本(ben)發明涉及直寫式曝光系(xi)統，尤其是涉及一(yi)種光學擴展(zhan)模組和具有其的光學系(xi)統。

背景技術：

1、相(xiang)關技術(shu)中(zhong)的(de)光學擴展模組，通(tong)常僅(jin)僅(jin)支持單種(zhong)倍(bei)率(lv)透鏡(jing)的(de)使(shi)用，按(an)照所需透鏡(jing)倍(bei)率(lv)和設(she)備指標(biao)，通(tong)常只(zhi)能(neng)在某一種(zhong)制程的(de)產(chan)品(pin)使(shi)用，滿足高階(jie)設(she)備的(de)解析(xi)，就(jiu)(jiu)無(wu)法滿足中(zhong)低(di)階(jie)設(she)備的(de)產(chan)能(neng)；或者滿足中(zhong)低(di)階(jie)的(de)產(chan)能(neng)，就(jiu)(jiu)無(wu)法兼顧高階(jie)產(chan)品(pin)的(de)解析(xi)力。

2、但是，高中(zhong)低階曝光(guang)設備同時購(gou)買，這樣會增(zeng)加了客(ke)戶(hu)總(zong)擁有成本，也大(da)大(da)降低了利潤；如果僅(jin)僅(jin)購(gou)買高解(jie)析(xi)設備，雖然可以滿足中(zhong)低階產品的解(jie)析(xi)能力，但無法獲得(de)中(zhong)低階曝光(guang)設備的產能，

技術實現思路

1、本(ben)發明(ming)旨在(zai)至少(shao)解(jie)決現(xian)有(you)技(ji)術中存在(zai)的(de)技(ji)術問題之一。為此，本(ben)發明(ming)的(de)一個(ge)目的(de)在(zai)于(yu)提出一種光學擴(kuo)展(zhan)模(mo)組，該(gai)光學擴(kuo)展(zhan)模(mo)組同一模(mo)組具有(you)不同的(de)倍率成像系統，提高了產品的(de)兼容性(xing)等(deng)優點。

2、本發明還提出了一種具有光學擴展模組的(de)光學系統。

3、為(wei)實現上(shang)述(shu)(shu)(shu)目的(de)(de)(de)，根據本發明實施例(li)提出了一(yi)(yi)(yi)種(zhong)光(guang)(guang)(guang)學擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)模組，包括：空(kong)間光(guang)(guang)(guang)調(diao)制(zhi)器(qi)(qi)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)空(kong)間光(guang)(guang)(guang)調(diao)制(zhi)器(qi)(qi)構造有主(zhu)(zhu)成像(xiang)(xiang)鏡(jing)頭(tou)；擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)組，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)組設置(zhi)(zhi)(zhi)于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)主(zhu)(zhu)成像(xiang)(xiang)鏡(jing)頭(tou)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)側(ce)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)組通過所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)主(zhu)(zhu)成像(xiang)(xiang)鏡(jing)頭(tou)、所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)組以形成多(duo)個(ge)(ge)展(zhan)(zhan)開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)路(lu)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)展(zhan)(zhan)開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)路(lu)包括多(duo)個(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)展(zhan)(zhan)開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)路(lu)和多(duo)個(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)二(er)展(zhan)(zhan)開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)路(lu)；多(duo)個(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)展(zhan)(zhan)開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)路(lu)一(yi)(yi)(yi)一(yi)(yi)(yi)對應設置(zhi)(zhi)(zhi)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)設置(zhi)(zhi)(zhi)于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)組的(de)(de)(de)遠離所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)空(kong)間光(guang)(guang)(guang)調(diao)制(zhi)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)側(ce)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)展(zhan)(zhan)開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)路(lu)適于在第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)曝光(guang)(guang)(guang)基(ji)底成像(xiang)(xiang)；多(duo)個(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)二(er)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)的(de)(de)(de)成像(xiang)(xiang)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)大于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)的(de)(de)(de)成像(xiang)(xiang)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)展(zhan)(zhan)開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)路(lu)一(yi)(yi)(yi)一(yi)(yi)(yi)對應設置(zhi)(zhi)(zhi)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)倍(bei)(bei)率(lv)(lv)(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)設置(zhi)(zhi)(zhi)于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)組的(de)(de)(de)遠離所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)光(guang)(guang)(guang)制(zhi)調(diao)制(zhi)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)側(ce)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)二(er)展(zhan)(zhan)開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)路(lu)適于在第(di)(di)(di)(di)二(er)曝光(guang)(guang)(guang)基(ji)底成像(xiang)(xiang)。

