(cheng)的(de)壓(ya)力(li)(li)范圍。

10.根(gen)據權利要求9所(suo)述的快速吹干花(hua)籃和硅片的風(feng)(feng)刀，其(qi)特(te)征(zheng)在于(yu)，所(suo)述風(feng)(feng)刀主(zhu)體(ti)(3)形(xing)成的氣(qi)(qi)流方(fang)向出(chu)現偏差的判(pan)斷(duan)標準為，在一個承載軸(4)上，至少兩(liang)個非對稱設置的第二(er)壓力(li)傳感器(8)檢(jian)測的壓力(li)值(zhi)超(chao)出(chu)其(qi)對應(ying)的設定范圍，則風(feng)(feng)刀主(zhu)體(ti)(3)形(xing)成的氣(qi)(qi)流方(fang)向出(chu)現偏差。

技術總結
本發明涉及硅片吹干技術領域，公開了一種快速吹干花籃和硅片的風刀，包括：風刀主體，設于花籃的一側，花籃內承載有多個硅片，風刀主體形成的氣流與硅片平行，且從相鄰的兩個硅片之間經過；風刀主體設置在承載架上，風刀主體上設有用于檢測氣流方向的檢測部，在風刀主體形成的氣流方向出現偏差時，通過控制部控制驅動部調節風刀主體在承載架上的位置，以使形成的氣流與硅片平行。通過風刀主體豎直向下吹出高速的氣流，當高速氣流經過兩個硅片之間時，能夠將硅片上的液體帶走，高速氣流與硅片平行，能夠減少對硅片的沖擊力，防止對硅片造成損傷；由于氣流速度提升，所以氣流的溫度可采用常溫或者比烘干更低的溫度，防止高溫使硅片的應力變大。

技術研發人員：韓美洲,胡大鵬,戴加勇,賀成成
受保護的技術使用者：蘇州港麟微電子有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/9/23