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一種用于掩膜電解加工的恒力機構的制作方法

文檔(dang)序號:9958997閱(yue)讀:244來源:國知局
一種用于掩膜電解加工的恒力機構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種用于電解加工的恒力機構,特別是一種用于極間多孔物掩膜電解加工的恒力機構,屬于電解加工設備領域。
【背景技術】
[0002]—般的掩膜電解加工是在工件陽極表面涂覆一層光刻膠制備粘結性掩膜,工件陽極與粘結性掩膜是緊密粘結在一起,電解加工時不存在掩膜的滑動與走位,但該方法加工工藝復雜、時間長、成本較高。文獻“ Hao Q L, Ming P M.Fabricat1n of Micro-DimpleArrays Using Modified Through-Mask Electrochemical Micromachining[C]//AppliedMechanics and Materials,2015, 703: 146-149.”提出了一種極間柔性多孔介質掩膜電解加工的方法。該方法采用的是可重復使用的活動掩膜,為達到加工要求,需要施加一個使工件陽極和活動掩膜相互貼合的力。這是因為,在加工時如果活動掩膜與工件陽極貼合的不夠緊,電解液的流動會導致掩膜的滑動與走位,并且電解液可能會沿著掩膜與工件陽極貼合面的夾縫區域流進工件陽極的非加工區域,從而導致加工的形狀變形以及加工質量的下降。公開號為201510205346.X的發明專利公布了一種用于極間多孔介質填充型掩膜電解加工的引液裝置,為保持電解液的順利排除必須保持頂蓋、密封墊、陰極、多孔介質和掩膜自上而下依次緊密貼合于工件陽極之上。為此,本專利開發了一種能夠使工件陽極、掩膜和陰極依次緊密結合的施力機構,用以抵抗電解液對陰極的反向沖擊力,此機構所產生的力為恒力。

【發明內容】

[0003]為滿足上述要求,本實用新型提出了一種能夠使工件陽極和掩膜機緊密結合并且結構簡單、操作方便的用于掩膜電解加工的恒力機構。
[0004]本實用新型采用的技術方案是:一種用于掩膜電解加工的恒力機構,其特征在于:包括支撐板(I)、放置于支撐板(I)上的立柱(2 )和電解主體裝置(8 )、圓柱尖頭頂針(7 )、與支撐板(I)上立桿(2)和圓柱尖頭頂針(7)以連接銷一(3-1)和連接銷二(3-2)活動鉸接的施力橫桿(4)、移動環(5)、圓柱重物塊(6);所述的移動環(5)滑動套接在水平放置的施力橫桿(4)上;所述的圓柱重物塊(6)可拆懸掛在移動環(5)的下端;所述的圓柱尖頭頂針
(7)的下端壓在電解主體裝置(8)的上端表面上。
[0005]所述的一種用于掩膜電解加工的恒力機構,其特征在于:所述的施力橫桿(4)側表面上刻有刻度。
[0006]所述的一種用于掩膜電解加工的恒力機構,其特征在于:所述的立桿(2)從下端面到上端連接銷一(3-1)中心的距離與電解主體裝置(8)的下端面到連接銷二(3-2)中心的距離相等。
[0007]本實用新型所能實現的有益效果是:能夠方便的為電解主體裝置(8)提供一個恒定的力并且機構夠簡單、操作方便。
【附圖說明】
[0008]圖1是一種用于掩膜電解加工的恒力機構裝置圖。
[0009]圖中:1、支撐板2、立柱3-1、連接銷一 4、施力橫桿5、移動環6、圓柱重物塊3-2、連接銷二 7、圓柱尖頭頂針8、電解主體裝置。
【具體實施方式】
[0010]下面結合圖1對本實用新型進行進一步的說明。
[0011]本實用新型包括支撐板1、立柱2、連接銷一 3-1、施力橫桿4、移動環5、圓柱重物塊
6、連接銷二 3-2、圓柱尖頭頂針7、電解主體裝置8。電解主體裝置8放置于支撐板I上;施力橫桿4 一端與支撐板I上立柱2通過連接銷一 3-1活動鉸接在一起,一端與圓柱尖頭頂針7通過連接銷二 3-2活動鉸接在一起;移動環5滑動套接在施力橫桿4上;圓柱重物塊6可拆懸掛在移動環5的下端;圓柱尖頭頂針7的下端壓在電解主體裝置8上端表面上。
[0012]如圖1所示,當滑動移動環5 —并帶起圓柱重物塊6到施力橫桿4上的某一位置時,在圓柱重物塊6的重力作用下對施力橫桿4產生一個向下的力,力通過施力橫桿4傳遞給圓柱尖頭頂針7,進而給電解主體裝置8施加一個向下的恒力;本裝置還可以通過滑動移動環5或者增加圓柱重物塊,都可以改變圓柱尖頭頂針8對電解主體裝置力的大小。
【主權項】
1.一種用于掩膜電解加工的恒力機構,其特征在于:包括支撐板(I)、放置于支撐板(1)上的立柱(2)和電解主體裝置(8)、圓柱尖頭頂針(7)、與支撐板(I)上立桿(2)和圓柱尖頭頂針(7 )以連接銷一(3-1)和連接銷二( 3-2 )活動鉸接的施力橫桿(4)、移動環(5 )、圓柱重物塊(6);所述的移動環(5)滑動套接在水平放置的施力橫桿(4)上;所述的圓柱重物塊(6)可拆懸掛在移動環(5)的下端;所述的圓柱尖頭頂針(7)的下端壓在電解主體裝置(8)上端表面上。2.根據權利要求1所述的一種用于掩膜電解加工的恒力機構,其特征是:所述的施力橫桿(4)側面刻有刻度。3.根據權利要求1所述的一種用于掩膜電解加工的恒力機構,其特征是:所述的立桿(2)從下端面到上端連接銷一(3-1)中心的距離與電解主體裝置(8)的下端面到連接銷二(3-2)中心的距離相等。
【專利摘要】本實用新型專利公開了一種用于掩膜電解加工的恒力機構,它是由支撐板、立桿、連接銷、施力橫桿、移動環、圓柱重物塊、圓柱尖頭頂針和電解主體裝置組成。此裝置通過調節掛有圓柱重物塊的移動環在施力橫桿上的位置,利用杠桿原理,經過施力橫桿使圓柱尖頭頂針對電解主體裝置施加一個恒力,從而能夠很好的增加極間流場和電場強度的穩定性。這種恒力機構操作方便、結構簡單。
【IPC分類】B23H3/00
【公開號】CN204867692
【申請號】CN201520344860
【發明人】周紅梅, 周維海, 明平美, 陳競濤, 張曉東, 畢向陽, 白云龍
【申請人】河南理工大學
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年5月26日
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