4、根據(ju)本發明實施例的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)擴(kuo)(kuo)展模組(zu)(zu)，通過(guo)空(kong)(kong)間(jian)(jian)光(guang)(guang)(guang)(guang)調制器發射(she)出(chu)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)被擴(kuo)(kuo)展鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)有效(xiao)利(li)用形(xing)成(cheng)多(duo)(duo)(duo)個(ge)展開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)(guang)路，意味著同時產(chan)(chan)生多(duo)(duo)(duo)束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)線進(jin)(jin)行(xing)(xing)利(li)用，提高(gao)了(le)(le)光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)處(chu)理的(de)(de)(de)(de)效(xiao)果，相比于單束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)處(chu)理，多(duo)(duo)(duo)束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)并(bing)行(xing)(xing)處(chu)理顯(xian)(xian)(xian)著提升(sheng)了(le)(le)單位時間(jian)(jian)內可(ke)以(yi)處(chu)理的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)信(xin)息量(liang)，從而提高(gao)了(le)(le)線路的(de)(de)(de)(de)曝光(guang)(guang)(guang)(guang)效(xiao)率(lv)。拓展鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)通過(guo)主成(cheng)像(xiang)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)頭形(xing)成(cheng)多(duo)(duo)(duo)束(shu)展開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)，而光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)拓展模組(zu)(zu)集成(cheng)多(duo)(duo)(duo)個(ge)第(di)一倍(bei)(bei)(bei)率(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)和第(di)二倍(bei)(bei)(bei)率(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)，多(duo)(duo)(duo)束(shu)展開(kai)(kai)光(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)分(fen)別對應(ying)(ying)第(di)一倍(bei)(bei)(bei)率(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)和第(di)二倍(bei)(bei)(bei)率(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)，在(zai)(zai)同一個(ge)光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)拓展模組(zu)(zu)中，用戶可(ke)以(yi)根據(ju)不同的(de)(de)(de)(de)應(ying)(ying)用需求可(ke)以(yi)選擇第(di)二倍(bei)(bei)(bei)率(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)和第(di)一倍(bei)(bei)(bei)率(lv)透(tou)(tou)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)使(shi)用，當量(liang)產(chan)(chan)料號需要使(shi)用低倍(bei)(bei)(bei)率(lv)進(jin)(jin)行(xing)(xing)解析(xi)(xi)，則光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)數據(ju)自動(dong)顯(xian)(xian)(xian)示(shi)在(zai)(zai)空(kong)(kong)間(jian)(jian)光(guang)(guang)(guang)(guang)調制器進(jin)(jin)行(xing)(xing)顯(xian)(xian)(xian)示(shi)，通過(guo)對應(ying)(ying)的(de)(de)(de)(de)擴(kuo)(kuo)展鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)進(jin)(jin)行(xing)(xing)投影(ying)曝光(guang)(guang)(guang)(guang)。當量(liang)產(chan)(chan)料號需要使(shi)用高(gao)倍(bei)(bei)(bei)率(lv)進(jin)(jin)行(xing)(xing)解析(xi)(xi)，則光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)數據(ju)自動(dong)顯(xian)(xian)(xian)示(shi)在(zai)(zai)空(kong)(kong)間(jian)(jian)光(guang)(guang)(guang)(guang)調制器進(jin)(jin)行(xing)(xing)顯(xian)(xian)(xian)示(shi)，通過(guo)對應(ying)(ying)的(de)(de)(de)(de)擴(kuo)(kuo)展鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)進(jin)(jin)行(xing)(xing)投影(ying)曝光(guang)(guang)(guang)(guang)，這樣既滿足(zu)(zu)中低階(jie)產(chan)(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)(de)(de)產(chan)(chan)能，又(you)能滿足(zu)(zu)高(gao)階(jie)產(chan)(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)(de)(de)解析(xi)(xi)力，提高(gao)了(le)(le)光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)拓展模組(zu)(zu)的(de)(de)(de)(de)兼(jian)容性(xing)。

