專利名稱：捆包用緩沖體和包裝體的制作方法
技術領域：
本發明涉及對精密基板收納容器進行捆包時所使用的捆包用緩沖體以 及具備該緩沖體的包裝體。上述精密基板收納容器用于收納在生產晶體管或
二極管等半導體元件、存儲器或LSI等的半導體電路部件、CCD或半導體 激光器等的光學回路部件等時所使用的硅、玻璃、化合物、氧化物等的各種 晶圓、半導體晶圓、光罩玻璃、薄膜、液晶玻璃、或者是由鋁和玻璃等構成 的硬盤基板或光盤等信息存儲介質等的精密基板。
背景技術：
作為在運送精密基板中所使用的精密基板收納容器，例如有專利文獻1所 公開的精密基板收納容器。在該精密基板收納容器中，為了保護所收納的精密 基板，使用了由左右方向向內側較深延伸的保持器。作為安全地運送這種精密 基板收納容器中所使用的包裝體，例如有專利文獻2和專利文獻3所公開的包 裝體。這些包裝體使用了配置在精密基板收納容器的上部和下部的一組緩沖體。 在這些各緩沖體中設置有用于收納精密基板收納容器的收納部。另外，在專利 文獻4中公開了使用泡沫材料而成型的緩沖體。
作為安全地運送精密基板的要件，對包裝體要求當使捆包精密基板收納 容器的包裝體自然落下時，不會對包裝體所收納的精密基板收納容器和精密基 板產生破損等異常的落下高度在l.Om以上，優選在1.5m以上。
上述專利文獻l中所記載的精密基板收納容器適合用于保護精密基板。但 是，存在如下問題必須要有自動地進行蓋體的安裝或卸下的專用裝置；因具 有大的保持器，從容器主體卸下蓋體時，需要大的行程；必須額外地準備蓋體 開閉裝置的設置空間等。為了解決上述問題，開發了卸下蓋體時的拔取行程與在器件制造工序內所使用的收納容器相等，而且能夠使用以SEMI規格E62、 E63等標準化的蓋體開閉裝置的精密基板收納容器(參照專利文獻5)。但是， 在該精密基板收納容器中，保持器對精密基板的保持范圍被限定在中央部分， 保持精密基板的行程也小。因此，將這種精密基板收納容器捆包于上述專利文 獻2 4所公開的現有包裝體中時，無法充分地吸收落下時的沖擊，特別是包裝 體的角部與棱線部受落下時的沖擊所造成的損傷會變大。具體來說，落下高度 達到0.8m以上時，精密基板將破損，碎片會增加。因此，無法將現有的包裝體 用于運輸。
專利文獻1:特開號/>才艮
專利文獻2:特開平7-307378號公報
專利文獻3:特開號公報
專利文獻4:特開號公報
專利文獻5:特開號7>報
因此，為了強化上述現有的包裝體，例如考慮使用泡沫苯乙烯和聚氨酯 泡沫等作為緩沖材料。但是，泡沫苯乙烯和聚氨酯泡沫等一般來說容易變得 體積大，包裝體的尺寸也會增大。因此，需要大的保管空間和運送空間，會 有工廠的空間效率變差、使用后回收緩沖體的運送費用增加的問題。另外， 在由泡沫苯乙烯構成緩沖體的情況下，因為端部容易破損，被微細粉碎的破 片可能會污染工廠的無塵室；而在由聚氨酯泡沫構成緩沖體的情況下，雖然 不易破損，但是因為泡沫開口露出在表面，有容易積存污染物等的問題。另 外，因為上述問題，再利用和回收也會有問題。因此，使用泡沫苯乙烯和聚 氨酯泡沫等作為緩沖材料還是有困難。

發明內容
因此，本發明為了解決上述課題，提供一種捆包用緩沖體和包裝體，可以 有效地吸收落下時的沖擊。
本發明的捆包用緩沖體為在將收納精密基板的精密基板收納容器捆包到包裝體時，配置在精密基板收納容器的上部和/或下部的捆包用緩沖體，其特征在
于，捆包用緩沖體包括在進行捆包時覆蓋精密基板收納容器的上面或下面的 底部、從底部的外周緣直立而隆起的外周壁和形成在外周壁上的加強部；底部 包括能夠與精密基板收納容器的上面或下面相抵接的抵接部和形成于抵接部 的外周、且相對于精密基板收納容器形成在離開抵接部的位置上的外周底部； 在抵接部和外周底部之間形成有階梯部。
根據本發明，在捆包時與精密基板收納容器相抵接的抵接部與從具有該抵 接部的底部的外周緣直立而隆起的外周壁之間，形成有在相對于精密基板收納 容器離開抵接部的位置上形成有外周底部，在該外周底部和抵接部之間形成有 階梯部。由此，在從外部受到沖擊時，階梯部垮塌，抵接部相對于外周壁適當 地移動，可以有效地吸收沖擊。因此，可以防止大的沖擊瞬間性地施加到精密 基板收納容器的情況，可以有效地緩沖落下沖擊。
