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一種可實現寬帶等離激元誘導透明窗口的納米棒聚合結構的制作方法

文檔序(xu)號:11176060閱讀(du):974來源(yuan):國知局
一種可實現寬帶等離激元誘導透明窗口的納米棒聚合結構的制造方法與工藝

本發(fa)明(ming)(ming)涉及等(deng)(deng)離(li)激元誘導透(tou)明(ming)(ming),特(te)別是一種可實現寬帶(dai)等(deng)(deng)離(li)激元誘導透(tou)明(ming)(ming)窗口的納(na)米棒(bang)聚合結構(gou)。



背景技術:

光(guang)場可(ke)激(ji)(ji)(ji)發(fa)金(jin)屬納(na)米結(jie)構的局(ju)域(yu)表(biao)面(mian)等(deng)離(li)激(ji)(ji)(ji)元(yuan)共振(zhen)現(xian)(xian)(xian)象(xiang)(xiang)(localizedsurfaceplasmonresonance,lspr),通(tong)(tong)過合理設計微納(na)結(jie)構,可(ke)以在(zai)微納(na)尺(chi)寸實(shi)現(xian)(xian)(xian)對光(guang)信號在(zai)的操控(kong)。各(ge)個(ge)等(deng)離(li)激(ji)(ji)(ji)元(yuan)振(zhen)蕩模式(shi)的雜化可(ke)以實(shi)現(xian)(xian)(xian)對光(guang)波共振(zhen)頻率的調節,從而可(ke)應用(yong)于(yu)生物(wu)傳(chuan)感、波導、增強拉曼散射等(deng)眾多光(guang)電(dian)子器件。其中,等(deng)離(li)激(ji)(ji)(ji)元(yuan)誘導透明(ming)(plasmon-inducedtransparency,pit)類(lei)似于(yu)原子系(xi)統(tong)中的電(dian)磁感應透明(ming)(electromagnetic-inducedtransparency,eit)現(xian)(xian)(xian)象(xiang)(xiang),已(yi)經通(tong)(tong)過金(jin)屬納(na)米結(jie)構實(shi)現(xian)(xian)(xian)。pit是通(tong)(tong)過激(ji)(ji)(ji)發(fa)光(guang)、暗態(tai)磁表(biao)面(mian)等(deng)離(li)激(ji)(ji)(ji)元(yuan)(magneticsurfaceplasmon,msp)分別與明(ming)態(tai)局(ju)域(yu)表(biao)面(mian)等(deng)離(li)激(ji)(ji)(ji)元(yuan)(localizedsurfaceplasmon,lsp)之間的耦(ou)合產(chan)生的。這(zhe)兩(liang)個(ge)躍遷路徑間具有量子干涉相消效應,從而使得金(jin)屬納(na)米結(jie)構表(biao)現(xian)(xian)(xian)出零吸收現(xian)(xian)(xian)象(xiang)(xiang)。這(zhe)一(yi)物(wu)理現(xian)(xian)(xian)象(xiang)(xiang)可(ke)在(zai)光(guang)開關(guan)、慢光(guang)裝置等(deng)諸多方(fang)面(mian)有重要作用(yong)。

目前,諸(zhu)多可(ke)實現等(deng)離激(ji)(ji)(ji)元(yuan)誘(you)導(dao)透(tou)明現象的(de)(de)金屬納米結(jie)構已(yi)被(bei)報道。以(yi)納米柱、納米棒聚合結(jie)構為代表,比如納米棒二聚體(ti)(ti)(公(gong)開號(hao):cn104061997a)、納米棒三聚體(ti)(ti)(公(gong)開號(hao):cn104634437a)等(deng),均(jun)可(ke)在可(ke)見光(guang)與近紅外波段(duan)實現等(deng)離激(ji)(ji)(ji)元(yuan)誘(you)導(dao)透(tou)明窗(chuang)口。但(dan)大多納米結(jie)構的(de)(de)等(deng)離激(ji)(ji)(ji)元(yuan)誘(you)導(dao)透(tou)明窗(chuang)口具有窄帶特性(xing)。



技術實現要素:

本發(fa)明(ming)的目的是針對(dui)上述存在問題,提供(gong)一種可(ke)實(shi)現寬(kuan)帶等(deng)離激元(yuan)誘導透明(ming)窗口的納米棒(bang)聚合結構,可(ke)在可(ke)見光(guang)與近紅外波段實(shi)現寬(kuan)帶的等(deng)離激元(yuan)誘導透明(ming)窗口,這一特性(xing)可(ke)應用于(yu)光(guang)開關、慢光(guang)裝置等(deng)領(ling)域。

本發明的技術方案:

一種可(ke)實(shi)(shi)現寬(kuan)帶等(deng)離(li)激(ji)元(yuan)誘導(dao)透明(ming)窗口(kou)的納(na)米(mi)(mi)(mi)(mi)棒(bang)(bang)聚(ju)(ju)合結(jie)構(gou),采用(yong)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)-絕緣(yuan)體-金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(metal-insulator-metal,mim)型(xing)(xing)納(na)米(mi)(mi)(mi)(mi)棒(bang)(bang)聚(ju)(ju)合結(jie)構(gou),上(shang)層金(jin)(jin)(jin)屬(shu)為邊對邊排列的金(jin)(jin)(jin)納(na)米(mi)(mi)(mi)(mi)棒(bang)(bang)二聚(ju)(ju)體;下層金(jin)(jin)(jin)屬(shu)為金(jin)(jin)(jin)納(na)米(mi)(mi)(mi)(mi)棒(bang)(bang);兩層納(na)米(mi)(mi)(mi)(mi)棒(bang)(bang)之間為二氧化硅絕緣(yuan)層;從(cong)而構(gou)成了可(ke)實(shi)(shi)現寬(kuan)帶等(deng)離(li)激(ji)元(yuan)誘導(dao)透明(ming)窗口(kou)的mim型(xing)(xing)納(na)米(mi)(mi)(mi)(mi)棒(bang)(bang)聚(ju)(ju)合結(jie)構(gou)。

所(suo)述上層金屬的(de)金納米棒(bang)(bang)二聚體中(zhong),納米棒(bang)(bang)的(de)長(chang)度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)240nm、寬度(du)(du)均為(wei)(wei)(wei)60nm、厚度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)20nm,兩個納米棒(bang)(bang)間隔為(wei)(wei)(wei)10nm;下層金納米棒(bang)(bang)的(de)長(chang)度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)240nm、寬度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)130nm、厚度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)20nm;二氧(yang)化硅絕緣層的(de)長(chang)度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)240nm、寬度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)130nm、厚度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)10nm。

本發明的工作機理:

通(tong)過納米棒間形成(cheng)的多個電流環,得到多個磁表面等離激(ji)元暗態模(mo)式(msps),且各個msps具有接近(jin)的共振波長。激(ji)發光(guang)、各個msps分別與明態局域(yu)表面等離激(ji)元(lsp)之間的耦合并干(gan)涉抵(di)消,從(cong)而在可見光(guang)與近(jin)紅外(wai)波段內實(shi)現寬(kuan)帶的等離激(ji)元誘導透明窗口。

本發明的有益效果是:

本發明(ming)(ming)所提出的(de)金屬-絕緣體(ti)-金屬型(xing)納米棒聚合(he)結(jie)構,可在(zai)可見光與近紅(hong)外波段實現寬帶的(de)等(deng)離(li)激元誘導透(tou)明(ming)(ming)窗(chuang)口。這一特性可應(ying)用于(yu)光開(kai)關、慢光裝置等(deng)領(ling)域。

附圖說明

圖(tu)1為納米(mi)棒(bang)聚合結構示意圖(tu)。

圖2為yz平面納米棒聚合結(jie)構示意圖。

圖3為納米棒聚合結(jie)構的消光譜(pu)。

圖中:1.上(shang)層金屬(shu)2.下層金屬(shu)3.二氧化硅(gui)絕緣層。

具體實施方式

實施例:

一種可實現寬(kuan)帶等離激元誘導透明窗口的(de)納(na)(na)(na)米(mi)(mi)(mi)棒(bang)聚(ju)合結構(gou),如圖(tu)1、2所示,上層(ceng)(ceng)金(jin)(jin)屬(shu)1為(wei)(wei)(wei)邊(bian)(bian)對邊(bian)(bian)排列(lie)的(de)金(jin)(jin)納(na)(na)(na)米(mi)(mi)(mi)棒(bang)二聚(ju)體,納(na)(na)(na)米(mi)(mi)(mi)棒(bang)的(de)長(chang)度均為(wei)(wei)(wei)240nm、寬(kuan)度均為(wei)(wei)(wei)60nm、厚度為(wei)(wei)(wei)20nm、兩個納(na)(na)(na)米(mi)(mi)(mi)棒(bang)間隔為(wei)(wei)(wei)10nm;下層(ceng)(ceng)金(jin)(jin)屬(shu)2為(wei)(wei)(wei)金(jin)(jin)納(na)(na)(na)米(mi)(mi)(mi)棒(bang),納(na)(na)(na)米(mi)(mi)(mi)棒(bang)的(de)長(chang)度為(wei)(wei)(wei)240nm、寬(kuan)度為(wei)(wei)(wei)130nm、厚度為(wei)(wei)(wei)20nm;兩層(ceng)(ceng)納(na)(na)(na)米(mi)(mi)(mi)棒(bang)之(zhi)間為(wei)(wei)(wei)二氧化硅絕(jue)緣層(ceng)(ceng)3,長(chang)度為(wei)(wei)(wei)240nm、寬(kuan)度為(wei)(wei)(wei)130nm、厚度為(wei)(wei)(wei)10nm。