5、其中，可(ke)以將空間光調制器(qi)面(mian)劃分(fen)(fen)為m部(bu)分(fen)(fen)，每部(bu)分(fen)(fen)可(ke)單獨控(kong)制，其中m取值為大于1的(de)自然(ran)數，根(gen)據(ju)劃分(fen)(fen)的(de)m部(bu)分(fen)(fen)，每部(bu)分(fen)(fen)由擴(kuo)展鏡組進(jin)行成像，而多個(ge)第一倍(bei)率(lv)(lv)透鏡和(he)多個(ge)第二倍(bei)率(lv)(lv)透鏡的(de)放大倍(bei)率(lv)(lv)不(bu)同(tong)(tong)，可(ke)以同(tong)(tong)時適合高解析力產(chan)品和(he)低(di)解析能力產(chan)品，根(gen)據(ju)設定的(de)m，將相同(tong)(tong)倍(bei)率(lv)(lv)的(de)成像系統(tong)投影到同(tong)(tong)一個(ge)曝光面(mian)上，不(bu)同(tong)(tong)倍(bei)率(lv)(lv)可(ke)在(zai)不(bu)同(tong)(tong)曝光面(mian)上，亦(yi)可(ke)在(zai)同(tong)(tong)一曝光面(mian)上。

6、因此，根(gen)據(ju)本(ben)發明實施例的光學擴展模(mo)組(zu)，同一模(mo)組(zu)具(ju)有不(bu)同的倍率(lv)成像系統，提(ti)高了產品(pin)的兼容性等優點。

7、根據本發明(ming)的(de)(de)一(yi)些具(ju)體(ti)實施例(li)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)具(ju)有反射鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)和/或(huo)棱鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)，且包括：第(di)(di)(di)一(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)內(nei)形(xing)成多(duo)個(ge)第(di)(di)(di)一(yi)光路；第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)內(nei)形(xing)成多(duo)個(ge)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)光路；其中，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)、所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)元組(zu)(zu)(zu)的(de)(de)進光區(qu)(qu)域(yu)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)空間光調(diao)制器的(de)(de)位置對(dui)應，每個(ge)所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)的(de)(de)出光區(qu)(qu)域(yu)彼此間隔且分別對(dui)應一(yi)個(ge)所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)倍(bei)率透鏡(jing)(jing)(jing)，每個(ge)所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)元組(zu)(zu)(zu)的(de)(de)出光區(qu)(qu)域(yu)彼此間隔且分別對(dui)應一(yi)個(ge)所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)倍(bei)率透鏡(jing)(jing)(jing)。

8、根據本發明的(de)一(yi)(yi)些具(ju)體實施例，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡組包(bao)(bao)括：第(di)(di)(di)一(yi)(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)和(he)第(di)(di)(di)二(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)；所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)鏡組包(bao)(bao)括：第(di)(di)(di)三(san)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)和(he)第(di)(di)(di)四(si)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)；其中，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)、所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)、所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)三(san)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)和(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)四(si)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)的(de)進(jin)光區(qu)域(yu)并(bing)排(pai)排(pai)列成多(duo)行且與所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)主成像鏡頭(tou)對(dui)應；所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)、所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)、所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)三(san)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)和(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)四(si)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)(dan)(dan)(dan)元(yuan)的(de)出光區(qu)域(yu)展(zhan)(zhan)(zhan)開成多(duo)列，多(duo)個所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一(yi)(yi)倍(bei)率(lv)透(tou)鏡以及多(duo)個所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)倍(bei)率(lv)透(tou)鏡均排(pai)列于不(bu)(bu)同(tong)行和(he)不(bu)(bu)同(tong)列。