在本發明的捆包用緩沖體中，優選加強部為波紋部。或者，也可以使加強 部的剖面形狀為圓5!的凹部或凸部。
在本發明的捆包用緩沖體中，優選抵接部為從外周底部向著精密基板收納 容器凸出的底座部。
另外，優選在底座部形成有突出部，該突出部向與精密基板收納容器分離 的方向突出，并且隨著與精密基板收納容器分離，直徑階梯狀地縮小。由此， 在從外部受到沖擊時，能夠用突出部階段性地阻止沖擊并使其減緩。因此，可 以更有效地緩沖落下沖擊。
另外，也可以為如下結構底部包括對向部和突出部，該對向部與精密基 板收納容器的上面或下面相對面，該突出部從對向部向與精密基板收納容器接 近的方向突出，并且隨著接近于精密基板收納容器，直徑階梯狀地縮小；抵接 部是由突出部形成。
另外，從俯一見方向來看，優選在階梯部形成有向內側凹陷的圓弧狀的凹部 或者向外側突出的圓弧狀的凸部。
另外，本發明的捆包用緩沖體為在將收納精密基板的精密基板收納容器捆包到包裝體時，配置在精密基板收納容器的上部和/或下部的捆包用緩沖體，其
特征在于，捆包用緩沖體包括在捆包時覆蓋精密基板收納容器的上面或下面 的底部、從底部的外周緣直立而隆起的外周壁和形成在外周壁上的加強部；底 部包括能夠與精密基板收納容器的上面或下面抵接的抵接部；抵接部具有向 與精密基板收納容器分離或接近的方向突出的突出部。
根據本發明，具備能夠與精密基板收納容器抵接的抵接部，在該抵接部上 形成有向與精密基板收納容器分離或接近的方向突出的突出部。由此，在從外 部受到沖擊時，突出部蜂塌，可以有效地吸收沖擊。因此，可以防止大的沖擊 瞬間性地施加到精密基;f反收納容器的情況，可以有效地緩沖落下沖擊。
另外，突出部的直徑優選為向前端側階梯狀地縮小。即，當突出部向與精 密基板收納容器分離的方向突出時，突出部的直徑是隨著與精密基板收納容器 的分離而階梯狀地縮小；當突出部向與精密基板收納容器接近的方向突出時， 突出部的直徑是隨著與精密基板收納容器的接近而階梯狀地縮小。
另外，本發明的包裝體的特征在于具備上述捆包用緩沖體。根據本發明， 由于具備上述捆包用緩沖體，在從外部受到沖擊時，可以有效地吸收沖擊。因 此，可以防止大的沖擊瞬間性地施加到精密基板收納容器的情況，并且可以有 效地緩沖落下沖擊。
根據本發明的捆包用緩沖體和包裝體，可以有效地吸收落下時的沖擊。


圖1為將精密基板收納容器收納于本發明第一實施方式的包裝體時的分解 立體圖。
圖2為精密基板收納容器收納到本發明第一實施方式的包裝體的狀態的剖 視圖。
圖3為本發明第一實施方式的上部緩沖體的立體圖。 圖4為本發明第一實施方式的上部緩沖體的俯視圖。 圖5為圖3的V-V線剖視圖。圖6為本發明第一實施方式的下部緩沖體的立體圖。圖7為本發明第一實施方式的下部緩沖體的俯視圖。
圖8為具備加強體的上部緩沖體的剖視圖。圖9為表示本發明的波紋部的變形例的放大剖視圖。圖IO為本發明其它實施方式的上部緩沖體的剖視圖。圖11為本發明第二實施方式的緩沖體的立體圖。圖12為本發明第二實施方式的緩沖體的俯視圖。圖13為圖11的XIII-XIII線的剖視圖。圖14為圖12的XIV-XIV線的剖i見圖。圖15為本發明第三實施方式的緩沖體的立體圖。圖16為本發明第三實施方式的緩沖體的俯視圖。圖17為圖15的XVII-XVII線的剖;f見圖。圖18為本發明變形例的形成有加強凸部的外周壁的剖視圖。圖19為本發明變形例的形成有階梯部的緩沖體的俯視圖。符號說明
1:包裝箱(包裝體)2A、 2C:上部緩沖體(捆包用緩沖體)2B:下部緩沖體(捆包用緩沖體)2D、 2E:緩沖體(捆包用緩沖體)3:精密基板收納容器
21、41、61、71:底部
22、42、62、72、 82:外周壁
23、43、63:波紋部(加強部)
24、74:突出部25、45、75:底座部(抵接部)
26、46、66、76:外周底部
27、47、67、77:階梯部
848:半圓形部(圓弧狀的凹部)49:半圓形部(圓弧狀的凸部)64:突出部"氐接部)65:對向部
73、 83:加強凹部(加強部)