實(shi)際制備過程(cheng)中,考慮其可操作性,可利(li)用二氧(yang)化(hua)硅透明介質(zhi)為基(ji)底,納米棒聚合結(jie)構(gou)在(zai)基(ji)底上呈現平面上的周期性排列。

入(ru)射(she)(she)光垂直(zhi)照(zhao)射(she)(she)至mim型納米棒聚(ju)合結構上(shang),電場方向分布平行于(yu)納米棒的短(duan)軸。

圖3為(wei)納米棒聚合結(jie)構的消(xiao)光(guang)譜。圖中顯(xian)示:在(zai)(zai)700nm-830nm波(bo)段中,納米棒結(jie)構的消(xiao)光(guang)在(zai)(zai)5%以下,即透射(she)率達95%以上(shang)。這與(yu)通常的等離激元誘(you)導透明(ming)(ming)窗口相比,具有明(ming)(ming)顯(xian)的寬(kuan)帶性。

對700nm-830nm波段納米(mi)棒聚合結構的(de)(de)(de)電磁場、電荷分(fen)布進行分(fen)析,發現其寬帶等(deng)離激元(yuan)誘導(dao)透明窗口是由激發光及多(duo)個具有相近共振波長的(de)(de)(de)磁表面等(deng)離激元(yuan)暗態模式(msps)共同(tong)與納米(mi)結構的(de)(de)(de)局域(yu)表面等(deng)離激元(yuan)(lsp)明態模式的(de)(de)(de)干(gan)涉抵(di)消產生的(de)(de)(de)。

分(fen)別對透明窗口內(nei)730nm和(he)(he)(he)780nm波(bo)(bo)長進行電磁(ci)場和(he)(he)(he)電荷分(fen)布分(fen)析(xi)。在730nm和(he)(he)(he)780nm處,上層和(he)(he)(he)下(xia)層au納(na)(na)(na)米棒(bang)(bang)電荷均呈現(xian)反向分(fen)布,但(dan)下(xia)層納(na)(na)(na)米棒(bang)(bang)為lsp六(liu)極(ji)或(huo)八(ba)極(ji)分(fen)布,從而在絕緣層中(zhong)出(chu)現(xian)小(xiao)強度磁(ci)共(gong)振。但(dan)是(shi),上層納(na)(na)(na)米棒(bang)(bang)二聚體中(zhong)均形成了環形電流,從而出(chu)現(xian)了明顯(xian)強度的磁(ci)表面等離(li)激元暗態模式(msps),尤(you)其(qi)是(shi)在二個納(na)(na)(na)米棒(bang)(bang)的相鄰處,且730nm和(he)(he)(he)780nm處的msps相位(wei)相反。其(qi)中(zhong)780nm處msp的出(chu)現(xian)取決于上層納(na)(na)(na)米棒(bang)(bang)的小(xiao)間隔10nm所(suo)引起的棒(bang)(bang)間耦合。所(suo)以,納(na)(na)(na)米棒(bang)(bang)聚合結(jie)構700nm-830nm波(bo)(bo)段的透明窗口,是(shi)上層納(na)(na)(na)米棒(bang)(bang)二聚體msps、絕緣層中(zhong)磁(ci)共(gong)振、入(ru)射光與底層lsp多極(ji)模式共(gong)同作(zuo)用的結(jie)果。



技術特征:

技術總結
一種可實現寬帶等離激元誘導透明窗口的納米棒聚合結構,采用金屬?絕緣體?金屬(MIM)型納米棒聚合結構,上層金屬為邊對邊排列的金納米棒二聚體;下層金屬為金納米棒;兩層納米棒之間為二氧化硅絕緣層;從而構成了可實現寬帶等離激元誘導透明窗口的MIM型納米棒聚合結構。本發明的有益效果是:本發明所提出的金屬?絕緣體?金屬型納米棒聚合結構,可在可見光與近紅外波段實現寬帶的等離激元誘導透明窗口,這一特性可應用于光開關、慢光裝置等領域。

技術研發人員:劉菲;張楷亮;任廣軍;薛力芳
受保護的技術使用者:天津理工大學
技術研發日:2017.05.05
技術公布日:2017.10.03
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