9、根據(ju)本發(fa)明的一(yi)些具體(ti)實施例，所述(shu)第(di)(di)一(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)元(yuan)、所述(shu)第(di)(di)二擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)元(yuan)和所述(shu)第(di)(di)三(san)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)元(yuan)的進光區域處于同一(yi)平面內(nei)；所述(shu)第(di)(di)一(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)元(yuan)、所述(shu)第(di)(di)二擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)元(yuan)和所述(shu)第(di)(di)三(san)擴(kuo)展(zhan)(zhan)(zhan)單(dan)元(yuan)的出光區域處于同一(yi)平面內(nei)。

10、根據本發明的一(yi)些(xie)具體(ti)實(shi)施(shi)例，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)擴(kuo)展(zhan)(zhan)單(dan)(dan)元(yuan)(yuan)包(bao)括：第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)反(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)和(he)(he)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)棱(leng)(leng)(leng)鏡(jing)(jing)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)棱(leng)(leng)(leng)鏡(jing)(jing)連接(jie)所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)反(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)且內(nei)(nei)部(bu)(bu)(bu)形成第(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)光(guang)路(lu)；所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)單(dan)(dan)元(yuan)(yuan)包(bao)括：第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)反(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)和(he)(he)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)棱(leng)(leng)(leng)鏡(jing)(jing)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)棱(leng)(leng)(leng)鏡(jing)(jing)連接(jie)所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)反(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)且內(nei)(nei)部(bu)(bu)(bu)形成第(di)(di)(di)(di)(di)二(er)光(guang)路(lu)；所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)三(san)擴(kuo)展(zhan)(zhan)單(dan)(dan)元(yuan)(yuan)包(bao)括：第(di)(di)(di)(di)(di)三(san)反(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)和(he)(he)第(di)(di)(di)(di)(di)三(san)棱(leng)(leng)(leng)鏡(jing)(jing)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)三(san)棱(leng)(leng)(leng)鏡(jing)(jing)連接(jie)所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)三(san)反(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)且內(nei)(nei)部(bu)(bu)(bu)形成第(di)(di)(di)(di)(di)三(san)光(guang)路(lu)；所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)四(si)擴(kuo)展(zhan)(zhan)單(dan)(dan)元(yuan)(yuan)包(bao)括：第(di)(di)(di)(di)(di)四(si)反(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)和(he)(he)第(di)(di)(di)(di)(di)四(si)棱(leng)(leng)(leng)鏡(jing)(jing)，所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)四(si)棱(leng)(leng)(leng)鏡(jing)(jing)連接(jie)所(suo)述(shu)(shu)第(di)(di)(di)(di)(di)四(si)反(fan)射(she)(she)(she)(she)鏡(jing)(jing)組(zu)(zu)(zu)且內(nei)(nei)部(bu)(bu)(bu)形成第(di)(di)(di)(di)(di)四(si)光(guang)路(lu)。

11、根據本發明的(de)一些具體實施例，所(suo)述(shu)(shu)第一棱(leng)鏡(jing)(jing)(jing)和所(suo)述(shu)(shu)第二(er)棱(leng)鏡(jing)(jing)(jing)的(de)進(jin)光區(qu)(qu)(qu)域(yu)彼此(ci)間隔排列，所(suo)述(shu)(shu)第三棱(leng)鏡(jing)(jing)(jing)的(de)進(jin)光區(qu)(qu)(qu)域(yu)位于所(suo)述(shu)(shu)第一棱(leng)鏡(jing)(jing)(jing)和所(suo)述(shu)(shu)第二(er)棱(leng)鏡(jing)(jing)(jing)之間，所(suo)述(shu)(shu)第四(si)棱(leng)鏡(jing)(jing)(jing)的(de)進(jin)光區(qu)(qu)(qu)域(yu)位于所(suo)述(shu)(shu)第三棱(leng)鏡(jing)(jing)(jing)的(de)遠離所(suo)述(shu)(shu)第二(er)棱(leng)鏡(jing)(jing)(jing)的(de)一側。