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發明的捆包用緩沖體和包裝體的實施方式進行說明。此外，在各圖中，對相同的要素附上相同的符號，并省略其重復的說明。
圖1是將精密基板收納容器收納于本發明第一實施方式的包裝體時的分解立體圖。圖2是精密基板收納容器收納在本發明第一實施方式的包裝體中的狀態的剖視圖。如圖1與圖2所示，包裝體100具有包裝箱1、上部緩沖體2A與下部緩沖體2B。
包裝箱1是在運送精密基板收納容器3時，用于捆包精密基板收納容器3的箱子。精密基板收納容器3是收納半導體晶圓(精密基板)33的容器。精密基板收納容器3在裝入塑料袋或鋁箔袋(7》$ ， $氺一卜袋)并密封后，保持在上部緩沖體2A與下部緩沖體2B之間，捆包到包裝箱1中。
包裝箱l例如可以使用各種瓦楞箱、聚乙烯、聚丙烯等塑料樹脂制的箱子、聚氨醋、聚乙歸、聚丙烯樹脂等泡沫材料制的箱子，并形成為可以收納一個或多個精密基板收納容器3的尺寸。特別是，通過將包裝箱l做成塑料樹脂制品，可以使再利用的便利性提高，并且可以消除紙屑等對無塵室的污染。
上部緩沖體2A是在將精密基板收納容器3捆包于包裝箱1時，配置在精密基板收納容器3上部的援沖體；下部緩沖體2B是在將精密基板收納容器3捆包于包裝箱l時，配置在精密基板收納容器3下部的緩沖體。此外，在下面的說明中，在不需要區別上部緩沖體與下部緩沖體時，稱為緩沖體2A、 2B。另外，在緩沖體2A 、 2B的iJL明中，將精密基板收納容器3側作為正面側，將其相反側作為背面側。緩沖體2A、 2B是將樹脂片以真空成型、壓空成型、加壓成型、柱塞助推等公知的制造方法來成型。作為成型為緩沖體2A、 2B的樹脂片可以舉出聚烯烴系樹脂和聚乙烯系樹脂等塑料制片。樹脂片的厚度優選為0.5mm 2.0mm左右，更優選為0.7mm~ 1.6mm左右。另夕卜，在上述樹脂片中也可以添加抗靜電劑與著色劑、或是各種添加劑。
接著，參照圖3~圖5說明上部緩沖體2A。圖3是本發明第一實施方式的上部緩沖體的立體圖，圖4是本發明第一實施方式的上部緩沖體的俯視圖，圖5是圖3的V-V線的剖一見圖。
在上部緩沖體2A中設置有用于收容精密基板收納容器3的凹部。此凹部由覆蓋精密基板收納容器3的上部的底部21和從該底部21的外周緣直立而隆起的外周壁22所形成。外周壁22的高度以沿著外周方向交替地重復高低的方式所形成。在下文，將外周壁22的高的部分稱為外周壁凸部22a,而將外周壁22的低的部分稱為外周壁凹部22b。在本實施方式中，沿著外周方向將外周壁凸部22a和外周壁凹部22b分別在各四個地方交替地設置。
外周壁22的端面(端部)上形成有用于吸收沖擊的波紋部(bellows，加強部)23。該波紋部23由三個連續的三角形的彎曲片所形成，且以圍繞整個精密基板收納容器的方式形成。形成波紋部23的各三角形的高度形成為相同。通過在外周壁22的端面形成波紋部23,當從側方受到沖擊時，外周壁22會伸縮，可以有效地吸收沖擊。另外，優選為使外周壁22的高度變化，從而使得波紋部的高度位置不同，由此，可以使外周壁22適當地伸縮。
上部緩沖體2A的底部21具備底座部(抵接部)25和外周底部26,其中，底座部25可與精密基板收納容器3的上面(蓋體32 )抵接，外周底部26形成在底座部25的外周、且相對于精密基板收納容器3形成在離開底座部25的位置上。即，底座部25是以從外周底部26向正面側(圖5的上側)凸出的方式形成。另外，在底座部25和外周底部26之間，形成有階梯狀的階梯部27。該階梯部27以圍繞底座部25外周的方式形成。階梯部27由多個臺階部27a構成，各臺階部27a被設為大致相同的高度。如此，通過以圍繞底座部25的外周來設置階梯部27,在從上下方向受到沖擊時，可以由階梯部27階段性地阻止沖擊并使其緩和。也就是說，在受到沖擊時，可以抑制階梯部27整體一下子蜂塌的情況，并且排除具有剛性的外周壁22的影響，可以使底座部25均衡且平穩地變形。因此，可以提高在上下方向(高度方向)上的沖擊吸收能力。
