一種帶有直角度校準功能的內圓機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于硅片加工設備，具體涉及到一種帶有直角度校準功能的內圓機。
【背景技術】
[0002]隨著社會的發展，能源與環境保護的相矛盾的問題日益尖銳，清潔能源作為平衡二者矛盾的首要直選，清潔能源幾乎是電能的代稱，電能的制作一般都是由其他能源轉化而來，在轉化過程中也伴隨這污染，而光電作為無污染的電能則是當今能源的首要之選。
[0003]光電一般都是通過硅電池板轉化而來，由此硅電池板的工藝水平很大程度決定了光電的性能，而硅電池的制作工藝中一般為，制作硅棒-切割-電路印刷，在硅棒的成型過程中硅棒的外周面上會形成若干相平行的水平轉紋，在切割時將切刀與水平轉紋相平行然后切下硅片才會得到一片平整的硅扳，否則硅扳會切歪，硅扳的直角度無法保證。
[0004]內圓機是切割硅片用的設備，其主要由刀盤，送料箱，切割油缸，調晶向機構，液壓站，液壓系統工作臺，電控框，電控箱，組成，在切割時單晶直角度只能靠肉眼看，不能精確測量，單晶直角度不能有效控制，損片率極高。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型旨在提供一種帶有直角度校準功能的內圓機，以克服上述所提及的現有的內圓機切割硅片時精度差無法保證單晶直角度的問題。
[0006]為達到上述目的所提供的技術方案為:
[0007]提供了一種帶有直角度校準功能的內圓機，其包括內圓機主體，在內圓機主體的外壁上開有入料口，位于入料口下方在內圓機主體的外壁上垂直連接一水平設置的托扳，在托扳的上表面設有一支架，該支架向上延伸并與一主尺相連，所述的主尺位于入料口上方并與入料口的軸線相平行，在主尺上配裝有游標，在游標上連接有十字激光器，十字激光器的發光端與托扳的上表面相對。
[0008]進一步的，所述的支架由垂立在托扳上的第一桿、與第一桿頂端垂直交接的第二桿、與第二桿垂直交接的第三桿組成，第三桿與入料口的軸線相平行，所述的主尺與第三桿并行且相連。
[0009]進一步的，在第一桿與托扳之間和第一桿與第二桿之間各設有一加強桿。
[0010]本實用新型相對于現有技術相比具有以下有益效果:
[0011 ] 通過增設十字狀激光器精確測量單晶直角度，使得硅棒正對切刀，保證切割完畢后硅片的直角度。
[0012]保證了切割后單晶直角度控制在1mm。
[0013]可以準確校準硅棒位置，操作極為簡單。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型結構示意圖；
[0015]圖2為插入硅棒后本實用新型側視圖；
[0016]圖3為支架及主尺部位結構示意圖；
[0017]圖4為支架及主尺部位背視結構示意圖；
[0018]圖5為本實用新型十字激光器投影方位示意圖；
[0019]圖中的附圖標記為:內機主體一1、托板一2、第一桿一3、第二桿一4、第二桿一5、主尺一 6、游標一 7、十字激光器一 8、加強桿一 9、切刀線一 a、水平線一 b。
【具體實施方式】
[0020]以下結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明:
[0021]結合圖1、2、3、4所示，提供了一種帶有直角度校準功能的內圓機，其包括內圓機主體1，在內圓機主體I的外壁上開有圓形的入料口，位于入料口下方在內圓機主體I的外壁上垂直連接有水平設置的托扳，托板2上設有送料滑臺，在托扳2的上表面設有一支架，該支架由第一桿3、第二桿4、第三桿5組成，所述的第一桿3垂立在托扳上表面上，第二桿4的一端與第一桿3的頂端相垂直交接，第三桿5的一端與第二桿4的另一端相垂直交接，第三桿5與入料口的軸線相平行，在第一桿3與托扳之間和第一桿3與第二桿4之間各設置有一加強桿9，加強桿9與各個桿形成穩固的三角結構，所述的第二桿4和第三桿5都尚于入料口，在第三桿5上固定連接有一主尺6，所述的主尺6與第三桿5相并行設置，主尺6與入料口的軸線相平行，在主尺6上配裝有游標7，在游標7上連接有十字激光8，游標7可攜帶十字激光8沿主尺6滑動，十字激光8發光端與托扳的上表面相對，十字激光8可以發射出相垂交成十字狀的切刀線a和水平線b，其中水平線b與送料滑臺和托扳相平行，切刀線a與內圓機內部的切刀相平行。
[0022]根據圖1、2、3、4對本實用新型的運動機理進行說明
[0023]首先開啟十字激光8使得水平線b與送料滑臺或托扳相平行，將將硅棒裝到內圓機的送料滑臺上，使得切刀線a與硅棒表面的轉紋紋路相平行或重合進而間接的使得切刀與硅棒表面的轉紋紋路相平行，開啟送料裝置將硅棒送入入料口內并開始切割，在切割過程中時刻注意切刀線a與硅棒表面的轉紋紋路是否平行，以此保證硅片的直角度。
【主權項】
1.一種帶有直角度校準功能的內圓機，其特征在于:包括內圓機主體(I)，在內圓機主體(I)的外壁上開有入料口，位于入料口下方在內圓機主體(I)的外壁上垂直連接一水平設置的托扳(2)，在托扳(2)的上表面設有一支架，該支架向上延伸并與一主尺(6)相連，所述的主尺(6)位于入料口上方并與入料口的軸線相平行，在主尺(6)上配裝有游標(7)，在游標(7)上連接有十字激光器(8)，十字激光器(8)的發光端與托扳(2)的上表面相對。2.根據權利要求1所述的一種帶有直角度校準功能的內圓機，其特征在于:所述的支架由垂立在托扳(2)上的第一桿(3)、與第一桿(3)頂端垂直交接的第二桿(4)、與第二桿(4)垂直交接的第三桿(5)組成，第三桿(5)與入料口的軸線相平行，所述的主尺(6)與第三桿并行且相連。3.根據權利要求2所述的一種帶有直角度校準功能的內圓機，其特征在于:在第一桿(3)與托扳(2)之間和第一桿(3)與第二桿(4)之間各設有一加強桿(9)。
【專利摘要】一種帶有直角度校準功能的內圓機，其包括內圓機主體，在內圓機主體的外壁上開有入料口，位于入料口下方在內圓機主體的外壁上垂直連接一水平設置的托扳，在托扳的上表面設有一支架，該支架向上延伸并與一主尺相連，所述的主尺位于入料口上方并與入料口的軸線相平行，在主尺上配裝有游標，在游標上連接有十字激光器，十字激光器的發光端與托扳的上表面相對,通過增設十字狀激光器精確測量單晶直角度，使得硅棒正對切刀，保證切割完畢后硅片的直角度。保證了切割后單晶直角度控制在1mm,可以準確校準硅棒位置，操作極為簡單。
【IPC分類】B28D7/00, B28D5/00
【公開號】CN204748961
【申請號】CN201520397563
【發明人】冀偉振, 趙斌, 張龍, 馮立軍
【申請人】河北寧晉松宮半導體有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年6月10日