12、根據本發明(ming)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)些具(ju)體實施例，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)包(bao)(bao)括兩(liang)個(ge)平行設(she)(she)置(zhi)的(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)，兩(liang)個(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)位于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)厚度方(fang)向(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)側；所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)包(bao)(bao)括兩(liang)個(ge)平行設(she)(she)置(zhi)的(de)(de)(de)第(di)(di)二(er)(er)(er)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)，兩(liang)個(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)位于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)厚度方(fang)向(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)另(ling)一(yi)(yi)(yi)(yi)側；所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)三(san)(san)(san)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)包(bao)(bao)括兩(liang)個(ge)平行設(she)(she)置(zhi)的(de)(de)(de)第(di)(di)三(san)(san)(san)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)，其中一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)三(san)(san)(san)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)的(de)(de)(de)厚度方(fang)向(xiang)(xiang)上(shang)位于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)和(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)之(zhi)間，另(ling)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)三(san)(san)(san)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)的(de)(de)(de)厚度方(fang)向(xiang)(xiang)上(shang)位于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)的(de)(de)(de)外(wai)側；所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)四(si)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)包(bao)(bao)括兩(liang)個(ge)平行設(she)(she)置(zhi)的(de)(de)(de)第(di)(di)四(si)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)，兩(liang)個(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)四(si)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)的(de)(de)(de)厚度方(fang)向(xiang)(xiang)上(shang)排(pai)列(lie)且位于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)的(de)(de)(de)外(wai)側；其中，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)、所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)(er)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)和(he)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)三(san)(san)(san)反(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)的(de)(de)(de)出光(guang)區域(yu)在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)擴(kuo)(kuo)展(zhan)(zhan)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)組(zu)(zu)的(de)(de)(de)厚度方(fang)向(xiang)(xiang)錯開排(pai)列(lie)。

13、根(gen)據本發明的(de)一些具體(ti)實施例，第(di)一擴(kuo)(kuo)(kuo)展單(dan)(dan)(dan)元(yuan)和第(di)二擴(kuo)(kuo)(kuo)展單(dan)(dan)(dan)元(yuan)、第(di)三擴(kuo)(kuo)(kuo)展單(dan)(dan)(dan)元(yuan)和第(di)四(si)擴(kuo)(kuo)(kuo)展單(dan)(dan)(dan)元(yuan)的(de)進(jin)光區域均構(gou)造成(cheng)矩(ju)形且并(bing)排排列(lie)；所述(shu)第(di)一擴(kuo)(kuo)(kuo)展單(dan)(dan)(dan)元(yuan)和第(di)二擴(kuo)(kuo)(kuo)展單(dan)(dan)(dan)元(yuan)、第(di)三擴(kuo)(kuo)(kuo)展單(dan)(dan)(dan)元(yuan)和第(di)四(si)擴(kuo)(kuo)(kuo)展單(dan)(dan)(dan)元(yuan)的(de)出(chu)光區域均構(gou)造成(cheng)矩(ju)形且沿平行(xing)四(si)邊形排列(lie)。

14、根據本發明第二(er)方(fang)面的實(shi)施例(li)(li)提出了(le)一種光(guang)(guang)(guang)學(xue)系統，包括根據本發明上(shang)述(shu)實(shi)施例(li)(li)的光(guang)(guang)(guang)學(xue)擴展模組，多個(ge)所述(shu)光(guang)(guang)(guang)學(xue)擴展模組陣(zhen)列排布。

15、根(gen)據(ju)本發明實施例的光學系統，通過利(li)用根(gen)據(ju)本發明實施例的光學擴展(zhan)模(mo)組(zu)(zu)，同(tong)一(yi)模(mo)組(zu)(zu)具有不(bu)同(tong)的倍率成像(xiang)系統，提高了產品的兼容性等優點。

16、根(gen)據(ju)本發明的(de)(de)一些具體(ti)實施(shi)例，多個所述擴展(zhan)鏡組(zu)的(de)(de)出光(guang)(guang)區域均在其(qi)(qi)厚度方向(xiang)錯(cuo)開排列(lie)(lie)成多行；不同(tong)的(de)(de)所述光(guang)(guang)學擴展(zhan)模組(zu)的(de)(de)擴展(zhan)鏡組(zu)的(de)(de)出光(guang)(guang)區域沿其(qi)(qi)所在的(de)(de)行陣列(lie)(lie)排布。

17、本(ben)發(fa)明(ming)的附(fu)加方面和優點將在(zai)下面的描述中(zhong)部分(fen)給出，部分(fen)將從下面的描述中(zhong)變得明(ming)顯，或通過本(ben)發(fa)明(ming)的實(shi)踐(jian)了解到。

