本技術屬于(yu)直(zhi)燃式焚燒氧(yang)化(hua)爐,尤其(qi)涉(she)及一種硅烷廢氣(qi)處(chu)理用直(zhi)燃式焚燒氧(yang)化(hua)爐裝(zhuang)置。
背景技術:
1、直(zhi)燃(ran)(ran)式廢(fei)氣(qi)焚(fen)燒爐通過將(jiang)廢(fei)氣(qi)與燃(ran)(ran)料一(yi)起在燃(ran)(ran)燒室中(zhong)進行混合燃(ran)(ran)燒,將(jiang)有機污染物氧(yang)(yang)化(hua)為無害(hai)物質,如水和(he)(he)二氧(yang)(yang)化(hua)碳。燃(ran)(ran)燒產(chan)生的高溫(wen)燃(ran)(ran)燒氣(qi)體直(zhi)接與廢(fei)氣(qi)接觸,使其達到完全(quan)燃(ran)(ran)燒和(he)(he)降解的效果。直(zhi)燃(ran)(ran)式焚(fen)燒氧(yang)(yang)化(hua)爐常(chang)常(chang)被用在硅烷廢(fei)氣(qi)處理中(zhong)。
2、目前,直燃(ran)式(shi)焚燒氧(yang)化爐一般只接入一根硅(gui)烷(wan)廢(fei)氣進氣管(guan)道,無法對來自多管(guan)道的硅(gui)烷(wan)廢(fei)氣進行集中(zhong)處理,使得(de)直燃(ran)式(shi)焚燒氧(yang)化爐的處理效率低。
技術實現思路
1、本(ben)實用(yong)新型的(de)目的(de)在于:為(wei)了(le)解決直燃式焚燒氧(yang)(yang)化爐(lu)一(yi)(yi)般只接(jie)入一(yi)(yi)根硅(gui)烷廢氣進(jin)氣管道,無(wu)法對來自多(duo)管道的(de)硅(gui)烷廢氣進(jin)行集中處(chu)(chu)理,導(dao)致直燃式焚燒氧(yang)(yang)化爐(lu)的(de)處(chu)(chu)理效率低的(de)問題,而提出的(de)一(yi)(yi)種硅(gui)烷廢氣處(chu)(chu)理用(yong)直燃式焚燒氧(yang)(yang)化爐(lu)裝置。
2、為了(le)實現上(shang)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)目(mu)的(de)(de),本(ben)實用(yong)新型采用(yong)了(le)如下技術方案:一(yi)(yi)種(zhong)硅烷廢(fei)氣處(chu)理用(yong)直(zhi)燃式焚燒氧化(hua)爐裝置,其包括底座、外筒(tong)(tong)、內(nei)(nei)筒(tong)(tong)、匯(hui)流箱和多(duo)個(ge)(ge)換(huan)熱(re)(re)器,所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外筒(tong)(tong)和所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(tong)(tong)固(gu)(gu)皆定(ding)安裝在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底座上(shang),且所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外筒(tong)(tong)位于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(tong)(tong)的(de)(de)四周,所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(tong)(tong)的(de)(de)內(nei)(nei)部形(xing)成燃燒室,所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外筒(tong)(tong)與(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(tong)(tong)之(zhi)間形(xing)成預熱(re)(re)倉(cang),所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外筒(tong)(tong)上(shang)開(kai)設(she)有多(duo)個(ge)(ge)第一(yi)(yi)進(jin)氣口(kou)(kou),多(duo)個(ge)(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第一(yi)(yi)進(jin)氣口(kou)(kou)連通所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預熱(re)(re)倉(cang),所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(tong)(tong)上(shang)開(kai)設(she)有多(duo)個(ge)(ge)第二進(jin)氣口(kou)(kou),多(duo)個(ge)(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第二進(jin)氣口(kou)(kou)連通所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)燃燒室和所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預熱(re)(re)倉(cang),所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)匯(hui)流箱固(gu)(gu)定(ding)安裝在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外筒(tong)(tong)上(shang),且所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)匯(hui)流箱堵住所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)燃燒室和所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預熱(re)(re)倉(cang),多(duo)個(ge)(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)換(huan)熱(re)(re)器設(she)于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預熱(re)(re)倉(cang)內(nei)(nei),所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)換(huan)熱(re)(re)器連通所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)燃燒室和所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)匯(hui)流箱。
3、作為上述技術方(fang)案(an)的進一步描述:
4、多(duo)個所述換熱器呈環(huan)形陣(zhen)列(lie)排布。
5、作為上(shang)述(shu)技術方案的進一步描述(shu):
6、所述內筒(tong)的內壁和所述外(wai)筒(tong)的內壁上(shang)皆設置有隔熱層。
7、作為上述技術方案的(de)進一步描述:
8、所述第二(er)進(jin)氣口位于所述第一(yi)進(jin)氣口的下方。
9、作(zuo)為(wei)上述技術方案的進一步描述:
10、所(suo)(suo)述換熱器(qi)的(de)側面上(shang)設置(zhi)有(you)第一排(pai)(pai)氣口,所(suo)(suo)述第一排(pai)(pai)氣口連通(tong)所(suo)(suo)述燃燒室,且所(suo)(suo)述第一排(pai)(pai)氣口位于所(suo)(suo)述第二(er)進(jin)氣口的(de)下方。
11、作為上述技術方(fang)案的進一步描(miao)述:
12、所(suo)述匯(hui)流箱的(de)頂部設(she)置有(you)第(di)二排氣口(kou)。
13、綜上(shang)所述,由(you)于采(cai)用了上(shang)述技術方案(an),本實用新型的有(you)益效果是:
14、本實用新(xin)型中,通過(guo)在(zai)外筒上設置有(you)多個第(di)一(yi)(yi)進(jin)氣(qi)(qi)口,可(ke)以讓多條(tiao)硅(gui)烷廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)的(de)管道連通第(di)一(yi)(yi)進(jin)氣(qi)(qi)口,硅(gui)烷廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)在(zai)預(yu)熱(re)(re)(re)(re)倉(cang)預(yu)熱(re)(re)(re)(re)后(hou)從第(di)二進(jin)氣(qi)(qi)口進(jin)入到燃(ran)(ran)燒(shao)室內燃(ran)(ran)燒(shao),燃(ran)(ran)燒(shao)后(hou)的(de)氣(qi)(qi)體進(jin)入到多個換(huan)(huan)熱(re)(re)(re)(re)器內進(jin)行熱(re)(re)(re)(re)量(liang)回收,換(huan)(huan)熱(re)(re)(re)(re)器內的(de)熱(re)(re)(re)(re)量(liang)也會輻射到預(yu)熱(re)(re)(re)(re)倉(cang)內,經過(guo)換(huan)(huan)熱(re)(re)(re)(re)器冷卻后(hou)的(de)氣(qi)(qi)體匯流到匯流箱內統(tong)一(yi)(yi)排(pai)放,實現了(le)多管道的(de)硅(gui)烷廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)進(jin)行集(ji)中處(chu)理,大大地(di)提高了(le)直燃(ran)(ran)式焚(fen)燒(shao)氧化爐的(de)處(chu)理效率。
1.一種硅烷廢氣(qi)處(chu)理用直燃(ran)式焚(fen)燒(shao)氧(yang)化爐裝置,其特征在于:包括底座(zuo)(zuo)(1)、外(wai)筒(2)、內(nei)(nei)筒(3)、匯流箱(xiang)(xiang)(4)和(he)(he)多(duo)(duo)個換(huan)熱(re)(re)器(5),所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外(wai)筒(2)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(3)固皆(jie)定(ding)安裝在所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)底座(zuo)(zuo)(1)上,且(qie)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外(wai)筒(2)位于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(3)的四(si)周,所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(3)的內(nei)(nei)部形成燃(ran)燒(shao)室(6),所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外(wai)筒(2)與(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(3)之(zhi)間(jian)形成預(yu)(yu)(yu)熱(re)(re)倉(7),所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外(wai)筒(2)上開設(she)有多(duo)(duo)個第(di)一進氣(qi)口(kou)(8),多(duo)(duo)個所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)一進氣(qi)口(kou)(8)連通所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預(yu)(yu)(yu)熱(re)(re)倉(7),所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)內(nei)(nei)筒(3)上開設(she)有多(duo)(duo)個第(di)二進氣(qi)口(kou)(9),多(duo)(duo)個所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)二進氣(qi)口(kou)(9)連通所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)燃(ran)燒(shao)室(6)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預(yu)(yu)(yu)熱(re)(re)倉(7),所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)匯流箱(xiang)(xiang)(4)固定(ding)安裝在所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)外(wai)筒(2)上,且(qie)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)匯流箱(xiang)(xiang)(4)堵(du)住所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)燃(ran)燒(shao)室(6)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預(yu)(yu)(yu)熱(re)(re)倉(7),多(duo)(duo)個所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)換(huan)熱(re)(re)器(5)設(she)于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)預(yu)(yu)(yu)熱(re)(re)倉(7)內(nei)(nei),所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)換(huan)熱(re)(re)器(5)連通所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)燃(ran)燒(shao)室(6)和(he)(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)匯流箱(xiang)(xiang)(4)。
2.根據權利要求1所述的一種硅烷(wan)廢氣處理用直燃式焚(fen)燒氧化(hua)爐裝(zhuang)置,其特征在于,多個所述換熱器(5)呈環形陣列(lie)排(pai)布。
3.根據權利要求1所(suo)(suo)述的(de)一種(zhong)硅烷廢(fei)氣處理(li)用直燃式焚(fen)燒氧化爐裝置,其特(te)征在于,所(suo)(suo)述內筒(3)的(de)內壁和所(suo)(suo)述外筒(2)的(de)內壁上皆(jie)設置有(you)隔(ge)熱(re)層(10)。
4.根據權利要求1所述的(de)一(yi)種硅烷廢氣處理(li)用(yong)直(zhi)燃式焚燒氧化爐裝置,其特征在于,所述第二進氣口(9)位于所述第一(yi)進氣口(8)的(de)下(xia)方。
5.根據權利要求(qiu)4所(suo)述(shu)的一種(zhong)硅烷廢氣處理用(yong)直燃式焚(fen)燒氧化爐裝置,其特征在于,所(suo)述(shu)換(huan)熱(re)器(qi)(5)的側面(mian)上設置有第(di)一排(pai)氣口(11),所(suo)述(shu)第(di)一排(pai)氣口(11)連(lian)通所(suo)述(shu)燃燒室(6),且所(suo)述(shu)第(di)一排(pai)氣口(11)位于所(suo)述(shu)第(di)二進氣口(9)的下(xia)方。
6.根據權(quan)利要求1所述(shu)的一種硅烷廢(fei)氣處理(li)用直燃式焚燒氧化爐裝置,其特(te)征在于,所述(shu)匯流箱(4)的頂部設(she)置有第二排氣口(12)。