在上部緩沖體2A的底座部25上，形成有向背面側突出的多個突出部24。如圖3所示，突出部24配設成三行x三列，這些突出部24的高度是以30mm ~80mm之間相同高度的方式來形成。突出部24具有圓柱狀的四個臺階部24s、24p，這些臺階部部分的直徑是10mm~ 80mm,并且以越朝向突出部24的前端部分24p,臺階部部分的直徑越小的方式形成。各臺階部間的臺階高差形成在5 15mm之間。突出部24的高度不需要相同，也可以做成一部分不同。
通過在突出部24設置多個臺階部24s、 24p，可以使各個臺階部具有不同的壓曲強度。因此，當從外部受到沖擊時，可以通過突出部24階段性地阻止沖擊并使其緩和。也就是說，在受到沖擊時，可以抑制突出部24整體一下子垮塌的情況，進而，可以防止對精密基板收納容器施加強大的沖擊的情況。進一步地，可以抑制安裝有用于保持精密基板的保持器31的蓋體32—下子變動的情況，因此可以減少石年片。
另外，突出部24的前端部分24p的剛性優選為與其它部分相比極端地弱。另外，突出部24的前端部分24p比外周底部26更向背面側突出，突出部24的前端部分24p的下面與外周壁22的下端22c之間優選設有空隙(外周壁22的下端22c比突出部24的前端部分24p的下面更向下方突出)。通過這樣的結構，可以提高緩沖能力，并且可以抑制振動的傳遞而實現耐振動性能的提高。
接著，參照圖2、圖6和圖7來說明下部緩沖體2B。圖6是本發明第一實施方式的下部緩沖體2B的立體圖，圖7是本發明第一實施方式的下部緩沖體2B的俯^f見圖。
下部緩沖體2B設置有用于收納精密基板收納容器3的凹部。該凹部由覆
蓋精密基板收納容器3的下面的底部41和從該底部41的外周緣直立而隆起的
ii外周壁42所形成。外周壁42的高度以沿著外周方向反復地呈現高低的方式形成。在下文中，將外周壁42的高的部分稱為外周壁凸部42a,將外周壁42的低的部分稱為外周凹部42b。在本實施方式中， 一對外周凹部42b對向而配置。
在外周壁42的端面(端部)上形成有用于吸收沖擊的波紋部43。該波紋部43由三個連續的三角形的彎曲片所形成，并以圍繞整個精密基板收納容器的方式形成。形成波紋部43的各三角形的高度形成為相同。通過在外周壁42的端面上形成波紋部43，當從側方受到沖擊時，外周壁42會伸縮，可以有效地吸收沖擊。另外，優選為使外周壁42的高度變化，使波紋部43的高度位置不同，由此，可以^f吏外周壁42適當地伸縮。
下部緩沖體2B的底部41具備底座部(抵接部)45和外周底部46,其中，底座部45可與精密基板收納容器3的下面抵接，外周底部46形成在該底座部45的外周、且相對于精密基板收納容器3形成在離開底座部45的位置上。即，底座部45以從外周底部46向正面側(圖示的上側)凸出的方式形成。另外，在底座部45和外周底部46之間，形成有階梯狀的階梯部47。該階梯部47是以圍繞底座部45外周的方式形成。階梯部47由多個臺階部47a 、 47b 、 47c構成。在此，由底座部45向著外周底部46,依次設為臺階部47a 、 47b、 47c。另外，從俯^L方向來看，臺階部47a、 47b具有向內側凹的半圓形部48。該半圓形部48在相對的一對邊上配置有多個(本實施方式中為3個)。另外，如圖19所示，也可以將從由俯視方向來看向外側突出的半圓形部49來替代半圓形部48。
如此，通過以圍繞底座部45的外周來設置階梯部47，在從上下方向受到沖擊時，可以由階梯部47階段性地阻止沖擊并使其緩和。也就是說，在受到沖擊時，可以抑制階梯部47整體一下子垮塌的情況，并且排除具有剛性的外周壁42的影響，可以使底座部45均衡且平穩地變形。因此，可以提高在上下方向(高度方向)上的沖擊吸收能力。
在下部緩沖體2B的底座部45上，形成有向外周壁42的背面側突出的多個突出部44。如圖7所示，突出部44配設成一行x二列，這些突出部44的高度是以30mm ~ 80mm之間相同高度的方式形成。突出部44具有圓柱狀的四個臺階部，這些臺階部部分的直徑是10mm~80mm,并且以越朝向突出部44的前端部分44p，臺階部部分的直徑越小的方式形成。各臺階部間的臺階高差形成在5 ~ 15mm之間。