技術特征：

1.一種光學擴展(zhan)模組，其特征在于(yu)，包括：

2.根據權利(li)要求1所述的(de)光學擴展模組，其特征在于，所述擴展鏡組具(ju)有(you)反射鏡組和(he)/或棱鏡組，且包括(kuo)：

3.根據(ju)權利(li)要求(qiu)2所述的光學(xue)擴(kuo)展模組(zu)，其(qi)特征在于，

4.根(gen)據(ju)權利要求3所述的(de)光(guang)學擴展(zhan)(zhan)模組，其(qi)特征在于(yu)，所述第(di)一擴展(zhan)(zhan)單元(yuan)、所述第(di)二擴展(zhan)(zhan)單元(yuan)和所述第(di)三擴展(zhan)(zhan)單元(yuan)、所述第(di)四擴展(zhan)(zhan)單元(yuan)的(de)進光(guang)區域處于(yu)同一平面(mian)內；

5.根(gen)據權利要(yao)求(qiu)3所述的光學(xue)擴展模組，其特征在于(yu)，

6.根據(ju)權(quan)利(li)要求5所(suo)(suo)述(shu)(shu)的(de)光學擴展模組，其特(te)征在于，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)棱鏡(jing)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)二棱鏡(jing)的(de)進(jin)光區(qu)域(yu)(yu)彼此間隔排列，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)三棱鏡(jing)的(de)進(jin)光區(qu)域(yu)(yu)位于所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)棱鏡(jing)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)二棱鏡(jing)之(zhi)間，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)四棱鏡(jing)的(de)進(jin)光區(qu)域(yu)(yu)位于所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)三棱鏡(jing)的(de)遠離所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)二棱鏡(jing)的(de)一(yi)側。

7.根(gen)據權利要(yao)求(qiu)6所述的光學擴展(zhan)模組，其特征在于(yu)，

8.根(gen)據權利要求2所(suo)(suo)述(shu)的光學(xue)擴(kuo)展(zhan)(zhan)模(mo)組，其特征(zheng)在于，所(suo)(suo)述(shu)第一擴(kuo)展(zhan)(zhan)單元和所(suo)(suo)述(shu)第二(er)擴(kuo)展(zhan)(zhan)單元、所(suo)(suo)述(shu)第三擴(kuo)展(zhan)(zhan)單元和所(suo)(suo)述(shu)第四擴(kuo)展(zhan)(zhan)單元的進光區域均構造成(cheng)矩形且并排(pai)排(pai)列(lie)；

9.一(yi)種(zhong)光(guang)學系統，其特征(zheng)在于(yu)，包括：多(duo)個根據權利要(yao)求1-8中任一(yi)項所述的光(guang)學擴展模(mo)組，多(duo)個所述光(guang)學擴展模(mo)組陣列(lie)排布。

10.根據權利要求(qiu)9所述的(de)光學系(xi)統，其特(te)征在于，多個所述擴(kuo)展(zhan)鏡組的(de)出光區域均在其厚度方(fang)向(xiang)錯開排(pai)列(lie)成(cheng)多行；

技術總結
本發明公開了一種光學擴展模組和具有其的光學系統，光學擴展模組包括：空間光調制器，空間光調制器構造有主成像鏡頭；擴展鏡組，擴展鏡組設置于主成像鏡頭的一側，擴展鏡組通過主成像鏡頭、擴展鏡組以形成多個展開光路，展開光路包括第一展開光路和第二展開光路；第一倍率透鏡，第一倍率透鏡與第一展開光路一一對應設置，第一倍率透鏡設置于擴展鏡組的遠離空間光調制器的一側；第二倍率透鏡，第二倍率透鏡的成像倍率大于第一倍率透鏡的成像倍率，第二倍率透鏡與第二展開光路一一對應設置，第二倍率透鏡設置于擴展鏡組的遠離光制調制器的一側。根據本發明實施例的光學擴展模組，同一模組具有不同的倍率成像系統，提高了產品的兼容性等優點。

技術研發人員：趙美云,曲魯杰,蔡銀銀,程剛
受保護的技術使用者：合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/9/29