一種真空鍍膜設備用絕緣聯軸器結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空鍍膜設備用絕緣聯軸器結構，包括本體，所述本體頂部設有靶座連接凸臺，本體底部設有用于連接水冷轉軸安裝盤的安裝凹槽，所述安裝凹槽側壁設有卡口，所述本體和凸臺設有貫通的通孔。本實用新型與現有技術相比的優點是：本實用新型絕緣聯軸器結構，工作性能穩定，合理解決了設備維修周期過短的問題，大幅度提高了鍍膜生產效率及鍍膜質量。
【專利說明】
一種真空鍍膜設備用絕緣聯軸器結構
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種真空鍍膜設備用絕緣聯軸器結構，屬于機械領域。
【背景技術】
[0002]絕緣聯軸器主要負責真空鍍膜設備中靶材旋轉的動力傳動、冷卻水的傳遞以及陰極和其他部件的絕緣。絕緣聯軸器在設備整個真空鍍膜的過程中，對設備的穩定性和產品的質量起了非常關鍵的作用。
[0003]傳統的絕緣聯軸器在功能上滿足了動力傳動，冷卻水的傳遞以及陰極和其它部件的絕緣。但隨著長時間電弧放電真空鍍膜，真空腔體內的剝落小碎片逐漸掉落，導致絕緣聯軸器兩端產生部分短路或完全短路。然而，陰極和其它部件部分或完全短路，導致設備無法正常工作。如果沒有及時發現，一方面所有鍍膜產品報廢，另一方面，靶座、絕緣聯軸器和水冷轉軸會被燒毀，導致嚴重設備故障。為此，設備需要頻繁停機檢查及清理清潔，不適宜長時間連續的工業生產。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型是為了解決上述不足，提供了一種真空鍍膜設備用絕緣聯軸器結構。
[0005]本實用新型的上述目的通過以下的技術方案來實現:一種真空鍍膜設備用絕緣聯軸器結構，其特征在于:包括本體，所述本體頂部設有靶座連接凸臺，本體底部設有用于連接水冷轉軸安裝盤的安裝凹槽，所述安裝凹槽側壁設有卡口，所述本體和凸臺設有貫通的通孔。
[0006]本實用新型的設計及工作原理:本實用新型采用高強度絕緣材料制成新型絕緣聯軸器，將其與不銹鋼水冷轉軸連接處，增加一定深度的空腔，裝配時絕緣的聯軸器將不銹鋼水冷轉軸安裝盤徹底蓋住。從而在長時間真空鍍膜時，保證真空腔體內的剝落小碎片掉落到靶材轉軸與陰極的縫隙間時，不會導致短路發生，大幅延長了鍍膜設備的維修周期，顯著降低了設備的故障率。
[0007]本實用新型與現有技術相比的優點是:本實用新型絕緣聯軸器結構，工作性能穩定，合理解決了設備維修周期過短的問題，大幅度提高了鍍膜生產效率及鍍膜質量。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0009]圖2是本實用新型與水冷轉軸的連接結構示意圖。
[0010]圖3是本實用新型安裝在真空鍍膜設備的內部結構示意圖。
[0011 ]圖4是本實用新型安裝在真空鍍膜設備的外部立體結構示意圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖對本實用新型進一步詳述。
[0013]如圖1、圖2所示，一種真空鍍膜設備用絕緣聯軸器結構，包括本體I，所述本體I頂部設有靶座連接凸臺2，本體I底部設有用于連接水冷轉軸安裝盤9的安裝凹槽3，所述安裝凹槽3側壁設有卡口 4，所述本體I和凸臺2設有貫通的通孔5。
[0014]如圖3、圖4所示，裝配時，本實用新型的絕緣聯軸器頂部與靶座6連接，靶座連接靶材7，本實用新型的絕緣聯軸器底部連接水冷轉軸8，水冷轉軸8插入通孔5中，且水冷轉軸8上的安裝盤9恰好嵌入本實用新型絕緣聯軸器底部的安裝凹槽3中，同時，水冷轉軸8上設有真空貫穿件10和同步帶輪11，水冷轉軸8末端連接旋轉式供水裝置12。
[0015]本實用新型的設計及工作原理:本實用新型采用高強度絕緣材料制成新型絕緣聯軸器，將其與不銹鋼水冷轉軸連接處，增加一定深度的空腔，裝配時絕緣的聯軸器將不銹鋼水冷轉軸安裝盤徹底蓋住。從而在長時間真空鍍膜時，保證真空腔體內的剝落小碎片掉落到靶材轉軸與陰極的縫隙間時，不會導致短路發生，大幅延長了鍍膜設備的維修周期，顯著降低了設備的故障率。
[0016]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種真空鍍膜設備用絕緣聯軸器結構，其特征在于:包括本體，所述本體頂部設有靶座連接凸臺，本體底部設有用于連接水冷轉軸安裝盤的安裝凹槽，所述安裝凹槽側壁設有卡口，所述本體和凸臺設有貫通的通孔。
【文檔編號】C23C14/24GK205501399SQ201521114328
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2015年12月29日
【發明人】黃裕祥
【申請人】廣東耐信鍍膜科技有限公司