通過在突出部44設置多個臺階部，可以使各個臺階部具有不同的壓曲強度。因此，當從外部受到沖擊時，可以由突出部44階段性地阻止沖擊并使其減緩。也就是說，在受到沖擊時，可以抑制突出'部44整體一下子垮塌的情況，進而，可以防止對精密基板收納容器施加強大的沖擊的情況。進一步地，可以抑制安裝有用于保持精密基板的保持器31的蓋體32 —下子變動的情況，所以可以減少；爭片。
另外，突出部44前端部分44p的剛性優選為與其它部分相比較極端地弱。另外，突出部44的前端部分44p優選為比外周底部46更向背面側突出。通過采用這種結構，可以抑制振動的傳遞而實現耐振動性能的提高。
如此，根據緩沖體2A、 2B，在收納精密基板收納容器的凹部的底部21、41上形成有抵接部25、 45、階梯部27、 47和外周底部26、 46,抵接部25、 45以從外周底部26、 46通過階梯部27、 47向正面側突出的方式來形成。由此，在受到上下方向的沖擊時，階梯部27、 47會依次绔塌，可以防止以一次沖擊所有多段的階梯部27、 47垮塌而喪失沖擊緩沖力(沖擊吸收能力)。從而，由于對精密基板收納容器3施加強大的沖擊的情況消失，可以減緩對用于封閉精密基板收納容器3的開口部的蓋體的沖擊。由于可以減緩對用于保持基板的保持器的振動和沖擊，因此可以防止基板上的碎片增加。
另外，這種包裝體IOO作為具有內藏自動對應的閂鎖機構的蓋體的精密基板收納容器的捆包體，具有充分的沖擊緩沖力，即使在認為對現有包裝體是難以應對的150cm落下試驗中，也可以防止精密基板(晶圓)的破損與脫落，防止碎片的增加。另外，在進行了振動試驗的情況下，也沒有精密基板的旋轉移動，確認了可以防止精密基板收納容器內的污染。由此，可以安全地運送精密基板收納容器。另外，通過對緩沖體2a、 2b進行著色，有規格變更等時，可以將初期流動品等在捆包狀態下區分管理。另外，通過使用陰模來成型樹脂片，可以維持緩沖體2a、2b的底部和拐角部的厚度并可提高強度，同時可以降低緩沖體2a、2b的底部和拐角部的延伸量，可確保成型前的樹脂片厚度。
接著，參照圖11 圖14來說明本發明第二實施方式的緩沖體2D。圖ll是本發明第二實施方式的緩沖體的立體圖，圖12是本發明第二實施方式的緩沖體
的俯視圖，圖13為圖ii的xni-xm線的剖視圖，圖14是圖12的xiv-xiv線
的剖視圖。在將精密基板收納容器3捆包于包裝箱1時，緩沖體2d配置在精密基板收納容器3的上部和/或下部。在緩沖體2d的說明中，將精密基板收納容器3側為正面側，將其相反側作為背面側。
在緩沖體2d中設置有用于收容精密容器收納容器3的凹部。該凹部是由覆蓋精密基板收納容器3的上面或下面的底部71和從該底部71的外周緣直立而隆起的外周壁72所形成。外周壁72的高度以沿著外周方向交替地重復高低的方式形成。在下文中，將外周壁72的高的部分稱為外周壁凸部72a,將外周壁72的^f氐的部分稱為外周壁凹部72b。在本實施方式中，外周壁凸部72a和外周壁凹部72b分別在各四個地方沿著外周方向交替地i殳置。
在外周壁72的端面上形成有用于吸收沖擊的多個加強凹部(加強部)73。對于該加強凹部73,如圖14所示，形成為其剖面呈圓弧狀(半圓形狀)，且向下方凹陷；以俯視方向來看，形成為直線狀。另外，加強凹部73以圍繞精密基板收納容器3的外周的方式部分地形成。通過在外周壁72端面上形成加強凹部73，當從側方受到沖擊時，外周壁72會伸縮，可以有效地吸收沖擊。
緩沖體2d的底部71具備底座部(抵接部)75和外周底部76,其中，底座部75可與精密基板收納容器3的上面(蓋體32)或下面4氐接，外周底部76形成在底座部75的外周、且相對于精密基板收納容器3形成在離開底座部75的位置上。即，底座部75以從外周底部76向正面側(圖12的上側)凸出的方式形成。另外，底座部75和外周底部76之間，形成有階梯狀的階梯部77。該階梯部77是以圍繞底座部75的外周而形成。階梯部77由多個臺階部77a來構
14成，各臺階部77a設為大致相同高度。
如此，通過以圍繞底座部75的外周來設置階梯部77,在從上下方向受到沖擊時，可以由階梯部77階段性地阻止沖擊并使其緩和。也就是說，在受到沖擊時，可以抑制階梯部77整體一下子垮塌的情況，并且排除具有剛性的外周壁72的影響，可以使底座部75均衡且平穩地變形。因此，可以提高在上下方向(高度方向)的沖擊吸收能力。
在緩沖體2D的底座部75上，形成有向背面側突出的突出部74。突出部74配置在底座部75的中央，/人俯^f見方向來看呈矩形。突出部74具有四個臺階部74s(參照圖13)。各臺階部間的臺階高差優選形成在5-15mm之間。另夕卜，在突出部74的前端部分74p的中央形成有貫通孔78。
通過在突出部74設置多個臺階部74s、 74p，可以使各個臺階部74s 、 74p具有不同的壓曲強度。因此，當從外部受到沖擊時，可以通過突出部74階段性地阻止沖擊并使其減緩。也就是說，在受到沖擊時，可以抑制突出部74整體一下子垮塌的情況，進而，可以防止對精密基板收納容器3施加強大的沖擊的情況。進一步地，可以抑制安裝有用于保持精密基板的保持器31 (參照圖2)的蓋體32—下子變動的情況，所以可以減少碎片。
另外，突出部74前端部分74p的剛性優選為與其它部分相比較極端地弱。另外，突出部74的前端部分74p優選為比外周底部76更向背面側突出。優選在突出部74的前端部分74p的下面與外周部72的下端72c之間設有空隙。通過這種結構，可以提高緩沖能力，同時可以抑制振動的傳遞而實現耐振動性能的提高。
在本實施方式的緩沖體2D也是以底座部75通過階梯部77從外周底部76向正面側突出的方式來形成。由此，在受到上下方向的沖擊時，階梯部77依次绔塌，可以防止以一次沖擊所有多段的階梯部77垮塌，而失去沖擊緩沖力(沖擊吸收力)。從而，由于對精密基板收納容器3施加強大的沖擊的情況消失，對鎖住精密基板收納容器3的開口部的蓋體的沖擊侵_得以減緩。由于可以減緩對保持基板的保持器的振動與沖擊，因此可以防止基板上的碎片的增加。如此，即使是第二實施方式的緩沖體2D也發揮與第一實施方式的緩沖體2A、 2B相同的作用和效果。
接著，參照圖15~圖17來說明本發明第三實施方式的緩沖體2E。圖15是本發明第三實施方式的緩沖體的立體圖，圖16是本發明第三實施方式的緩沖
體的俯視圖，圖n是圖15的xvn-xvn線的剖視圖。在將精密基板收納容器
3捆包到包裝箱1時，緩沖體2E配置在精密基板收納容器3的上部和/或下部。該第三實施方式的緩沖體2E和第一實施方式的上部緩沖體2A的差異點在于形成在外周壁的加強部的結構不同，即，緩沖體2E具備形成有加強凹部83的外周壁82，以取代形成有波紋部23的外周壁22。其它的結構與上部緩沖體2A的結構相同，因此附以相同的符號并省略重復的說明。
外周壁82與外周壁22 —樣，從底部21的外周緣直立而隆起。外周壁82的高度是沿著外周方向交替地重復高低的高度，并且具有作為外周壁82高的部分的外周壁凸部82a和作為外周壁82低的部分的外周壁凹部82b。
外周壁82的端面上形成有用于吸收沖擊的多個加強凹部(加強部)83。該加強凹部83形成為從俯視方向來看，形成為圓形；且剖面呈圓弧狀(半圓形狀)，并下方凹陷。多個加強凹部83沿著外周壁82端面的長度方向，以^見定間隔分離而配置。通過在外周壁82的端面形成加強凹部83,當側方受到沖擊時，外周壁82會伸縮，可以有效地吸收沖擊。即使是如此構成的第三實施方式緩沖體2E也發揮和第一實施方式的緩沖體2A、 2B相同的作用與效果。
以上是基于實施方式來具體說明本發明，但是本發明并不是局限于上述實施方式。在上述實施方式中，包裝體是具備上部緩沖體2A和下部緩沖體2B的結構，但是也可以是具備上部緩沖體2A和下部緩沖體2B中的至少一方的包裝體。例如，也可以是具備上部緩沖體2A,而在精密基板收納容器3的底部側(蓋體的相反側)上，使用在底部具有凹凸形狀的其它緩沖體。
另外，如圖8所示，例如在上部緩沖體2A的背面側上，以提高上部緩沖體2A的強度為目的，也可以裝上加強體51。加強體51呈板狀，且做成與上部緩沖體2A背面側的開口部相對應的大小。另外，該加強體配置成與突出部24、
16外周部26的背面相抵接。
根據本實施方式的包裝體，即使在對上述專利文獻5所公開的精密基板收
納容器進行捆包時，也可以發揮充分的沖擊緩沖力。具體地說，進行上述專利
文獻2 4公開的現有包裝體難以應對的1.5m落下試驗的結果，確認了沒有發生半導體晶圓的破損與脫落、碎片的增加等異常現象。另外，進行振動試驗的結果，確認了半導體晶圓不會旋轉，也不會產生污染。因此，通過使用本實施方式的包裝體，可以安全地運送精密基板收納容器。
另外，上部緩沖體2A可以以嵌套的狀態保管，所以可以減少保管空間，也可以減少再利用時的運送成本。
另外，在上述實施方式的波紋部23中，形成波紋部的各三角形高度形成為相同，但是并不局限于此。例如，如圖9所示，形成波紋部的各三角形狀23a、23b、 23c的高度也可以是從內側向外側逐漸增高。另外，形成波紋部的各三角形狀23a、 23b、 23c的高度也可以是從內側向外側逐漸降低。通過形成這種波紋部23,可以使波紋部23的壓縮強度逐漸變化。因此，在受到沖擊時，能夠以不同高度的波紋部23階段性地阻止沖擊并使其減緩，可以進一步提高緩沖吸收能力。另外，若為這樣的結構，則對捆包運送精密基板收納容器時的振動吸收也有效。
另外，上述實施方式的波紋部23由三個連續的三角形形狀的彎曲片形成，但是并不局限于此，也可以由多個三角形形狀的彎曲片來形成，形狀也不局限在三角形上，也可以是多角形或波浪形。
另外，上述波紋部23以圍繞整個精密基板收納容器的方式來形成，但是也不局限于此，波紋部23只要形成在至少一部分上即可。但是，設置在整圈時更能吸收沖擊。
另外，上述實施方式的突出部24突出在與外周壁22的隆起方向相反側的方向，但是突出部24的突出方向并不局限于此。例如，如圖IO所示，也可以為具備向與外周壁22的隆起方向相同的方向突出的突出部64的上部緩沖體2C。以下，作為另外的實施方式，對上部緩沖體2C進行說明。圖IO是本發明其它實施方式的上部緩沖體的剖視圖。上部緩沖體2C由覆
蓋精密基板收納容器3的上面的底部61和從該底部61的外周緣直立而隆起的外周壁62所形成。外周壁62的高度以沿著外周方向交替地重復高低的方式所形成，將外周壁62的高的部分稱為外周壁凸部62a，將外周壁的低的部分稱為外周壁凹部62b。外周壁凸部62a和外周壁凹部62b沿著外周方向分別在各四個地方交替地設置，在外周壁62的端面(端部)上形成有用于吸收沖擊的波紋部63。
上部緩沖體2C的底部61具備與精密基板收納容器3的上面相對面的對向部65和形成于該對向部65的外周的外周底部66。對向部65相對于精密基板收納容器3形成在離開外周底部66的位置上。即，對向部65是以從外周底部66向背面側凹陷的方式形成。另外，在對向部65和外周底部66之間形成有階梯狀的階梯部67。該階梯部67是以圍繞對向部65外周的方式形成。階梯部67由多個臺階部67a構成，且各臺階部67a設為大致相同的高度。
另夕卜，在上部緩沖體2C的對向部65上，形成有向正面側(接近于精密基板收納容器的方向)突出的多個突出部64。突出部64配設成三行x三列，這些突出部64的高度在30mm~80mm間形成為相同的高度。突出部64具有圓柱狀的四個臺階部64s、 64p，這些臺階部部分的直徑是10mm 80mm，且以越朝向突出部64的前端部分64p，臺階部部分的直徑越小的方式來形成。各臺階部間的臺階高差在5~ 15mm之間形成。因此，該突出部64的前端部分64p相當于本發明的4氐接部。即，突出部64的前端部分64p比外周底部66更向正面側形成，且能夠與精密基板收納容器3的上面抵接。
即使在這樣構成的上部緩沖體2C，與上述的緩沖體2A、 2B相同地，可以提高上下方向的沖擊吸收能力。具體來說，在從外部受到沖擊時，通過突出部64和階梯部67，可以階段性地阻止沖擊并使其減緩。也就是說，在受到沖擊時，可以抑制突出部64和階梯部67—下子垮塌的情況，進而，可以防止對精密基板收納容器3施加強大的沖擊。進一步地，可以抑制安裝有保持精密基板的保持器31的蓋體32 —下子變動的情況，所以可以減少碎片。另外，如圖14所示，在上述第二實施方式的緩沖體2D和第三實施方式的緩沖體2E形成有向外周壁72、 82的內側部(圖示的下側)凹陷的加強凹部73、83，但是加強部不限于此。例如，如圖18所示，加強部也可以是向外周壁72、82的外部側(圖示的上側)突出的加強凸部93。
另外，在上述實施方式中，緩沖體2A 2E是具備階梯部27、 47、 67、 77的結構，但是也可以是不具備階梯部的緩沖體。
本發明可以利用于對用于收納在生產晶體管或二極管等半導體元件、存儲器或LSI等的半導體電路部件、CCD或半導體激光器等的光學電路部件等時所使用的硅、玻璃、化合物、氧化物等的各種晶圓、半導體晶圓、光罩玻璃、薄膜(Pellicle)、液晶玻璃、或者是由鋁和玻璃等構成的硬盤基板或光盤等信息存儲介質等的精密基板的精密基板收納容器進行捆包時所使用的捆包用緩沖體以及具備該緩沖體的包裝體。
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權利要求
1、一種捆包用緩沖體，在將收納精密基板的精密基板收納容器捆包到包裝體時，配置在所述精密基板收納容器的上部和/或下部，其特征在于，所述捆包用緩沖體包括在進行所述捆包時，覆蓋所述精密基板收納容器的上面或下面的底部，從所述底部的外周緣直立而隆起的外周壁，和形成在所述外周壁上的加強部；所述底部包括能夠與所述精密基板收納容器的上面或下面相抵接的抵接部，和形成于所述抵接部的外周，且相對于所述精密基板收納容器形成在離開所述抵接部的位置上的外周底部；在所述抵接部和所述外周底部之間形成有階梯部。
2、 根據權利要求1所述的捆包用緩沖體.，其特征在于，所述加強部為波紋部。
3、 根據權利要求1所述的捆包用緩沖體，其特征在于，所述加強部的剖面 形狀為圓弧狀的凹部或凸部。
4、 根據權利要求1~3中任意一項所述的捆包用緩沖體，其特征在于，所述 抵接部為從所述外周底部向著所述精密基板收納容器凸出的底座部。
5、 根據權利要求4所述的捆包用緩沖體，其特征在于，在所述底座部上形 成有突出部，所述突出部向與所述精密基板收納容器分離的方向突出，并且隨 著與所述精密基^1收納容器分離，直徑階梯狀地縮小。
6、 根據權利要求1 3中任意一項所述的捆包用緩沖體，其特征在于， 所述底部包括與所述精密基板收納容器的上面或下面相對面的對向部，和 從所述對向部向接近所述精密基板收納容器的方向突出，并且隨著接近所 述精密基板收納容器，直徑階梯狀地縮小的突出部；所述抵接部由所述突出部形成。
7、 根據權利要求1~6中任意一項所述的捆包用緩沖體，其特征在于，從俯 ^L方向來看，在所述階梯部形成有向內側凹陷的圓弧狀的凹部、或向外側突出 的圓弧狀的凸部。
8、 一種捆包用緩沖體，在將收納精密基板的精密基板收納容器捆包到包裝 體時，配置在所述精密基板收納容器的上部和/或下部，其特征在于，所述捆包用緩沖體包括在進行所述捆包時，覆蓋所述精密基板收納容器的上面或下面的底部， 從所述底部的外周緣直立而隆起的外周壁，和 形成在所述外周壁上的加強部；所述底部包括能夠與所述精密基板收納容器的上面或下面抵接的抵接部； 所述抵接部具有向與所述精密基板收納容器分離或接近的方向突出的突出部。
9、 根據權利要求8所述的捆包用緩沖體，其特征在于，所述突出部的直徑 向前端側階梯狀地縮'J 、。
10、 一種包裝體，其特征在于，具備權利要求1~9中任意一項所述的捆包 用緩沖體。
全文摘要
本發明提供一種可以有效地吸收落下時的沖擊的捆包用緩沖體和包裝體。在捆包時與精密基板收納容器(3)抵接的抵接部(25)以及從具有該抵接部(25)的底部(21)的外周緣直立而隆起的外周壁(22)之間，在相對于精密基板收納容器(3)離開抵接部(25)的位置上形成外周底部(26)，在該外周底部(26)和抵接部(25)之間形成階梯部(27)。由此，在受到沖擊時，階梯部(27)垮塌，抵接部(25)相對于外周底部(26)適當地移動，可以有效地吸收沖擊。因此，可以防止大的沖擊瞬間性地施加到精密基板收納容器(3)的情況，可以有效地緩沖落下沖擊。
文檔編號B65D81/113GK101583545SQ20078005015
公開日2009年11月18日 申請日期2007年7月6日 優先權日2007年2月6日
發明者矢島敏嗣, 鐮田俊行 申請人:信越聚合物株式會社